Les chargeurs de wafers de la série AL120 permettent un transfert rapide et sûr des wafers de semi-conducteurs en silicium et composés du portoir de wafers jusqu’à la platine du microscope. Conçu pour augmenter la cadence de production, le système de manipulation de wafers se combine avec notre microscope d’analyse de semi-conducteurs MX63 pour créer un système d’inspection de wafers fiable.

Précision et flexibilité

Manipulation et inspection de plusieurs tailles de wafers

L’utilisation d’appareils pouvant prendre en charge différentes tailles de wafers est nécessaire à l’expansion des installations de fabrication de wafers. La série AL120 se compose de trois modèles basés sur le diamètre des wafers, à savoir le modèle de 200 mm, le modèle convertible de 150 mm et 200 mm, et le modèle de 150 mm pour les wafers de 150 mm ou moins. Chaque système est conçu pour le transfert de wafers et pour l’inspection de ceux-ci au microscope. Des inspections macro de la surface supérieure et arrière des wafers peuvent également être faites pour toutes les tailles de wafers.

Taille et épaisseur des wafers

Prise en charge de la manipulation et de l’inspection des wafers minces

Pour répondre aux exigences des fabricants de wafers minces, nous avons conçu le bras du modèle AL120-LMB-90 pour qu’il puisse manipuler un portoir complet de wafers de 90 µm.

Fonctionnel

Inspection macro améliorée des wafers de semi-conducteurs

Inspection macro avec fonction de rotation à 360 degrés (simulation)

Une fonction de rotation automatique à 360 degrés permet l’inspection macro complète de la surface supérieure et arrière des wafers, permettant un repérage facile des défauts et des particules. Le bouton directionnel intégré contrôle l’inclinaison du wafer lors de l’inspection macro de la surface supérieure. Les opérateurs peuvent ajuster l’angle du wafer pour optimiser les résultats d’inspection.

Simplification de la manipulation des wafers

• Pour répondre aux besoins des différents processus d’inspection, le chargeur de wafers AL120 est piloté selon des protocoles prédéfinis basés sur 10 configurations de système programmables, permettant l’adaptation à différents types de portoirs, de spécifications de wafers et de vitesses de transfert spécifiques. La sélection rapide par bouton-poussoir permet à l’opérateur de charger instantanément différents produits.
• Les paramètres du système de manipulation de wafers et les réglages du protocole sont visibles sur l’écran LCD. Les opérateurs peuvent vérifier les processus et les résultats avant et après l’inspection.
• Le chargeur de wafers AL120 permet un centrage optique sans contact de même qu’une détection et un alignement des encoches/méplats. Grâce à ces caractéristiques, il réduit le contact entre le wafer et l’équipement, améliorant ainsi la propreté du wafer.

Fiable

Optimisation de la protection des wafers tout au long du processus de transfert

Le chargeur AL120 est doté de fonctions avancées qui optimisent la protection des wafers. Un système à 3 capteurs surveille en permanence les positions des wafers, ce qui permet un prélèvement, un transfert, un chargement et un déchargement sûrs et conformes des wafers. Ce système aide à prévenir les dommages en cas de chargement de plus d’un wafer dans une fente du portoir, et lors de la récupération de wafers à la suite d’une inversion accidentelle de fentes de destination.

Système de microscope fiable pour l’observation de wafers de semi-conducteurs

Le chargeur de wafers AL120 s’intègre à notre série MX™ de microscopes dédiés à l’inspection de wafers qui offrent une résolution et une clarté d’image exceptionnelles selon une variété de méthodes d’observation, y compris les méthodes en fond clair, en fond noir, en contraste interférentiel (CID) et en proche infrarouge (NIR). La tourelle d’objectif motorisée et le diaphragme d’ouverture sont verrouillés, permettant un éclairage et un contraste optimaux pour chaque objectif. Le système de manipulation de wafers peut également être adapté à d’autres modèles de microscope dans le cadre d’une commande spéciale.

Platine dotée de fonctionnalités ergonomiques améliorant le confort et l’efficacité de l’opérateur

• La platine à vide manuelle à dégagement rapide optimise le confort et l’efficacité de l’opérateur. Des fonctions de contrôle selon les axes X-Y et de rotation des wafers sont incluses.
• La platine motorisée* peut être contrôlée au moyen d’un bouton directionnel ou via des protocoles préprogrammés, permettant ainsi une automatisation plus poussée du processus d’inspection. Un bouton-poussoir entraîne la platine dans ses déplacements entre la position de chargement/déchargement et la position initiale.

* Il est possible que la platine motorisée ne soit pas disponible dans certaines régions.

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