コントラストの決定に重要な役割を果たす明るさ絞り（AS)の開閉調整は、対物レンズの切換えや観察モードと連動しておりボタンひとつで操作できます。また、指1本で操作できるように調光ダイヤルもフロントパネルに配置しているので、検査のスピードアップが図れます。対物レンズと明るさ絞り（AS）のボタンはそれぞれ斜めに配置されており、フォーカスハンドルから手を離さずに、親指の動きだけで楽に操作することができます。 この斜めのボタンレイアウトにより、指先での感知性を高め誤操作を防ぎます。

自分のアイポイントに合わせるために椅子の高さを調整したり、無理な姿勢で検査したりしているようでは、タイムロスが大きく作業スピードも落ちてしまいます。0°から42°（可変高さ150mm、SEMI S8対応）の幅広いティルト角をもつティルティング鏡筒を装備しているので、検査する人の体格に関係なく楽な観察姿勢がとれ、立ち検査も可能です。また、この鏡筒は観察中心軸からアイポイントまでの距離を長くとっているため、大きなステージでも楽に操作ができます。

300mmウエハ/17インチパネルサイズ対応のMX-SIC1412R2ステージは大きな透過照明範囲（Y方向284mm）を有しています。また、クラッチ内蔵のステージグリップにより、粗微動の切換えができるので、顕微鏡をのぞいたままで自由にステージ移動がおこなえ、スピーディに検査することができます。

電動レボルバの切換えスピードを従来に比べ20%向上させました。対物レンズの切換えが、ボタン操作で瞬時におこなうことができ検査スピードが上がります。レボルバはニーズに合わせて4種類のクリーンタイプを選ぶことができます。さらにUIS2対物レンズでは、高倍率での偏心精度を大幅に向上させました。小さなサイズの撮像素子を持つCCDカメラでも、倍率を切り換えたときに視野の中心付近から外れることはありません。

対物レンズを変換するたびに明るさ絞り（AS）の調整をおこなっていたのでは、検査のスピードが落ちてしまいます。MX61Lは対物レンズごとに観察法とAS（14段階）を設定することができるため、対物レンズを切り換えるだけで最適なコントラストで観察できます。対物レンズの変換や観察モードの切換え時におこなっていたAS調整の手間をゼロにし、スピードをアップとともにオペレータの疲労を軽減します。

フォトマスクやFPD検査に対応する透過照明ユニットを用意しました。ポラライザの搭載により、透過簡易偏光観察が可能です。汎用のタイプAと高NA（開口数）のタイプBの2種類があります。