Value 1. デジタルマイクロスコープでここまで実現した高解像
高倍率でもクリアできめ細かい観察画像を映し出します。もちろん複雑な設定や操作は要りません。
ウェハー上の回路パターン
DSXシリーズなら、ウェハー上の精密な回路や微細なキズもきめ細かく映し出します。
【アプリケーション事例】 
ベアウエハのレーザーマーク
詳細はこちら |
| サンプル外観 
ウエハー |
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Value 2. ワンクリックで変幻自在の観察画像
アイコンをクリックするだけで簡単に観察法を切り替えられます。さらにMIX観察を使えば、素材の異なる検査ポイントも一度にまとめて観察できます。
暗視野観察
UVセンサー上のICチップ
ボンディングワイヤーやリードフレームなど金属部分の観察に適しています。
明視野観察
UVセンサー上のICチップ
ICチップ部分の状態を色鮮やかに観察できます。
MIX観察（暗視野＋明視野）
UVセンサー上のICチップ
2つの観察法を1つの画像で実現。ICチップと金属部分の状態がひと目で分かります。
【アプリケーション事例】 
プリント基板のスルーホール内の異物
詳細はこちら |
| サンプル外観 
UVセンサー (MIX観察時) |
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Value 3. 3D観察でサンプルの形状が手に取るように分かる
サンプル表面の立体形状をありのままに映し出します。好きな角度からぐるっと一望することも可能です。
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プリント基板のバンプ部分
通常の観察では分からない突起部分の状態がクリアに確認できます。
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| サンプル外観 
プリント基板のバンプ部分 |
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Value 4. 複雑な形状の計測も自由自在
今まで測定をあきらめていたポイントも、3D画像で手軽にリアルタイム計測できます。
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MEMS
MEMSの僅かな凹凸形状をあらゆる角度から瞬時に計測できます。
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| サンプル外観 
MEMS |
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