Composants de microscope compacts de haute qualité
La série BXC propose des composants de microscope de haute qualité qui suppriment les variations et garantissent une qualité d’imagerie constante. Ces microscopes compacts peuvent être intégrés rapidement et facilement à votre système de plusieurs façons. Vous pouvez télécharger les informations relatives à l’intégration de ces équipements à partir de notre centre de ressources sur la gamme BXC.
Objectifs haute performance
Grande ouverture numérique combinée à une grande distance frontale
Les objectifs jouent un rôle essentiel dans la performance d’un microscope. Les objectifs MXPLFLN ajoutent de la profondeur à la série MPLFLN pour l’imagerie par épi-éclairage en augmentant simultanément l’ouverture numérique et la distance frontale. Pour obtenir des résolutions élevées à des grossissements de 20X et 50X, il faut généralement travailler à des
distances frontales plus courtes, ce qui oblige à rétracter l’échantillon ou l’objectif pendant l’échange d’échantillons et à manipuler lentement les échantillons pendant l’observation. Dans de nombreux cas, la distance frontale de 3 mm de la série MXPLFLN élimine ce problème, ce qui permet des inspections plus rapides avec moins de risque de toucher
l’échantillon.
Nous avons amélioré la planéité d’image des objectifs MPLFLN 2,5X, 5X et 5X en fond clair/fond noir, ce qui accélère l’obtention d’images assemblées à de faibles grossissements. Pour améliorer la cadence d’observation en fond noir, nous avons ajouté à la série un objectif 2,5X pour observations en fond clair/fond noir, soit l’objectif MPLFLN2.5XBD.
Large plage spectrale
Du visible au proche infrarouge, notre technologie avancée de fabrication et de revêtement optique apporte aux utilisateurs et aux fabricants une variété de combinaisons d’objectifs et de lentilles de tube qui leur permettent d’atteindre plus facilement les spécifications dont ils ont besoin pour leurs systèmes grâce à des produits standardisés.
Courbes de transmittance des trois objectifs disponibles
Contrôle de l’aberration du front d’onde
Des processus haut de gamme sont utilisés lors de la fabrication des objectifs de la série MXPLFLN, comme la sélection de systèmes de lentilles dont l’aberration du front d’onde est contrôlée. Ce processus réduit au minimum la variation des performances de ces objectifs.
Obtention de l’image optimale
Faites votre choix parmi cinq lentilles de tube permettant de s’adapter à différentes applications.
La gamme BXC de notre série de microscopes BX™ offre de nombreuses variantes pour chaque composant, y compris l’objectif, les tourelles porte-objectifs rotatives et les illuminateurs. Cette gamme a été conçue pour s’adapter à vos différents besoins d’utilisation. La polyvalence et la modularité de ces composants leur permettent de s’adapter à des opérations d’inspection ou d’imagerie, comme la
vérification de l’alignement de wafers, la mesure de bosses et l’assemblage d’images.
Exemples de configuration de la série BXC
BX53M
Système BXC-CBRML
Système BXC-CBB
Microscope classique
Entrée de gamme
Économie d’espace avec un seul objectif d’observation en fond clair
Polyvalent
Systèmes de base compacts
Avancé
Assemblages entièrement motorisés pour salles blanches
Options avancées pour la conception et l’automatisation des systèmes
Fond noir directionnel polyvalent
Le fond noir est utilisé pour observer la lumière qui est diffusée ou diffractée à partir d’un échantillon, comme lorsqu’il y a des rayures ou des défauts sur une surface miroir ou un wafer de semi-conducteur. Le module coulissant MIX permet d’améliorer les observations en fond noir, et ce, sans grands composants optiques spécialisés, grâce à 16 LED individuellement réglables qui vous
permettent de contrôler la direction de la lumière éclairant l’échantillon. En outre, ce mode d’observation en fond noir directionnel obtenu au moyen d’un module coulissant MIX peut être combiné à une observation en fond clair, en lumière polarisée simple ou en fluorescence.
Module coulissant MIX (vue du dessus)
U-MIXR-2
Module coulissant MIX (vue du dessous)
U-MIXR-2
Fond noir
MIX avec fond clair
Grand choix de tourelles porte-objectifs rotatives
L’augmentation de la demande d’automatisation des systèmes entraîne une augmentation de la demande en tourelles porte-objectifs rotatives motorisées. Avec les tourelles porte-objectifs rotatives motorisées à cinq et six positions U-D5BDREMC et U-D6BDREMC, Evident a prouvé qu’il était à la hauteur en matière de performances. La tourelle porte-objectifs rotative motorisée de
classe 1 U-D5BDREMC-V, compatible avec les salles blanches, permet désormais d’éliminer sous vide la poussière et autres particules. Les tourelles porte-objectifs rotatives manuelles, codées et centrables ainsi que les adaptateurs pour objectif unique peuvent être intégrés aux systèmes BXC.
Tourelle porte-objectifs rotative BD motorisée avec fonction sous vide U-D5BDREMC-VA
Adaptateur d’objectif de mesure STM7-MMOBAD
Unité de détection de mise au point automatique
Le BXC-FSU est un produit laser de classe 1*1 qui permet la détection multipoint active afin de surveiller la direction de la position focale et du statut de la mise au point. Ce capteur fonctionne bien pour les échantillons à faible contraste, comme les wafers vierges. Un algorithme unique produit un signal de mise au point stable, quel que soit le grossissement de l’objectif et le bruit causé par la lumière
périphérique. Le manuel de référence pour les commandes, le manuel d’instructions et un logiciel de démonstration sont disponibles sur notre site Web.2
1 L’unité contient un laser de classe 1, donc aucune mesure de sécurité supplémentaire n’est requise.
2 Les manuels d’application sont disponibles à la demande.
Unité de détection de mise au point automatique BXC-FSU
Boîtier de commande compact
Les boîtiers de commande BXC-CBRML et BXC-CBB ont un faible encombrement, n’ont pas de ventilateur et offrent diverses options d’installation (p. ex. au mur ou au plafond). Selon le boîtier de commande, des composants comme le module coulissant MIX, le système d’éclairage, la tourelle porte-objectifs rotative motorisée et la source de lumière LED peuvent être intégrés et
contrôlés à l’aide de votre logiciel.
Apprenez-en plus
Nous offrons un large éventail de ressources documentaires pour accompagner nos clients OEM. Cliquez ici pour consulter notre page de ressources OEM, où vous trouverez des brochures, des manuels, des téléchargements de logiciels et d’autres contenus utiles.
Boîtier de commande BXC-CBRML
Boîtier de commande des parois
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