Loading...

Přehled

3D laserový skenovací mikroskop LEXT™ OLS5100 Laserový mikroskop pro materiálovou analýzu Inteligentní pracovní postupy, rychlejší experimenty Laserový mikroskop OLS5100, navržený pro analýzu poruch a výzkum v oblasti materiálového inženýrství, spojuje výjimečnou přesnost měření a optický výkon s inteligentními nástroji usnadňujícími jeho obsluhu. Provádějte přesná měření tvaru a drsnosti povrchu na submikronové úrovni s rychlostí a efektivitou, která Vám usnadní pracovní postupy a poskytne výsledky, kterým můžete důvěřovat. Podívejte se na video

3D laserový skenovací mikroskop LEXT™ OLS5100

Laserový mikroskop pro materiálovou analýzu

Inteligentní pracovní postupy, rychlejší experimenty

Laserový mikroskop OLS5100, navržený pro analýzu poruch a výzkum v oblasti materiálového inženýrství, spojuje výjimečnou přesnost měření a optický výkon s inteligentními nástroji usnadňujícími jeho obsluhu. Provádějte přesná měření tvaru a drsnosti povrchu na submikronové úrovni s rychlostí a efektivitou, která Vám usnadní pracovní postupy a poskytne výsledky, kterým můžete důvěřovat.

Podívejte se na video

Při použití konvenčních čoček je obtížné provádět přesná měření v periferních oblastech.

Specializované objektivy LEXT měří periferní oblasti s vysokou přesností.

Garantovaná přesnost měření

Mikroskopové objektivy LEXT přináší vysoce přesné výsledky měření. Využijete-li zároveň funkci inteligentního průvodce výběrem objektivu (Smart Lens Advisor), budete schopni pořizovat přesná data, kterým můžete důvěřovat.

Garantovaná přesnost měření
Objektivy 10x až 100x s redukcí aberace na úrovni 405 nm pro zachycení správného tvaru vzorku napříč celým zorným polem
Inteligentní průvodce výběrem objektivu Vám pomůže zvolit ten pravý objektiv pro Vaše měření drsnosti

Snadná laserová skenovací mikroskopie Díky promyšlenému softwaru je obsluha tohoto mikroskopu snadná, a to jak pro zkušené uživatele, tak i pro nováčky. Pořízení přesných dat je snadné, stačí vložit vzorek na stolek a stisknout tlačítko Start Záruka měřicího výkonu přizpůsobená Vašemu provoznímu prostředí*. Veškeré informace na této stránce, včetně těch o garanci přesnosti, jsou založeny na podmínkách stanovených společností Evident

Snadná laserová skenovací mikroskopie

Díky promyšlenému softwaru je obsluha tohoto mikroskopu snadná, a to jak pro zkušené uživatele, tak i pro nováčky.

Pořízení přesných dat je snadné, stačí vložit vzorek na stolek a stisknout tlačítko Start
Záruka měřicího výkonu přizpůsobená Vašemu provoznímu prostředí*.

Veškeré informace na této stránce, včetně těch o garanci přesnosti, jsou založeny na podmínkách stanovených společností Evident

	Usnadnění experimentů v rámci materiálového inženýrství a analýzy poruch Chytrý správce experimentů (Smart Experiment Manager) zjednoduší Vaše pracovní postupy 3D pozorování na submikronové úrovni a experimentů v rámci analýzy poruch automatizováním tradičně časově náročných úkolů. Automatizujte své analytické pracovní postupy pomocí makro funkcí Snadná organizace výsledků měření Automatické vyplnění dat do matice plánu experimentů snižuje pravděpodobnost chyb při zadávání Výsledky měření jsou zobrazeny v podobě seznamu, což umožňuje rychlé rozhodování o přijetí či nepřijetí letmým pohledem.

Usnadnění experimentů v rámci materiálového inženýrství a analýzy poruch

Chytrý správce experimentů (Smart Experiment Manager) zjednoduší Vaše pracovní postupy 3D pozorování na submikronové úrovni a experimentů v rámci analýzy poruch automatizováním tradičně časově náročných úkolů.

Automatizujte své analytické pracovní postupy pomocí makro funkcí
Snadná organizace výsledků měření
Automatické vyplnění dat do matice plánu experimentů snižuje pravděpodobnost chyb při zadávání
Výsledky měření jsou zobrazeny v podobě seznamu, což umožňuje rychlé rozhodování o přijetí či nepřijetí letmým pohledem.

