Olympus tiene su propio escáner óptico.

El nuevo escáner MEMS lleva a cabo escaneos X-Y muy precisos mediante una baja distorsión de traza de escaneo y mínimas aberraciones ópticas. A diferencia de algunos microscopios láser que no pueden evitar las fluctuaciones en las mediciones de áreas periféricas, el microscopio OLS5000 obtiene resultados uniformes sin importar que la medición se efectúe en el centro o la periferia del campo visual.