アプリケーション
衣類などの材料に使われる繊維の製造機械では、繊維を巻き取ったり、誘導したりするガイドが数多く使用されています。これらのガイドは、繊維が高速で直接接触するところにあるため繊維が引っかかって切れてしまう、または摩擦で発熱することによって繊維の品質に影響を与えてしまうなどの可能性がある重要な部品です。このため、その表面の微細な凹凸である表面粗さ、傷などの凹凸の定量評価が重要になってきます。
これらのガイドには耐久性の観点からセラミックスが採用されていますが、セラミックスには表面に微細で起伏の激しい凹凸があり、これまでの接触式粗さ測定機や白色干渉計といった微小3次元測定機では測定が困難なケースがありました。また繊維が接触する非常に狭いエリアの表面粗さ測定にも最適な測定機器がありませんでした。
オリンパスのソリューション
オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡LEXTでは、非接触で高分解能かつ高精度な3次元形状測定を行うことが可能で、表面の粗さや凹凸の深さ (高さ) のプロファイル測定を精度良く測定することができます。LEXTでは、接触式と同様の粗さ (2次元) パラメーターを搭載しており、接触式と同様の互換性のある測定結果を得ることができるほか、ISO25178に準拠した粗さ (3次元) パラメーターも搭載しているので、面領域での評価を行うことで線粗さよりもより多くの情報量が得られ、数値のみならず3次元画像と照らし合わせた評価が可能です。
バーガイド表面
対物レンズ10X, ズーム1X | 対物レンズ100X, ズーム1X |