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Ispezione del pattern del circuito su wafer campione


Wafer campione
Wafer campione

Applicazione

Quando è necessario osservare sia il pattern del circuito che il colore di un wafer campione, il metodo convenzionale si serve dell'illuminazione a campo scuro per il primo e dell'illuminazione a campo chiaro per il secondo, con molteplici passaggi tra le due tecniche. Questo metodo di osservazione richiede parecchio tempo, perché quando si crea un report è necessario acquisire le immagini con ciascuna tecnica.

La soluzione Olympus

I microscopi industriali MX63/MX63L per l'ispezione di semiconduttori/FPD offrono un'alternativa efficiente ai metodi di osservazione convenzionali: la funzione di illuminazione MIX. Con l'illuminazione MIX è possibile osservare simultaneamente il pattern del circuito e il colore del wafer. La nitidezza e la chiarezza dell'immagine MIX migliora l'efficienza lavorativa e la creazione di report.

Caratteristiche del prodotto

  • Flusso di lavoro più snello
    I microscopi MX63/MX63L sono dotati di funzioni che facilitano l'intero flusso di lavoro dell'ispezione, dall'inizio alla fine, con un livello di prestazioni ugualmente efficiente in camera sterile.
  • User-friendly
    Le impostazioni dei microscopi MX63/MX63L sono facili da regolare grazie alle funzioni che assistono il controllo di messa a fuoco, intensità della luce e controllo dell'apertura. Il funzionamento semplificato dei microscopi MX63/MX63L consente anche agli operatori meno esperti di eseguire ispezioni nelle giuste condizioni di osservazione.
  • Tecnologia di imaging avanzata
    Basati su decenni di esperienza nel campo dei componenti ottici, i microscopi MX63/MX63L generano immagini chiare e nitide, garantendo perciò risultati di misurazione affidabili.
  • Modularità
    Il design modulare dei microscopi MX63/MX63L consente agli utenti di scegliere tra un'ampia gamma di componenti ottici per trovare quelli più adatti alle loro esigenze per applicazioni particolari. È possibile assemblare il sistema desiderato senza investire cifre eccessive.

DFMIX_BF

Illuminazione a campo chiaro
Il colore del wafer è visibile, ma il pattern del circuito non è chiaro.

DFMIX_BF+DF

Illuminazione a campo scuro
Il pattern del circuito è chiaro, ma il colore del wafer non è visibile.

DFMIX_DF

Illuminazione MIX (illuminazione a campo chiaro e a campo scuro)
È possibile osservare contemporaneamente il pattern del circuito e l'informazione sul colore del wafer, con immagini nitide e chiare.

Olympus IMS

Prodotti per l'applicazione
I sistemi di microscopia MX63 e MX63L offrono delle osservazioni di qualità per wafer di 300 mm o di dimensioni superiori, schermi piatti, schede a circuito stampato e altri campioni, integrando funzioni versatili e un design ergonomico e facile da usare. La struttura del modulo flessibile permette di ottimizzare i sistemi di osservazione per diverse finalità di ispezione. Attraverso la combinazione del software di analisi delle immagini PRECiV, la tua procedura di ispezione, dall'osservazione alla generazione di report, può essere semplificata e velocizzata.
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