Gran soporte en puente: Alta estabilidad para la medición de muestras súper grandes

La estabilidad es un factor clave en la inspección de alta resolución de componentes, como las obleas/plaquetas electrónicas de silicio, los componentes electrónicos o las grandes piezas automotrices. El gran soporte en puente personalizable está diseñado para garantizar la precisión y la exactitud de las mediciones llevadas a cabo con el microscopio OLS5100. Entre sus características destacan:

• Mecanismo antivibración de granito para proporcionar una estabilidad excepcional.
• Platinas motorizadas de hasta 400 × 400 mm para la inspección de muestras grandes de hasta 20 kg.
• Desplazamiento manual en Z de 150 mm que aumenta la cantidad de grandes y altos objetos aptos para la inspección.

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Estaciones de trabajo personalizables de gran estabilidad: Máxima precisión de medición

Para alcanzar una óptima precisión de medición durante las inspecciones a escala nanométrica (nm) de muestras (p. j., productos electrónicos) se requiere un instrumento capaz de minimizar el efecto de las vibraciones externas.

Nuestras estaciones de trabajo de gran estabilidad permiten inspecciones precisas a escala nanométrica (nm). Las estaciones de trabajo incluyen:

• Soportes estables para microscopio
• Unidades activas antivibración (en modo integrado o de mesa)
• Cajas de control ambiental
• Soportes para PC y monitores separados a fin de eliminar la vibración de la PC transmitida al microscopio.

Estos componentes dedicados a las estaciones de trabajo pueden ser usados para personalizar una solución llave en mano completa, o pueden ser comprados individualmente según sus requisitos.

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Soporte superior estable de piedra: Entorno de trabajo optimizado

Lograr condiciones ambientales adecuadas para una precisión óptima, al ejecutar una inspección a escala nanométrica (nm) de la electrónica u otros objetos, puede ser un desafío.

El soporte superior de piedra contribuye a garantizar que los operadores puedan obtener mediciones fiables con alta resolución.

• Diseño concebido para el microscopio OLS51000 CUS TM, que favorece la alta estabilidad del microscopio durante la inspección de objetos voluminosos y pesados.
• Pies niveladores que permiten un fácil ajuste de altura de 0 a 50 mm para superficies irregulares.
• Marco de acero inoxidable y mesa resistente a los arañazos para una protección contra daños.

Las unidades antivibración activas pueden integrarse a la perfección en el soporte del microscopio, lo que forma una solución muy compacta, o pueden adaptarse a una unidad antivibración de escritorio, según las necesidades de su inspección.

Unidad antivibratoria activa de mesa: Elimine pequeñas vibraciones para una mayor precisión

En el caso de aplicaciones que requieren una resolución de escala nm, como la inspección de obleas/plaquetas electrónicas, incluso los pasos ligeros o el ruido menor pueden afectar la precisión de la medición.

La unidad antivibración activa de mesa está diseñada para eliminar las vibraciones externas, y cuenta con múltiples funciones que aumentan la estabilidad y la precisión de la medición:

• Ancho de banda activa de 0,6 a 200 Hz.
• Rendimiento de aislamiento mínimo de 25 dB a 5 Hz o de 40 dB a >10 Hz para proporcionar una excelente estabilidad.
• Capacidad de carga de hasta 150 kg, que proporciona estabilidad al microscopio durante la inspección de objetos pesados, como con las piezas de automóviles.

Cajas de control ambiental: Una herramienta poderosa en la inspección de salas blancas

La protección del microscopio proporciona un entorno de trabajo ambiental que mejora la precisión de la medición y reduce el sonido de escaneo cuando se usan los sistemas LEXT estándar. A fin de permitir que los usuarios puedan mantener flujos de trabajo de inspección eficientes con protección, la caja de control ambiental posee varias características innovadoras de diseño:

• Grandes puertas frontales y laterales que brindan fácil acceso al estativo LEXT-EAF, lo que permite un rápido desplazamiento manual en Z o un ajuste del bloque de altura, y una colocación eficiente de la muestra.
• Diseño elegante y aerodinámico que posee ventanas transparentes para un control del flujo de trabajo.
• La caja de control ambiental protege el LEXT del polvo, lo que la hace extremadamente útil en la inspección de salas blancas.
• Instalación de caja que puede ser directa en la mesa específica, lo que aumenta la estabilidad del microscopio y la precisión de la medición.
• Compatibilidad con todos los modelos LEXT estándar.
• Hay una solución similar disponible para el LEXT OLS5100 CUS TM más grande.

Mandril de vacío microporoso: Óptima fijación para muestras delicadas

La inspección precisa de elementos delgados y flexibles, como las películas RFID, los paneles solares y las obleas/plaquetas de silicio, requiere portamuestras que proporcionen una fuerza de sujeción uniforme sin superar la deformación mínima de la muestra.

El mandril de vacío microporoso mantiene la planitud y la integridad de las muestras delicadas a lo largo de la inspección. Esto se logra utilizando una aspiración uniforme a través de microporos en lugar de orificios de aspiración o ranuras.

• El mandril de vacío microporoso minimiza el movimiento de la muestra, lo que aumenta la reproducibilidad de la medición.
• Diseño especialmente dedicado a la inspección de obleas/plaquetas de silicio.
• Se permite la inspección eficiente de sustratos de paredes delgadas, como papeles, láminas, obleas/plaquetas y placas de PCB.

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Soporte giratorio de vacío para obleas: Accesorio estable y seguro para obleas/plaquetas

Los soportes de muestras deben facilitar el desplazamiento a través de las muestras y una fijación estable para garantizar una inspección eficiente de las obleas/plaquetas de silicio.

El soporte de vacío para obleas posee varias características que agilizan la distribución del trabajo de inspección en obleas/plaquetas electrónicas:

• Fuerza de vacío distribuida uniformemente para garantizar la máxima estabilidad de la oblea/plaqueta y una óptima precisión de medición.
• Rotación de las obleas/plaquetas que hace el desplazamiento a través de las muestras más fácil y rápido.
• Diseño escalonado con ranuras de 30 mm de ancho para una cómoda colocación de muestras.
• Soporte que permite el enganche directo de una platina de 300 mm o de 200 mm con una placa adaptadora.
• Diseñado para la inspección de obleas de 4 pulg., 6 pulg., 8 pulg. y 12 pulg.

Soporte giratorio para obleas: Rentabilizar la inspección de obleas/plaquetas

El soporte giratorio para obleas/plaquetas proporciona una alternativa sencilla y rentable para fijar las muestras donde no se requiere succión al vacío.

• Rotación de obleas/plaquetas que mejora el desplazamiento a través de las muestras y acelera la inspección.
• Diseño escalonado con ranuras de 30 mm de ancho para una colocación simplificada de muestras.
• Soporte capaz de adaptar obleas/plaquetas de 4 pulg., 6 pulg. y 8 pulg.
• También, hay disponible un soporte para obleas/plaquetas de 8 pulgadas dedicado a los microscopios DSX.

Fijaciones de rosca: Fácil inspección con accesorios personalizados

Con frecuencia, son necesarios accesorios personalizados para poder sujetar tuberías/tubos, cubos u otros objetos irregulares durante una inspección.

La fijación de rosca, dotada de 68 roscas M3 distribuidas uniformemente y con una medida de 150 mm × 110 mm × 5,5 mm, permite acomodar una amplia variedad de accesorios personalizados para una fijación versátil de muestras.