Die MX63 und MX63L Halbleitermikroskopsysteme ermöglichen die genaue Untersuchung von Wafern bis zu einer Größe von 300 mm, Flachbildschirmen, Leiterplatten und anderen großen Proben. Dank ihres modularen Aufbaus eignen sich diese ergonomischen und benutzerfreundlichen Systeme für die verschiedensten Anwendungen.

Zur Optimierung der Prüfung gibt es folgende Anpassungsmöglichkeiten für die MX63 Serie:

• Großer, motorgesteuerter Tisch zur Prüfung großer Wafer
• Verschiedene Waferhalter und Probenhalterungen
• Anwendungsspezifische Software auf der Grundlage der benutzerfreundlichen PRECiV Software
• Adapter zur Aktivierung von Durchlicht-IR-Prüfungen

Anwendungsspezifische Software zur Optimierung Ihrer Prüfabläufe

Nutzen Sie alle Vorteile eines motorgesteuerten Tisches mit maßgeschneiderten Softwarelösungen. Unsere PRECiV Software kann an Ihren spezifischen Arbeitsablauf angepasst werden.

Zum Beispiel enthält die kundenspezifische Lösung Navigate on Wafer (Navigation auf dem Wafer) einen Arbeitsablauf für die Messung in mehreren Positionen. 

Schauen Sie sich im Video an, wie diese Lösung das Wafer-Layout erkennt und verschiedene Punkte auf dem Wafer während der Bildgebung angesteuert.