Olympus má svůj vlastní optický skener.

Nový skener MEMS provádí přesné skenování X–Y s nízkým zkreslením skenovací plochy a minimálními optickými odchylkami.Zatímco některé laserové mikroskopy neumí zabránit fluktuacím při měření periferních oblastí, mikroskop OLS5000 přináší jednotné výsledky bez ohledu na to, zda se jedná o střed nebo okraj zorného pole.