Les microscopes d’inspection Evident offrent une grande flexibilité en permettant aux utilisateurs de visualiser les échantillons selon diverses méthodes d’observation. Cela inclut notamment l’observation MIXTE, une méthode d’éclairage qui peut combiner le fond noir avec une autre méthode d’observation, telle que le fond clair, la lumière polarisée simple ou la fluorescence, pour observer simultanément davantage d’éléments de votre échantillon. L’observation MIXTE est également connue sous le nom d’éclairage MIXTE ou de technologie MIXTE.
Figure 1. Schéma de principe de l’observation MIXTE.
Notre module d’observation MIXTE U-MIXR-2, qui s’insère dans la tourelle porte-objectifs rotative d’un microscope d’inspection, rend cette méthode d’observation possible. Lisez la suite pour en savoir davantage sur l’observation MIXTE et sur la manière dont elle facilite l’inspection des défauts sur les tranches de semi-conducteurs (wafers).
Figure 2. Vues avant et arrière d’un module MIXTE U-MIXR-2 .
Figure 3. Microscope compact monté sur un appareil doté d’un système d’éclairage U-KMAS équipé du module MIXTE.
Inspection des défauts des tranches de semi-conducteurs en fond clair et en fond noir
La combinaison du fond clair et du fond noir en observation MIXTE est particulièrement utile pour l’inspection des défauts des tranches de semi-conducteurs (wafers). Le fond clair fait ressortir les détails sur la surface, tels que les couleurs, tandis que le fond noir fait ressortir les reliefs, tels que les minuscules rayures et défauts. En les combinant en une seule méthode, les utilisateurs peuvent voir à la fois le dessin et les couleurs des tranches.
Figure 4. La combinaison de l’observation en fond clair et en fond noir montre la couleur et le dessin du circuit intégré du wafer simultanément, ce qui vous permet de détecter rapidement les problèmes potentiels et de gagner du temps pendant l’inspection.
Identification de l’emplacement d’une plaquette à l’aide de la fluorescence et du fond noir
Une autre façon utile d’utiliser l’observation MIXTE consiste à combiner la fluorescence et le fond noir. Lors des inspections des semi-conducteurs, l’éclairage d’excitation de fluorescence est généralement utilisé pour inspecter les particules de photorésine résiduelles. Cependant, il est souvent difficile de déterminer la position de l’objet avec cette méthode d’éclairage. La bonne nouvelle, c’est que l’objet peut être localisé en utilisant le fond noir. Lors de l’inspection des wafers, la combinaison de la fluorescence et du fond noir en observation MIXTE permet de localiser un wafer, d’observer la forme de son dessin et de détecter la photorésine indésirable.
Figure 5. La combinaison de l’observation de fluorescence et en fond noir améliore l’inspection du dessin du circuit intégré et des résidus.
Éclairage flexible avec champ noir directionnel
Un avantage important de l’éclairage MIX est la fonction de fond noir directionnel, qui vous permet de contrôler la quantité et la direction de la lumière arrivant sur l’échantillon. Les 16 DEL peuvent être contrôlées séparément pour éclairer un objet selon un angle oblique depuis n’importe quelle direction. Cette fonctionnalité vous permet de distinguer les surfaces surélevées des dépressions et de mettre en évidence les nouvelles caractéristiques et les défauts. Vous pouvez également combiner le fond noir directionnel avec le fond clair, la lumière polarisée, la lumière transmise ou la fluorescence pour améliorer encore le degré de détail.
Regardez les images ci-dessous, qui montrent des exemples de fond noir directionnel :
Figure 6. Amélioration de la visualisation des détails de surface dans un câble plat en combinant le fond noir directionnel avec une autre méthode d’observation en utilisant l’observation MIXTE. Le bleu sur le cadran indique la direction de la lumière du fond noir directionnel, tandis que le cercle rouge indique la zone observée.
Figure 6. Images de gauche à droite :
- L’observation MIXTE en fond clair et en fond noir permet d’observer la surface du revêtement de polyimide et la feuille de cuivre en même temps
- L’observation MIXTE en fond clair et en fond noir incliné au-dessus permet d’observer la partie plane et la forme inclinée sous-jacente simultanément
- L’observation MIXTE en fond clair et en fond noir incliné en dessous permet d’observer la partie plane et la forme inclinée au-dessus
- L’observation MIXTE en lumière polarisée et en fond noir permet d’observer les contaminations et la forme concave simultanément
Intégrer l’observation MIXTE dans la conception de l’instrument
L’observation MIXTE permet de gagner du temps pendant les inspections en permettant de visualiser davatage d’éléments de l’échantillon en même temps, ce qui en fait un outil utile pour les applications nécessitant une combinaison de fond noir et d’autres méthodes d’observation.
- Microscope métallographique droit BX53M
- Microscope métallographique inversé GX53
- Microscope d’inspection des wafers MX63/MX63L
- Microscope de mesure STM7
- Microscopes modulaires BXFM
En outre, certaines versions plus anciennes de nos microscopes des séries BX™ et MX™ peuvent intégrer l’observation MIXTE à l’aide de composants supplémentaires.
Pour en savoir plus sur nos composants optiques de haute qualité pouvant être intégrés à votre appareil d’imagerie, rendez-vous sur notre centre de ressources FMO. Vous pouvez également consulter notre page sur les microscopes industriels pour en savoir plus sur les microscopes qui utilisent l’éclairage MIXTE.
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