マクロからミクロまで、マルチ対応力
20倍~7000倍のワイドな観察倍率を実現。焦点深度が深く、作動距離が長い(最大66 mm)という特徴と、全方位フリーアングル観察システム搭載などにより、さまざまな対象物の拡大観察にマルチに対応します。
低倍率から高倍率まで
サンプル 半導体ウエハー |
卓越した高解像度
サンプル 半導体ウエハー |
全体像を把握する深い焦点深度
サンプル 歯車 |
高い観察自由度を実現したフリーアングル観察
サンプル プリント基板(PCB) |
瞬時に見つけ出す、マルチアプローチ
微細な欠陥を見逃さない多彩な観察方法を搭載。すべての倍率で6種類の観察方法に対応しており、コンソール操作で瞬時に、そして簡単に切り替え可能です。また、凹凸が大きなサンプルもワンタッチで全面にピントが合った全焦点画像や3D画像を取得できるので、様々な解析が可能です。
さまざまな観察方法
高速・高解像3D観察
全倍率での測定精度保証
全てのレンズに歪みや像の大きさの変化が少ないテレセントリック光学系を採用。高精度な画像計測を可能にしました。また正確さと繰返し性の保証と、オートキャリブレーション機能により信頼性の高い解析・測定結果が簡単に得られます。
安定した測定を実現するテレセントリック光学系
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