Plně přizpůsobitelný vašim požadavkům Implementujte všechny pokročilé funkce laserového skenovacího mikroskopu OLS5100 pro materiálovou analýzu velkých a těžkých vzorků. Zjistěte více

Plně přizpůsobitelný vašim požadavkům

Implementujte všechny pokročilé funkce laserového skenovacího mikroskopu OLS5100 pro materiálovou analýzu velkých a těžkých vzorků.

Zjistěte více

Služby a podpora, kterým můžete důvěřovat

Nabízíme široké portfolio služeb od kalibrace až po školení, která Vám pomohou plně využít potenciál Vašeho zařízení. Servisní smlouvy společnosti Evident jsou:

Srozumitelné – umožní Vám plně se soustředit na hlavní aspekty Vašeho podnikání
Efektivní – můžeme pro Vás vypracovat plán preventivní údržby včetně kalibrace
Nákladově efektivní – přináší finanční úspory po celou dobu trvání smlouvy

Zjistěte více

Stáhněte si brožuru

a zjistěte více informací o laserovém mikroskopu OLS5100

Stáhnout

Výhody

Výhody laserových mikroskopů

1. 3D pozorování/měření na submikronové úrovni

Můžete pozorovat jednotlivé schody v řádu nanometrů a měřit rozdíly výšky na submikronové úrovni.

2. Měření drsnosti povrchu v souladu s normou ISO25178

Provádějte měření drsnosti povrchu lineární i plošnou metodou

3. Bezkontaktní, nedestruktivní a rychlé

Není třeba příprava vzorku – stačí vzorek umístit na stolek mikroskopu a můžete měřit.

Spolehlivá data jediným stisknutím tlačítka

Smart Scan II

Díky funkci Smart Scan II dokáží rychlý a snadný sběr dat provádět jak zkušení, tak i začínající uživatelé. Umístěte vzorek na stolek mikroskopu, stiskněte tlačítko Start a o vše ostatní se postará samotný mikroskop.

Algoritmus PEAK: Mikroskop OLS5100 využívá algoritmus PEAK pro 3D rekonstrukci dat. Tento algoritmus poskytuje vysoce přesná data pořízená při různé úrovni zvětšení, od nízké po vysokou, a snižuje dobu nezbytnou pro pořízení dat.
Přeskočte nepotřebné skeny: Při měření tvaru schodovitých útvarů na vzorku s výskytem téměř vertikálních ploch, například elektronických či MEMS komponentů, lze výrazně snížit časovou náročnost procesu sběru dat tím, že přeskočíte nepotřebný skenovací rozsah v ose Z. Měření schodu o velikosti 100 μm lze dokončit přibližně za 10 vteřin, aniž by se snížila přesnost (při použití objektivu MPLAPON50XLEXT).
Přesné údaje o tvaru: Mikroskop OLS5100 se díky svému automatickému rozhodovacímu systému dokáže přizpůsobovat požadavkům jednotlivých vzorků, zatímco funkce HDR skenování pořizuje dvě sady údajů o tvaru s rozdílnou citlivostí detekce, ze kterých jsou poté sestavena přesná tvarová data.

spolehlivá data jediným stisknutím tlačítka

Záruka měřicího výkonu přizpůsobená Vašemu provoznímu prostředí

Přesnost a opakovatelnost jsou zaručeny
Výkon měřicího nástroje je typicky vyjadřován údajem o jeho přesnosti, která představuje ukazatel shody mezi naměřenou a skutečnou hodnotou, a opakovatelnosti, která značí odchylku mezi výslednými hodnotami opakovaných měření. Garantujeme přesnost a opakovatelnost mikroskopu na základě sledovatelnosti systému, výsledkům měření proto můžete důvěřovat.

Povrchová metrologie za hranicí zorného pole
Mikroskop OLS5100 disponuje motorizovaným stolkem vybaveným modulem pro měření délek, proto zaručujeme, že výsledná sešívaná obrazová data jsou vždy přesná. Zatímco předchozí modely laserových mikroskopů během sešívání snímků využívaly pouze shodu vzorů, mikroskop OLS5100 tuto metodu doplňuje o využití údajů o poloze z modulu pro měření délek a přináší tak vysoce spolehlivé sešívání dat se zaručenou přesností.

