Dank der genauen 3D-Messungen an einer Vielzahl von Probentypen liefert das System zuverlässige Daten für die Qualitätssicherung und Prozesskontrolle.
Der violette 405-nm-Laser und Spezialobjektive mit hoher NA ermöglichen die Aufnahme feiner Muster und Defekte, die mit herkömmlichen Lichtmikroskopen, Weißlichtinterferometern oder mit roten Lasern arbeitenden Mikroskopen nicht aufgelöst werden können. | ||
Roter Laser (658 nm: 0,26 μm Line & Space) | Violetter Laser (405 nm: 0,12 μm Line & Space) |
LEXT Spezialobjektive können Randbereiche, die sonst verzerrt würden, genau messen. | |
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Der neue MEMS Scanner liefert genaue X-Y-Scans mit geringer Spiegeltorsion und minimaler optischer Aberration. |
Mit der 4K-Scantechnologie werden 4096 Pixel in X-Richtung erfasst – viermal mehr als mit unserem Vorgängermodell. |
Da herkömmliche Lasermikroskope auf der Grundlage von Standard-Bildverarbeitungsverfahren arbeiten, z. B. Glättung zur Entfernung von Rauschen, gehen manchmal korrekt gemessene feine Höhenunterschiede zusammen mit dem Entfernen des Rauschens verloren. |
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Die Informationen auf dieser Seite, einschließlich der Genauigkeitsgarantie, basieren auf den von Olympus festgelegten Bedingungen.