Hlavní stránka/ Příklady aplikacíKontrola schématu obvodu na vzorcích waferu

Kontrola schématu obvodu na vzorcích waferu

vzorek_waferu
Vzorek waferu

Použití

V případě, že je pod mikroskopem nezbytné pozorovat jak schéma obvodu, tak barvu vzorku waferu, využívají konvenční metody pro první ze zmíněných pozorování v temném poli a pro druhé pak pozorování ve světlém poli, přičemž dochází k opakovanému přepínání mezi těmito dvěma technikami. Tato metoda pozorování je časově náročná, protože je při vytváření reportu nutno pořizovat snímky pro obě techniky.

Řešení Olympus

Průmyslové mikroskopy MX63/MX63L pro kontrolu polovodičů a matných panelových displejů (FPD) představují efektivní alternativu ke konvenčním metodám pozorování – funkci smíšeného (MIX) pozorování. Při smíšeném pozorování lze schémata obvodu i barvy waferů pozorovat současně. Ostrost a zřetelnost snímku pořízeného metodou smíšeného pozorování napomáhá zvyšovat efektivitu práce a tvorby reportu.

Přednosti produktů

Zjednodušení pracovního postupu
Mikroskopy MX63/MX63L jsou vybaveny funkcemi, které vám pomohou zjednodušit celý postup provádění kontrol s úrovní výkonnosti, která je rovnocenně efektivní v čistých prostorách.
Uživatelská přívětivost
Nastavení mikroskopů MX63/MX63L lze snadno upravovat díky funkcím, které nabízejí asistenci při zaostřování, nastavování intenzity světla a ovládání clony. Díky jednoduchosti obsluhy mikroskopů MX63/MX63L mohou kontroly při správných podmínkách pozorování provádět i méně zkušení pracovníci.
Pokročilá technologie zobrazování
Díky desítkám let zkušeností s optikou naše mikroskopy MX63/MX63L poskytují zřetelné a ostré snímky, které pomáhají zajistit spolehlivost výsledků měření.
Modularita
Modulární konstrukce mikroskopů MX63/MX63L umožňuje uživatelům vybírat z široké škály optických prvků, aby co nejvíce vyhověla požadavkům na jejich použití. Systém s požadovanými vlastnostmi lze sestavit bez nutnosti vynaložení nadměrných investičních nákladů.

DFMIX_BF