*Pouze model OLS5100-SAF/EAF

Uživatelsky přívětivé pozorování ve vysokém rozlišení/zvětšení

Kontinuální automatické ostření

Funkce kontinuálního automatického ostření tohoto mikroskopu udržuje obraz ostrý během pohybu stolkem nebo při výměně objektivů a minimalizuje tak potřebu ručního seřizování. Trvalé sledování ostrosti Vám umožňuje provádět pozorování rychle a snadno.

Funkce Dual DIC pro živé pozorování v měřítku nanometrů

Odhalte drobná poškození vzorku pomocí živého pozorování v měřítku nanometrů. Pozorování DIC (Differential Interference Contrast) Vám umožňuje vizualizovat obrysy povrchů v měřítku nanometrů, které obvykle přesahují rozlišovací schopnost laserových mikroskopů. Mikroskop OLS5100 dokáže díky režimu DIC pořizovat živé snímky srovnatelné s výstupem elektronového mikroskopu, a to i při použití 5x nebo 10x objektivu s nízkým výkonem.

Zadní povrch waferu

Parkovací zóna pevného disku

Obsáhlá analýza

K dispozici je Vám široká řada analytických funkcí. Níže uvádíme pouze několik vybraných příkladů, chcete-li se dozvědět více informací, stáhněte si prosím naši brožuru nebo kontaktujte svého zástupce společnosti Evident.

Plošné měření drsnosti v souladu s normou ISO25178

Mikroskop OLS5100 skenuje povrch vzorku laserovým paprskem o průměru 0,4 μm, což umožňuje snadné měření drsnosti povrchu vzorků, které nelze změřit dotykovými měřidly drsnosti. Schopnost současného pořízení barevného i laserového snímku a 3D údajů o tvaru povrchu, které dotyková měřidla drsnosti povrchu nedokáží změřit, rozšiřuje možnosti analýzy.

Měření schodů mezi nejvyššími a nejnižšími body profilu povrchu

Měření profilu / pomocný měřicí nástroj

Funkce měření profilu zobrazuje profil povrchu pomocí volného vykreslování měřicí linie na měřené pozici snímku. Měří také výškový rozdíl mezi dvěma libovolnými body, šířku, plochu průřezu a poloměr. Na rozdíl od dotykových měřicích nástrojů je nastavení měřených pozic snadné. Linie a body měření lze ověřovat přímo na snímku, i velmi malá místa tak mohou být měřena s vysokou přesností. Pomocný měřicí nástroj umožňuje správné stanovení měřeného bodu na základě nejvyšších, nejnižších, prostředních a/nebo průměrných bodů. Jakmile je v rámci pořízených dat určena oblast, dochází k automatické extrakci bodů prvku podle stanovených podmínek.

Stáhněte si brožuru

a zjistěte více informací o laserovém mikroskopu OLS5100

Stáhnout

Software

Snadná správa experimentů v oblasti materiálového inženýrství a analýzy poruch

Správa podmínek experimentu při testování nových materiálů je značně komplikovaná, inteligentní správce experimentů laserového mikroskopu OLS5100 tento proces zjednodušuje pomocí automatizace klíčových kroků, jako je tvorba plánu experimentu.

Automatizujte rutinní postupy

Makro funkce

Můžete automatizovat celý pracovní postup kontroly pomocí nástroje pro tvorbu makro funkcí. Bez námahy vytvářejte a upravujte procedury a poté získávejte spolehlivé výsledky spuštěním registrovaného makro souboru. Ve spojení s inteligentním správcem experimentů můžete provádět rozhodnutí o přijetí či nepřijetí jediným kliknutím.

Zpřehledněte organizaci dat

Rychlé třídění dat
I v případě, že podmínky experimentu nebyly předem stanoveny, lze tyto podmínky stanovit během pořizování dat. Podmínky mohou být upraveny v průběhu experimentu, přetáhnutím myši lze navíc snadno přidávat snímky a analytická data. Systém podporuje flexibilní experimenty na míru pracovnímu postupu uživatele.

Automatické zadávání dat
Software automaticky přidává hodnoty do matice plánu experimentu, aby se minimalizovala pravděpodobnost vstupních chyb. Pouhými několika kliknutími můžete exportovat svá data do tabulky aplikace Excel.

