Podavač waferů AL120 zajišťuje rychlý a bezpečný přesun křemíkových i sloučeninových waferů z kazety na stolek mikroskopu. Tento podavač waferů je navržený tak, aby zvyšoval výrobní kapacitu, a ve spojení s naším mikroskopem na kontrolu polovodičů MX63 tvoří spolehlivé řešení pro kontrolu waferů.

Preciznost a flexibilita

Zajišťuje manipulaci a kontrolu waferů několika velikostí

Schopnost přizpůsobit se různým velikostem destiček je klíčová pro rozšiřování zařízení na výrobu waferů.Řada AL120 sestává ze tří modelů založených na průměru waferů: model 200 mm, konvertibilní model 150 mm / 200 mm a model 150 mm, určený pro wafery o rozměru 150 mm nebo méně. Každý systém je navržen tak, aby vykonával přesun waferu a kontrolu waferu mikroskopem. Pro všechny velikosti waferů je k dispozici také funkce kontroly horní a spodní strany v makroskopickém měřítku.

Rozměr a tloušťka waferu

Podporuje manipulaci a kontrolu tenkých waferů

Aby systém naplňoval potřeby výrobců tenkých waferů, je provedení ramena modelu AL120-LMB-90 schopno manipulovat s kazetou naplněnou 90 µm wafery.

Funkční

 Vylepšené kontroly polovodičových waferů v makroskopickém měřítku

Kontrola v makroskopickém měřítku s funkcí otočení v úhlu 360 stupňů (simulace)

Funkce samočinné rotace o 360 stupňů umožňuje kompletní makrokontrolu horního a spodního povrchu waferu a snadnou identifikaci defektů a částic. Zabudovaný joystick ovládá naklonění waferu během kontroly horní strany v makroskopickém měřítku. Operátor může nastavit úhel waferu tak, aby optimalizoval výsledky kontroly.

Snadná manipulace waferů

• Pro splnění požadavků různých kontrolních rutin ,je podavač AL120 řízen návodem s 10 programovatelnými konfiguracemi systému, včetně speciálních typů kazet, specifikací waferů a rychlosti přesunu. Díky rychlému výběru stisknutím tlačítka může operátor okamžitě zvolit podávání různých výrobků.
• Parametry manipulátoru waferů a nastavení návodu se zobrazují na LCD displeji. Operátor může rutinu a výsledky potvrdit před a po provedení kontroly.
• Podavač waferů AL120 zajišťuje bezkontaktní optické centrování, detekci zářezů/plošek a vyrovnání. Tyto funkce snižují míru kontaktu waferu s vybavením, což přispívá ke zlepšení čistoty waferu.

Spolehlivý

Maximalizace bezpečnosti waferu v průběhu celého procesu přesunu

Součástí návrhu systému AL120 jsou pokročilé funkce, které maximalizují bezpečnost waferu. Poloha waferu je soustavně monitorována systémem 3 senzorů, aby bylo zajištěno bezpečné a správné vyjmutí, přesun, vložení a vyložení waferu. Tyto funkce brání poškození způsobenému vložením více waferů do jedné drážky a vyzvednutí z nechtěné drážky.

Spolehlivá mikroskopová platforma pro prohlížení polovodičových waferů

Podavač waferů AL120 pracuje v propojení s našimi speciálními mikroskopy pro kontrolu waferů řady MX™, které poskytují výjimečné rozlišení obrazu a zřetelnost v celé škále pozorovacích metod, včetně světlého pole, tmavého pole, diferenciálního interferenčního kontrastu (DIC) a pozorování v blízké infračervené oblasti (NIR). Motorizovaný karusel objektivů je vzájemně propojen s aperturní clonou, díky čemuž lze pro každý objektiv nastavit optimální osvětlení a kontrast. Na základě zvláštní objednávky lze manipulátor waferů uzpůsobit i pro jiné modely mikroskopů.

Ergonomické stolky pro zajištění komfortu a pracovní efektivity operátora

• Manuální stolek s podtlakem a rychlým uvolněním optimalizuje pohodlí a efektivitu práce operátora. Ovládání v osách X-Y a otáčení waferu jsou součástí standardního vybavení.
• Dalším krokem automatizace procesu kontroly je možnost ovládání motorizovaného stolku joystickem nebo předprogramovanými rutinami. Pohyb stolku do polohy vložení/vyložení a do výchozí polohy se řídí jedním tlačítkem.

* V některých oblastech není motorizovaný stolek dostupný.

Zpět na začátek