Řešení laserové mikroskopie
► Funkce laserového mikroskopu
1. Submikronové 3D pozorování/měření
| Pozorování stupňů v rozsahu nanometrů a měření rozdílů výšky na submikronové úrovni. |
2. Měření drsnosti povrchu v souladu s normou ISO 25178
| Měření drsnosti povrchu od lineárního po rovinné. |
3. Bezkontaktní, nedestruktivní a rychlé
| Není nutná příprava vzorku – stačí umístit vzorek na pracovní stolek a můžete začít měřit. |
► Výhody laserového mikroskopu
Konvenční měřicí nástroje | Laserový mikroskop | |
Optický mikroskop, digitální mikroskop | ||
• Měření drobných tvarů není možné • Slabé laterální rozlišení • Nesledovatelné výsledky měření |
| • Přesné 3D měření • Laterální rozlišení 0,12 μm • Sledovatelné výsledky měření |
Dotykový tester drsnosti povrchu | ||
• Hrozí poškození povrchu vzorku • Informace pouze z jedné linie • Obtížné umístění hrotu do cílové polohy |
| • Bezkontaktní měření nepoškozuje vzorek • Získávání údajů z celé roviny • Měření na hrotu |
Interferometr v bílém světle | ||
• Obtížné snímání tvarů s drsným povrchem • Slabé laterální rozlišení znesnadňuje umisťování • Nepohodlné nastavení sklonu |
| • Přesné měření drsného povrchu snímáním malých sklonů • Laterální rozlišení 0,12 μm • Stačí umístit vzorek na pracovní stolek a měření může začít |
Skenovací elektronový mikroskop (SEM) | ||
• Chybí barevné podání • Vzorky musí být zničeny a předem připravovány • Měření 3D tvaru není možné |
| • Pozorování v barvě s vysokým rozlišením • Nedestruktivní, bez nutnosti přípravy vzorku • Přesné 3D měření |
|
|