Snadná organizace dat o podmínkách experimentu

Automatické pojmenování souborů

Pro snadné vedení záznamů můžete v plánu experimentu kliknout na kteroukoli buňku a software automaticky vygeneruje název souboru uvádějící podmínky vyhodnocení. Každý soubor obsahuje přidružené obrázky a data.

podmínky experimentu pro materiálový výzkum

Rychlé výsledky měření

Posouzení tolerance
Funkce pro posuzování tolerance Vám umožní letmým pohledem potvrdit přijetí či nepřijetí na základě nastavené tolerance. Toleranci lze ověřit změnou prahové hodnoty podle výstupu ze vzorku.

Tepelná mapa
Barevná mapa softwaru Vám pomůže lépe pochopit data získaná během Vašeho experimentu. Barvy a procentuální hodnoty tepelné mapy lze snadno upravovat. Intuitivní rozvržení grafů a tepelné mapy umožňují rychlou vizualizace dat, díky které zpozorujete problémy již v dřívějších fázích procesu.

Víceúdajová analýza

Komparativní analýza dat
Můžete analyzovat několik pořízených datových sad vedle sebe společně s jejich integrovanými zobrazovacími měřítky a 3D úhly. Korekci obrazu a analýzu lze provádět současně. Tato funkce je užitečná při analýze tvaru více vzorků s různými podmínkami zpracování nebo při analýze defektů. Jednotlivé snímky, profily a číselné hodnoty výsledků lze exportovat do programu Excel, což usnadňuje rychlé uspořádání a vyhodnocení dat.

Stáhněte si brožuru

a zjistěte více informací o laserovém mikroskopu OLS5100

Stáhnout

Technické parametry

Hlavní jednotka

Model		OLS5100-SAF	OLS5100-SMF	OLS5100-LAF	OLS5100-EAF
Celkové zvětšení		54x – 17 280x
Zorné pole		16 µm – 5 120 µm
Princip měření	Optický systém	Reflexní konfokální laserový skenovací laserový mikroskop Reflexní konfokální laserový skenovací DIC mikroskop Barevný Barevný DIC
Princip měření	Světlo přijímající prvek	Laser: Fotonásobič (2kanálový) Barva: Barevná CMOS kamera
Měření výšky	Rozlišení displeje	0,5 nm
Měření výšky	Dynamický rozsah	16 bitů
Měření výšky	Opakovatelnost σ_{n – 1}^{1 2 *5}	5X: 0,45 μm, 10X: 0,1 μm, 20X: 0,03 μm, 50X : 0,012 μm, 100X : 0,012 μm
Měření výšky	Přesnost ^{1 3 *5}	0,15 + L/100 μm (L: délka měření [μm])
Měření výšky	Přesnost sešívaného snímku ^{1 3 *5}	10X: 5,0 + L/100 μm, 20x nebo vyšší: 1,0 + L/100 μm (L: délka sešívání [μm])
Měření výšky	Šum měření (šum Sq) ^{1 4 *5}	1 nm (typ)
Měření šířky	Rozlišení displeje	1 nm
Měření šířky	Opakovatelnost 3σ_{n – 1} ^{1 2 *5}	5X: 0,4 μm, 10X: 0,2 μm, 20X: 0,05 μm, 50X: 0,04 μm, 100X: 0,02 μm
Měření šířky	Přesnost ^{1 3 *5}	Hodnota měření ± 1,5 %
Měření šířky	Přesnost sešívaného snímku ^{1 3 *5}	10X: 24+0,5L μm, 20X: 15+0,5L μm, 50X: 9+0,5L μm, 100X: 7+0,5L μm (L: délka sešívání [mm])
Maximální počet měřicích bodů v jednom měření		4 096 × 4 096 pixelů
Maximální počet měřicích bodů		36 megapixelů
Konfigurace stolku XY	Modul měření délky	•	Není k dispozici	Není k dispozici	•
Konfigurace stolku XY	Pracovní rozsah	100 × 100 mm (3,9 × 3,9 palce) Motorizovaný	100 × 100 mm (3,9 × 3,9 palce) Ruční	300 × 300 mm (11,8 × 11,8 palce) Motorizovaný	100 × 100 mm (3,9 × 3,9 palce) Motorizovaný
Maximální výška vzorku		100 × 100 mm (3,9 × 3,9 palce)	30 mm (1,2 palce)	30 mm (1,2 palce)	210 mm (8,3 palce)
Laserový světelný zdroj	Vlnová délka	405 nm
Laserový světelný zdroj	Maximální výkon	0,95 mW
Laserový světelný zdroj	Třída laseru	Třída 2 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)^*6
Barevný světelný zdroj		Bílé LED světlo
Elektrické napájení		240 W	240 W	278 W	240 W
Hmotnost	Tělo mikroskopu	cca 31 kg (68,3 libry)	cca 32 kg (70,5 libry)	cca 50 kg (110,2 libry)	cca 43 kg (94,8 libry)
Hmotnost	Řídicí jednotka	cca 12 kg (26,5 libry)

