微細金属管の外壁および内壁の粗さ

レーザー顕微鏡による微細形状測定

金属性微細管

（1）アプリケーション

金属加工技術の進歩に伴いこれまでよりも細い金属管の製造が可能となってきた。このような微細金属管は医療用途や半導体製造装置など多彩な分野での使用が期待されている。使用用途に合わせ、加工された形状の評価が求められる。引き抜き加工や折り曲げ加工部による影響を表面形状から確認する。また、内面も管の中を通す物質が詰まりにくくなるように表面粗さを正しく管理する必要がある。

（2）オリンパスのソリューション

オリンパスの3D測定レーザー顕微鏡LEXTは、高分解能かつ高精度な三次元データの取得により3D表示や表面の粗さ解析が簡単にできます。レーザーを使った光学系なので非接触であることの他に、接触式と同様の粗さ（二次元）パラメーターを搭載しており、それと同様の互換性ある測定結果を得ることが出来ます。さらにISO25178に準拠した粗さ（三次元）パラメーターも搭載しているので、面領域での評価を行うことで線粗さよりさらに多くの情報量が得られ、数値のみならず三次元画像と照らし合わせるといった、接触式にはできない評価が可能です。また管のようなRを持つサンプルは斜面形状をいかに捉えるかも重要ですが、LEXTなら405nmのレーザー波長に適した光学系採用により斜面の形状をより正確に捉えることができます。