La façon dont les ondes sonores se propagent dans l’air et dans les matériaux a fait l’objet d’études dès le XIXe siècle, mais il aura fallu attendre les progrès de l’électronique au début du XXe siècle, notamment le développement du tube cathodique pour voir apparaître les appareils à ultrasons. L’idée d’utiliser les ondes ultrasonores pour étudier la structure interne des matériaux a été examinée pour la première fois dans les années 1920, et le premier brevet particulier au contrôle non destructif par ultrasons date de 1931. Le premier appareil commercial de contrôle par ultrasons, appelé réflectoscope, breveté en 1940 par le professeur Floyd Firestone (Université du Michigan) ainsi que le développement du sonar pendant la Seconde Guerre mondiale ont contribué à faire progresser le domaine. Dans les années 1950, les appareils commerciaux sont devenus de plus en plus accessibles.
Ces premiers appareils ont tous été développés principalement pour la détection de défauts par ultrasons, bien qu’ils puissent également être utilisés pour la mesure d’épaisseur. Dans les années 1960, les premiers appareils compacts et portables conçus pour la mesure d’épaisseur ont commencé à faire leur apparition, notamment ceux dont les mesures d’épaisseur s’affichent de manière numérique plutôt que sur un écran d’oscilloscope. Le modèle 5221 lancé en 1973 par Panametrics – prédécesseur d’Olympus, était le premier mesureur d’épaisseur à ultrasons commercial intégrant une fonction de mesure multimode préréglée permettant de couvrir une vaste gamme de matériaux et d’épaisseurs ; de plus, l’étalonnage de la vitesse pouvait être effectué par interrupteur.
Les appareils relativement compacts, alimentés par batterie et optimisés pour une grande variété d’applications de mesure sont devenus courants dans les années 1970, et ils n’ont jamais cessé depuis de devenir de plus en plus compacts et puissants. Au cours des années 1980, les mesureurs d’épaisseur ont été dotés de fonctions internes d’enregistrement des données et d’affichage des formes d’onde. Ensuite, dans les années 1990, le traitement numérique du signal a remplacé les circuits analogiques, ce qui a permis d’offrir une stabilité et une répétabilité supérieures. Plus récemment, grâce aux progrès de la technologie des microprocesseurs, les appareils miniatures sophistiqués et conviviaux d’aujourd’hui atteignent de nouveaux niveaux de performance.