L'algoritmo di scansione del microscopio offre una migliore qualità dei dati e una maggiore velocità per ridurre i tempi di scansione e semplificare il flusso di lavoro, migliorando la produttività. |
Campione VLSI standard con altezza di 80 nm (MPLFLN10XLEXT) | Il microscopio OLS5000 integra un algoritmo di PICCO per la costruzione di dati 3D. Questo algoritmo fornisce dati estremamente precisi da ingrandimenti bassi a elevati e riduce il tempo di acquisizione dei dati. |
Quando si misura la forma dei passi su un campione contenente piani quasi verticali, per esempio componenti elettronici o MEMS, il tempo di acquisizione dei dati può essere ridotto limitando il raggio di scansione in direzione Z.
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