*1 Garantováno při použití v prostředí s konstantní teplotou a vlhkostí (teplota: 20 ˚C ±1 ˚C, vlhkost: 50 % ±10 %) dle specifikace normy ISO554(1976), JIS Z-8703(1983).
*2 Pro zvětšení 20x nebo vyšší při měření objektivem z řady MPLAPON LEXT.
*3 Při měření specializovaným objektivem LEXT.
*4 Typická hodnota při měření objektivy MPLAPON100XLEXT, nemusí se shodovat s garantovanou hodnotou.
*5 Garantováno v rámci certifikačního systému Evident.
*6 Mikroskop OLS5100 se řadí mezi laserové produkty třídy 2. Vyvarujte se přímému pohledu do světelného paprsku.

** Řídicí jednotka mikroskopu poskytovaná společností Evident je vybavena certifikovanou licencí pro operační systém Windows 10. Na produkt se proto vztahují licenční podmínky společnosti Microsoft, se kterými vyjadřujete Váš souhlas. Více informací viz patřičné licenční ujednání společnosti Microsoft.
https://www.microsoft.com/en-us/Useterms/Retail/Windows/10/UseTerms_Retail_Windows_10_english.htm

Objektivy

Řada	Model	Numerická apertura (NA)	Pracovní vzdálenost (WD) (mm)
Objektiv UIS2	MPLFLN2.5X	0,08	10,7
Objektiv UIS2	MPLFLN5X	0,15	20
Specializovaný objektiv LEXT (10X)	MPLFLN10XLEXT	0,3	10,4
Specializovaný objektiv LEXT (typ se zvýšeným výkonem)	MPLAPON20XLEXT	0,6	1
	MPLAPON50XLEXT	0,95	0,35
	MPLAPON100XLEXT	0,95	0,35
Specializovaný objektiv LEXT (typ s dlouhou pracovní vzdáleností)	LMPLFLN20XLEXT	0,45	6,5
	LMPLFLN50XLEXT	0,6	5,2
	LMPLFLN100XLEXT	0,8	3,4
Objektiv s extra dlouhou pracovní vzdáleností	SLMPLN20X	0,25	25
	SLMPLN50X	0,35	18
	SLMPLN100X	0,6	7,6
Objektiv s dlouhou pracovní vzdáleností pro LCD	LCPLFLN20XLCD	0,45	8.3-7.4
	LCPLFLN50XLCD	0,7	3.0-2.2
	LCPLFLN100XLCD	0,85	1.2-0.9

Počítačová aplikace

Standardní software	OLS51-BSW
Standardní software	Aplikace pro sběr dat	Aplikace pro analýzu dat (základní analýza)
Aplikační balíček motorizovaného stolku^*1	OLS50-S-MSP
Aplikace pro pokročilou analýzu dat^*2	OLS50-S-AA
Aplikace pro měření tloušťky povlaku	OLS50-S-FT
Aplikace pro automatické měření hran	OLS50-S-ED
Aplikace pro částicovou analýzu	OLS50-S-PA
Aplikace pro kompletní asistenci s experimenty	OLS51-S-ETA
Aplikace pro analýzu zakřivení povrchu koule/válce	OLS50-S-SA

*1 Včetně funkcí pro pořizování dat s automatickým sešíváním a sběr dat z více oblastí.
*2 Včetně analýzy profilů, diferenční analýzy, analýzy výškových rozdílů, analýzy povrchů, analýzy ploch/objemů, analýzy lineární drsnosti, analýzy plošné drsnosti a histogramové analýzy.