Olympus bietet einen eigenen optischen Scanner.

Der neue MEMS Scanner liefert genaue X-Y-Scans mit geringer Spiegeltorsion und minimaler optischer Aberration. Während sich bei einigen Lasermikroskopen Schwankungen bei der Messung in Randbereichen des Bildes nicht vermeiden lassen, liefert das OLS5000 Mikroskop einheitliche Ergebnisse unabhängig davon, ob die Mitte oder die Peripherie des Sehfeldes gemessen wird.