Grand statif à pont : stabilité élevée pour effectuer des mesures sur des échantillons particulièrement grands

La stabilité est un facteur clé pour l’inspection en haute résolution de composants tels que plaquettes de silicium, composants électroniques ou grandes pièces d’automobile. Le grand statif à pont personnalisable est conçu pour garantir la précision et l’exactitude des mesures prises avec le microscope OLS5100. Parmi ses caractéristiques :

• Les propriétés d’amortissement des vibrations du granit assurent une stabilité exceptionnelle.
• Des platines motorisées jusqu’à 400 × 400 mm permettent l’inspection de grands échantillons pesant jusqu’à 20 kg.
• L’entraînement Z manuel de 150 mm augmente le nombre d’objets volumineux et hauts qui peuvent être inspectés.

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Stations de travail personnalisables très stables pour une optimisation de la précision des mesures

L’obtention d’une précision optimale des mesures lors de l’inspection à l’échelle nanométrique d’échantillons comme des composants électroniques nécessite un équipement capable de réduire au minimum l’effet des vibrations externes.

Nos stations de travail à haute stabilité permettent une inspection précise à l’échelle du nanomètre. Les stations de travail comprennent :

• Des supports de microscope stables
• Des unités antivibrations actives : intégrées ou de bureau
• Des boîtiers de contrôle de l’environnement
• Des supports distincts pour les PC et les moniteurs afin d’éliminer la transmission des vibrations du PC au microscope

Ces composants pour stations de travail peuvent être utilisés pour créer sur mesure une solution clé en main complète ou être achetés individuellement en fonction de vos besoins.

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Socle stable en pierre pour un environnement de travail optimisé

Il peut être difficile d’obtenir des conditions environnementales permettant une précision optimale lors d’inspections à l’échelle nanométrique de composants électroniques ou d’autres objets.

Le socle en pierre aide les opérateurs à obtenir des mesures fiables à haute résolution.

• Conçu pour offrir une grande stabilité au microscope OLS51000 CUS TM lors de l’inspection d’objets volumineux et lourds
• Les pieds de nivellement permettent un réglage facile de la hauteur de 0 à 50 mm sur les surfaces irrégulières.
• La potence en acier inoxydable et la surface résistante aux rayures offrent une protection contre les dommages.

Des unités antivibrations actives peuvent être intégrées facilement dans le socle du microscope pour une solution très compacte; sinon, une unité de bureau antivibrations peut être utilisée, selon vos besoins d’inspection.

Unité de bureau antivibrations active : élimination des petites vibrations pour une plus grande précision

Pour les applications nécessitant une résolution à l’échelle du nanomètre – p. ex. l’inspection de wafers –, de simples pas discrets dans la pièce ou des bruits légers peuvent affecter l’exactitude des mesures.

L’unité de bureau antivibrations active est conçue pour éliminer les vibrations externes et comporte de nombreuses caractéristiques qui augmentent la stabilité et la précision des mesures :

• Largeur de bande active entre 0,6 et 200 Hz
• Des performances d’isolation minimales de 25 dB à 5 Hz ou de 40 dB à > 10 Hz assurent une excellente stabilité.
• Capacité de charge jusqu’à 150 kg, ce qui assure la stabilité du microscope lors de l’inspection d’objets lourds comme des pièces automobiles

Boîtiers de contrôle de l’environnement : un outil puissant pour les opérations d’inspection en salles blanches

Le blindage du microscope permet l’obtention d’un environnement de travail ambiant qui améliore l’exactitude des mesures et qui réduit le bruit lié à l’analyse lors de l’utilisation de systèmes LEXT standard. Pour aider les utilisateurs à conserver un processus d’inspection efficace avec le blindage, le boîtier de contrôle de l’environnement dispose de plusieurs caractéristiques de design innovantes :

• Les grandes portes avant et latérales permettent d’accéder facilement au LEXT EAF, pour permettre un réglage manuel rapide du déplacement sur l’axe Z ou du bloc vertical et un positionnement efficace des échantillons.
• Ce modèle élégant et profilé est doté de fenêtres transparentes pour un contrôle efficace du flux de travaux.
• Le boîtier de contrôle de l’environnement protège le système LEXT de la poussière, ce qui le rend extrêmement utile pour l’inspection en salle blanche.
• Le boîtier peut être vissé directement sur la table dédiée, ce qui améliore la stabilité du microscope et l’exactitude des mesures.
• Compatible avec tous les modèles LEXT standard
• Une solution similaire est également disponible pour le système LEXT OLS5100 CUS TM, de plus grand format.

Mandrin à vide microporeux : fixation optimale adaptée aux échantillons délicats

La précision des inspections d’échantillons fins et flexibles tels que les films RFID, les panneaux solaires et les plaquettes de silicium nécessite des porte-échantillons offrant une force de serrage uniforme et une déformation minimale des échantillons.

Le mandrin à vide microporeux maintient la planéité et l’intégrité des échantillons délicats lors de l’inspection. Ceci grâce à une aspiration uniforme par le biais de micropores au lieu de trous ou de sillons d’aspiration.

• Le mandrin à vide microporeux réduit au minimum le mouvement des échantillons, ce qui augmente la répétabilité des mesures.
• Spécialement conçu pour l’inspection de wafers de silicium
• Permet une inspection efficace des substrats à parois minces, tels que les papiers, les feuilles métalliques, les wafers et les circuits imprimés

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Support rotatif à vide pour wafer : fixation stable et sûre des wafers

Les porte-échantillons doivent permettre de naviguer facilement entre les échantillons et d’assurer une fixation stable pour garantir une inspection efficace des wafers de silicium.

Le support à vide pour wafer présente de nombreuses caractéristiques qui optimisent la procédure d’inspection des wafers :

• La force d’aspiration uniformément répartie garantit une stabilité maximale des wafers et une exactitude de mesure optimale.
• La rotation des wafers facilite et accélère la navigation entre les échantillons.
• Modèle à étages avec rainures de 30 mm de large pour un positionnement pratique des échantillons
• Le porte-échantillon peut être fixé directement sur une platine de 300 mm ou sur une platine de 200 mm à l’aide d’une plaque-adaptateur.
• Conçu pour l’inspection de wafers de 4 po, 6 po, 8 po et 12 po

Support rotatif pour wafer : simplification de l’inspection de wafers

Le support rotatif pour wafer constitue une alternative simple et économique pour la fixation des échantillons lorsque l’aspiration sous vide n’est pas nécessaire.

• La rotation des wafers améliore la navigation entre les échantillons et accélère le processus d’inspection.
• Le design à étages avec des rainures de 30 mm de large simplifie le positionnement des échantillons.
• Le support de wafer peut accueillir des wafers de 4 po, 6 po et 8 po.
• Nous proposons également un support de wafer de 8 po pour les microscopes DSX.

Fixations à trous filetés : inspection facile avec des fixations personnalisées

Des fixations personnalisées sont souvent nécessaires pour maintenir des tuyaux, des cubes ou d’autres objets irréguliers au cours de l’inspection.

Mesurant 150 × 110 × 5,5 mm et doté de 68 trous à filetage M3 uniformément répartis, l’insert à trous filetés peut accueillir un large éventail de fixations personnalisées pour la fixation polyvalente des échantillons.