La serie de manipuladores de obleas (discos/plaquetas) electrónicas AL120 posibilita la transferencia segura y rápida de las obleas semiconductoras de silicio y compuestos desde el casete hasta la platina del microscopio. Diseñado para aumentar el rendimiento del producto, el manipulador de obleas se combina con nuestro microscopio de semiconductores MX63 con el objetivo de proporcionar una solución de inspección fiable para obleas electrónicas.

Precisión y flexibilidad

Adaptación a múltiples tamaños de obleas para su manipulación e inspección

La capacidad de adaptarse a diferentes tamaños de obleas (discos/plaquetas) es clave para ampliar las instalaciones de fabricación de obleas electrónicas. La serie de manipuladores AL120 se compone de tres modelos basados en los siguientes diámetros: modelo de 200 mm, modelo convertible de 150 mm y 200 mm, y modelo 150 mm para obleas electrónicas de tamaño igual o inferior a 150 mm. Cada sistema está diseñado para la transferencias de obleas y la inspección microscópica. También está disponible la macro inspección para la superficie superior y de fondo de todos los tamaños de obleas.

Tamaño y espesor de obleas electrónicas

Soporte en la manipulación e inspección de obleas delgadas

A fin de cumplir con las demandas de los fabricantes relativas a las obleas delgadas, el diseño manga del modelo AL120-LMB-90 permite manipular un casete completo de obleas de 90 µm.

Funcionamiento resuelto

Macro inspección mejorada para obleas semiconductoras

Macro inspección con función de rotación de 360 grados (simulación)

Una función de autorrotación de 360° otorga una completa inspección de nivel macro para las superficies superior y de fondo de las obleas, lo que permite una fácil identificación de los defectos y las partículas. La palanca de mando controla la inclinación de la oblea durante la macro inspección de la superficie superior. Los operadores pueden ajustar el ángulo de la oblea para optimizar los resultados de inspección.

Fácil manipulación de obleas electrónicas

• Para cumplir con los requisitos de las varias rutinas de inspección, el manipulador de obleas AL120 es controlado por fórmulas provenientes de diez configuraciones programables del sistema, entre las cuales destacan el tipo de casete específico, las especificaciones de obleas y la velocidad de transferencia. Con tan sólo pulsar un botón, el operador carga rápidamente los diferentes productos de forma instantánea.
• Los parámetros de manipulación de la oblea y las configuraciones de fórmulas se proyectan en la pantalla LCD. Los operadores pueden confirmar rutinas y resultados antes y después de la inspección.
• El manipulador de obleas AL120 proporciona un centrado óptico sin contacto, así como el alineamiento y la detección de las muescas/bordes planos. Estas funciones reducen el contacto entre la oblea y el equipamiento, lo que mantiene una óptima limpieza de las obleas.

Fiabilidad

Maximización de la seguridad de la oblea mediante el proceso de transferencia

El diseño AL120 incluye funciones avanzadas para maximizar la seguridad de la oblea. El sistema dotado de tres sensores monitoriza continuamente la posición de las obleas para ejecutar de forma segura y adecuada su extracción, transferencia, carga y descarga. Estas funciones evitan daños con respecto a la carga de más de una oblea en la ranura y la recogida accidental transversal a partir de ranuras.

Plataforma microscópica fiable para la observación de obleas semiconductoras

El manipulador de obleas AL120 comunica con nuestra serie de microscopios de inspección para obleas MX™, los cuales proporcionan una excepcional resolución y claridad de imágenes a través de un rango de métodos de observación, como el campo claro, el campo oscuro, el contraste de interferencia diferencial (DIC) y el infrarrojo cercano (NIR). Asimismo, la torreta de objetivo motorizada y el tope de apertura están entrelazados; esto permite una óptima iluminación y contraste para cada lente de objetivo. El manipulador de obleas puede adaptarse a otros modelos de microscopios bajo una base de orden especial.

Opciones ergonómicas de platina para la comodidad del operador y la eficiencia del trabajo

• La platina de vacío manual a descarga rápida optimiza la comodidad y eficiencia del operador. Tanto el control X e Y como la rotación de la oblea son estándar.
• La platina* motorizada, además de automatizar el proceso de inspección, puede ser controlada mediante el mando o las rutinas preprogramadas. Con tan sólo una pulsación de botón, la platina puede desplazarse a la posición de carga/descarga e inicio.

* Puede que la platina motorizada no esté disponible para algunas áreas geográficas.

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