El algoritmo de escaneo del microscopio ofrece datos de calidad mejorada y una velocidad superior para reducir el tiempo de escaneo y poder racionalizar su flujo de trabajo para conseguir una productividad superior. |
Muestra con una altura de 80 nm estándar VLSI (MPLFLN10XLEXT) | El microscopio OLS5000 incorpora un algoritmo de PICO para efectuar mediciones de datos en 3D. Este algoritmo proporciona datos muy precisos desde altas y bajas magnificaciones, además de reducir el tiempo de adquisición de datos. |
Al medir la forma de los pasos en una muestra que contienen planos casi verticales, como un componente electrónico o MEMS, el tiempo de adquisición de datos puede reducirse limitando el rango de escaneo en la dirección Z.
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