Wir haben eine neue Fertigungstechnologie verwendet, um Objektive zu entwickeln, bei denen die numerische Apertur, der Arbeitsabstand und die Planität optimiert wurden. Eine hohe numerische Apertur (NA) und ein Arbeitsabstand von 3 mm verbessern das Sichtfeld und die Bildqualität von der Mitte bis zum Rand des Bildes, was einen höheren Durchsatz bei der automatisierten Prüfung von Halbleitern ermöglicht. Es sind 20X- und 50X-Hellfeldobjektive verfügbar. |
MXPLFLN50X
Das MXPLFLN50X ist unser erstes 50X-Objektiv mit einer numerischen Apertur von 0,8 und einem Arbeitsabstand von 3 mm. Im Vergleich zu einem LMPLFLN100X-Objektiv ist das Sichtfeld dank der 0,8 NA bei 50-facher Vergrößerung viermal größer.
MXPLFLN20X
Das MXPLFLN20X ist unser erstes 20X-Objektiv mit einer numerischen Apertur von 0,6 und einem Arbeitsabstand von 3 mm. Die hohe NA und hohe Planität erzeugen homogene Bilder, die sich zum Stitching eignen.
Aumento [X] | 20 |
---|---|
Apertura numérica (A. N.) | 0,6 |
Distancia de trabajo (D. T.) [mm] | 3 |
Número de campo de objetivo | 26,5 |
Medio de inmersión | Aéreo/seco |
Mecanismo protector | N/A |
Collar de corrección | N/A |
Rango de corrección del collar de corrección | N/A |
Iris | N/A |
Nivel de corrección de aberración cromática | Semipocromático (FL) |
Distancia de parfocalización [mm] | 45 |
Posición de plano focal posterior (BFP) | -8,0 |
Tipo de rosca | W20,32 × 0,706 (RMS) |
Campo claro (reflejado) | Bueno |
Campo claro (transmitido) | Bueno |
Campo oscuro (reflejado) | N/A |
Campo oscuro (transmitido) | N/A |
DIC (reflejado) | Bueno |
DIC (transmitido) | N/A |
Contraste de fase | N/A |
Contraste de relieve | N/A |
Luz polarizada | Limitación |
Fluorescencia (excitación B, G) | Bueno |
Fluorescencia UV (a 365 nm) | N/A |
Multifotón | N/A |
TIRF | N/A |
IR | N/A |
WLI | N/A |
Enfoque automático | Bueno |
Vergrößerung [X] | 50 |
---|---|
Numerische Apertur (NA) | 0,8 |
Arbeitsabstand (AA) [mm] | 3 |
Objektiv Sehfeldzahl | 26,5 |
Immersionsmedium | Luft/trocken |
Federbelastet | Keine Angabe |
Korrekturring | Keine Angabe |
Korrekturbereich des Korrekturrings | Keine Angabe |
Irisblende | Keine Angabe |
Korrektur der chromatischen Aberration | Semiapochromatisch (FL) |
Parfokalabstand (mm) | 45 |
Position der hinteren Brennebene (BPF) | -8,0 |
Schraubgewindeart | W20,32 × 0,706 (RMS) |
Hellfeld (Auflicht) | Gut |
Hellfeld (Durchlicht) | Gut |
Dunkelfeld (Auflicht) | Keine Angabe |
Dunkelfeld (Durchlicht) | Keine Angabe |
DIC (Auflicht) | Gut |
DIC (Durchlicht) | Keine Angabe |
Phasenkontrast | Keine Angabe |
Reliefkontrast | Keine Angabe |
Polarisiertes Licht | Beschränkung |
Fluoreszenz (B-, G-Anregung) | Gut |
UV-Fluoreszenz (bei 365 nm) | Gut |
Multiphotonen-Mikroskopie | Keine Angabe |
TIRF (Total internal reflection fluorescence) | Keine Angabe |
IR | Keine Angabe |
WLI | Keine Angabe |
Autofokus | Gut |
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