La serie di caricatori di wafer AL120 assicura un trasferimento veloce e sicuro di wafer in silicio e composti di semiconduttori dalla cassetta al tavolino del microscopio. Progettato per incrementare l'efficienza del prodotto, il manipolatore di wafer si combina con il nostro microscopio per semiconduttori in modo da ottenere un'affidabile soluzione di ispezione per wafer.

Precisione e flessibilità

Compatibilità con diverse dimensioni di wafer per la manipolazione e l'ispezione dei wafer

La capacità di gestire diverse dimensioni di wafer rappresenta un aspetto fondamentale per ottimizzare le strutture di fabbricazione dei wafer.La serie AL120 consiste di tre modelli basati sul diametro del wafer: il modello da 200 mm; il modello convertibile da 150 mm e 200 mm; il modello da 150 mm per dimensioni dei wafer pari o inferiori a 150 mm. Ogni sistema è progettato per il trasferimento dei wafer e l'ispezione con microscopio. Per tutte le dimensioni dei wafer sono inoltre disponibili macro dalla parte superiore e posteriore.

Dimensioni del wafer in funzione dello spessore del wafer

Supporto di manipolazione e ispezione di wafer sottili

Per soddisfare la richiesta dei produttori di wafer sottili il design del braccio del modello AL120-LMB-90 permette di gestire una cassetta completa di wafer di 90 µm.

Funzionale

Ispezione macro ottimizzata di wafer in semiconduttori

Ispezione macro con una funzione di rotazione a 360° (simulazione)

Una funzione di rotazione automatica a 360 gradi permette un'ispezione macro completa della superficie superiore e posteriore, consentendo una facile identificazione dei difetti e delle particelle. Il joystick integrato consente di controllare l'inclinazione del wafer durante l'ispezione macro nella parte superiore. Gli operatori possono regolare l'angolo del wafer per ottimizzare i risultati di ispezione.

La manipolazione dei wafer risulta semplice

• Per soddisfare la richiesta di procedure di ispezione variabili, il caricatore di wafer AL120 è gestibile mediante istruzioni mediante 10 configurazioni di sistema programmabili, inclusi specifici tipi di cassette, caratteristiche del wafer e velocità di trasferimento. Una selezione rapida mediante pulsante permette all'operatore di caricare istantaneamente diversi prodotti.
• I parametri del manipolatore del wafer e le configurazioni delle istruzioni sono visibili sul display LCD. Gli operatori possono confermare routine e risultati prima e dopo l'ispezione.
• Il caricatore di wafer AL120 consente un centramento ottico senza contatto, oltre a un rilevamento e allineamento di intagli/planarità. Queste funzioni riducono il contatto tra wafer e apparecchiatura, migliorando l'integrità del wafer.

Affidabile

Massimizzazione della sicurezza del wafer attraverso il processo di trasferimento del wafer

Il design dell'AL120 include funzionalità che massimizzano la sicurezza dei wafer. Il sistema a 3 sensori permette il monitoraggio continuo del wafer, in modo da assicurare un sicuro e ottimale recupero, trasferimento, caricamento e scaricamento. Queste funzionalità permettono di prevenire danni nel caso del caricamento di più di un wafer nello slot e nel caso di errori accidentali nel prelievo degli slot.

Affidabile piattaforma di microscopia per l'osservazione di wafer di semiconduttori

Il caricatore di wafer AL120 si può interfacciare con la nostra serie MX™ di dedicati microscopi per l'ispezione di wafer in grado di fornire un'eccezionale risoluzione e nitidezza della immagini nell'ambito di diversi metodi di osservazione come: campo chiaro, campo scuro, contrasto interferenziale (DIC) e infrarosso vicino (NIR). Il revolver motorizzato e lo stop di apertura sono interdipendenti, consentendo un'illuminazione ottimale e contrasto di ogni obiettivo. Il manipolatore di wafer può inoltre essere adattato ad altri modelli di microscopi mediante uno specifico ordine.

Opzioni ergonomiche del tavolino per la comodità dell'operatore e un'efficienza operativa

• Il tavolino con depressione a rilascio rapido manuale ottimizza il comfort e l'efficienza dell'operatore. Il controllo X-Y e la rotazione del wafer sono funzionalità standard.
• Per un'ulteriore automatizzazione del processo di ispezione, il tavolino motorizzato* può essere controllato attraverso un joystick o procedure pre-programmate. La pressione di un pulsante permette il posizionamento del tavolino dal punto di caricamento/scaricamento a quella di partenza, e viceversa.

* Il tavolino motorizzato potrebbe non essere disponibile in alcune aree.

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