4. レーザー顕微鏡のソフトウェア
レーザー顕微鏡より取り込んだ画像は、最終的にはコンピューター上のソフトウェアにて画像処理および解析し、希望する出力を得ることができる。このソフトウェアも装置の操作性やサンプルへの適合性を決める重要な要素である。ソフトウェアで行える各種画像処理、解析および表示の一部を簡単に紹介する。
4-1. 画像処理
取り込んだ画像を、解析または表示するための前処理としておもに使用する。画像処理することで、観察しやすい表示ができ、また解析が容易となる。傾き補正や平滑化フィルター、強調フィルター、周波数フィルターなど各種フィルターや、孤立点除去、輪郭補正などで不要なノイズを削除することが可能となる。
4-2. 解析(計測)
サンプルの表面の状態を数値化し、定量的な判断に使用できる。一般的にさまざまな解析ソフトウェアが付属しており、断面解析、線幅計測、粗さ解析、面積および体積測定、粒子解析、幾何計測、膜厚測定などが行える。 近年、非接触の面粗さ測定機としての利用ニーズが高まっている。
4-3. 表示
さまざまな手法にて表示することで、サンプルの形状を視覚的に把握できる。3次元表示ではライン法、メッシュ法、サーフェース法、陰影法、濃淡/陰影混合法、さらにレーザー顕微鏡の特徴として輝度/高さ混合法が可能となる。また複数の画像を貼り合わせることで高分解能かつ広視野での観察ができる。これらのソフトウェアを利用し、さまざまな要求に応えていくことで、今後もよりレーザー顕微鏡の応用範囲を広げていくことになると考える。
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