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Microscopes industriels

Applications

Motif de circuit intégré sur un wafer semi-conducteur

Le fond noir est utilisé pour détecter des égratignures ou des défauts minimes sur un échantillon et pour examiner des échantillons avec des surfaces réfléchissantes, comme des wafers.

L’éclairage MIX permet aux utilisateurs de voir à la fois les couleurs et les motifs.

Fond clair + fond noir (MIX)

Fond clair + fond noir (MIX)

Fond noir

Fond noir

Fluorescence

Fluorescence (FL)

Fluorescence + fond noir (MIX)

Fluorescence + fond noir (MIX)

Résidu photorésistant sur un wafer de semi-conducteur

La fluorescence est utilisée pour des échantillons qui émettent de la lumière lorsqu’ils sont éclairés avec un cube de filtres spécialement conçu à cet effet. Cette méthode est utilisée pour détecter toute contamination ou résidu photorésistant.

L’éclairage MIX permet l’observation du résidu photorésistant et du motif du circuit intégré.

Filtre de couleur LCD

Cette technique d’observation est adaptée à des échantillons transparents tels que les LCD, les plastiques et le verre.

L’éclairage MIX permet d’observer à la fois la couleur du filtre et les motifs du circuit.

Transmission

Transmission

Transmission + fond clair (MIX)

Transmission + fond clair (MIX)

Fond clair

Fond clair

Contraste interférentiel différentiel (CID)

Contraste interférentiel différentiel (CID)

Fonte à graphite sphéroïdal

Le contraste interférentiel différentiel («CID », ou « DIC » en anglais) est une technique d’observation où la hauteur d’un échantillon est visible en relief, à l’instar d’une image en trois dimensions avec un contraste amélioré. Il est idéal pour observer des échantillons présentant des différences de hauteur infimes, comme des structures métallurgiques et des minéraux.

Séricite

Le CID est une technique d’observation dans laquelle la hauteur d’un échantillon, généralement indétectable sur un fond clair, est visible en relief, à l’instar d’une image en trois dimensions avec un contraste amélioré. Cette technique est idéale pour examiner des échantillons présentant des différences de hauteur infimes, comme des structures métallurgiques et des minéraux.

Fond clair

Fond clair

Lumière polarisée

Lumière polarisée

Infrarouge (IR)

Infrarouge (IR)

Plots de connexion sur un motif de circuit intégré

Le mode IR est utilisé pour rechercher des défauts à l’intérieur de puces de circuits intégrés et d’autres objets en silicone sur verre.

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