対物レンズ選択と観察法切換に連動して、自動的に明るさ絞りを調整します。観察のスピードアップと疲労軽減が図れます。

MX61Aでは、合焦精度、合焦速度に優れたアクティブAFを搭載しています。新開発のマルチスポット方式センサの採用により、合焦時の安定性を大幅に向上させました。可視、深紫外の落射観察で、観察位置移動に追従したリアルタイムのフォーカシングを実現します。

深紫外から可視、近赤外まで、高性能を発揮するUIS2対物レンズシリーズと各種観察ユニットの組合せにより、明視野、暗視野、微分干渉、蛍光、近赤外、深紫外観察まで1台の顕微鏡で対応します。
観察法の切換えは、明視野、暗視野、オプションミラーユニットの3ポジションから選択するだけのかんたんな操作です。
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MX61Aシステム全体を制御するのが、「顕微鏡制御ソフトウエア」です。柔軟性に優れたこのソフトウエアの採用により、顕微鏡操作はもちろん、デジタルカメラ、電動ステージなどの周辺機器の制御もできます。このソフトウエアがMX61Aの拡張性をさらに拡げ、進化する解析ニーズをサポートします。

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楽な姿勢で観察ができるティルティング鏡筒を2種類用意しました。双眼部の傾斜角度を水平0°から42°の広い範囲で変えられるMX-SWETTR、目視とカメラ画像の同時観察も可能なU-SWETTR-5から、用途に合わせてお選びいただけます。

耐久性に優れたクリーンタイプの電動レボルバを2タイプ用意しました。
6穴と5穴心出しタイプの明暗視野電動レボルバには新モータを採用し、高速で静かな倍率変換を実現しています。

振動の影響を受けにくい高剛性フレームを採用しました。高倍率の観察でも像ブレがありません。

対物レンズや観察法の選択など検査に伴う操作がタッチタイピングでおこなえるハンドスイッチを用意しました。観察法を選ぶだけで登録された条件を基に最適な観察像が得られます。オートフォーカスの追従（TRACE）とワンショット（ONE SHOT）の切換え、フォーカスの微調整、DICリターデーション調整、光量調整、サンプル交換時のステージ退避もおこなえます。

300mm/200mmウエハ対応の高精度電動ステージを用意しました。PC制御による高度な検査・不良解析を実現します。