概要
Advanced Microscopy SimplifiedBXシリーズは、さまざまなアプリケーションに対応するモジュールを組み合わせることでお客様に有益なシステムを提供する事が出来ます。さらにPRECiV画像解析ソフトウェアと組み合わせることで観察からレポート作成までシームレスなワークフローを提供します。 製品紹介ビデオを見る |
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信頼のモジュール式システムを、
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ユーザフレンドリー
豊富なサポート機能により、初心者でも顕微鏡の適切なセッティングが簡単に行えます。また、新開発のガイダンス機能により、前回と同じ観察条件に簡単に戻すこともできます。
さらに詳しく |
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多様性
従来の観察方法では見つけにくかった欠陥も、高度な光学・イメージング技術で検出できます。
さらに詳しく |
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先進的な画像技術当社は、長年積み重ねた光学技術と先進のソフトウェアによる画像技術を融合し、鮮明な画質と卓越した測定精度を提供します。
さらに詳しく | 波面収差コントロール
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モジュラリティー
信頼のモジュール式システム設計を、
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汎用パッケージ | 専用パッケージ | |||||||||
Entry
基本機能を搭載した
| Standard
汎用的、且つシンプル
| Advanced
新開発のMIX観察を
| Fluorescence多彩な観察方法を備えた蛍光観察セット | Infrared
ICチップの内部観察に
| Polarization
複屈折の特性を可視化
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LCDカラーフィルター | 金属結晶粒 | コイルの銅線 | ICパターン上のレジスト | シリコン層化のICパターン | アスベスト | |||||
仕様表を見る
Entry | Standard | Advanced | Fluorescence | Infrared | Polarization | |
顕微鏡本体 | 落射仕様もしくは落射・透過仕様 | 落射仕様もしくは落射・透過仕様 | 落射仕様 | 透過仕様 | ||
標準 | R-BF または T-BF | R-BF または T-BF または DF | R-BF または T-BF または DF または MIX | R-BF または T-BF または DF または FL | R-BF または IR | T-BF または POL |
オプション | DIC | DIC/MIX | DIC | DIC/MIX | - | - |
シンプル投光管 | - | - | - | - | ||
指標付き絞り | - | - | ||||
コード機能付きユニット | - | - | ||||
ピントあわせ指標 | ||||||
ライトマネージャー | - | - | ||||
ハンドスイッチ操作 | - | - | ||||
MIX観察 | - | - | ||||
対物レンズ | サンプル形状に応じて、3つのセットから選択 | サンプル形状に応じて、3つのセットから選択 | IR観察用対物レンズ | 偏光観察用対物レンズ | ||
ステージ | サンプルサイズに応じて、5つのセットから選択 | または サンプルサイズに応じて、5つのセットから選択 | 偏光観察用ステージ |
観察方法
R-BF:明視野(落射)
*落射・透過仕様の本体をお使いの場合は透過明視野観察も可能です。 : 標準
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組み合わせ紹介モジュール式システム設計により、サンプルやアプリケーションに応じたカスタマイズが可能です。 |
BX53MシステムBX53Mは、落射照明専用および落射/透過照明の2種類の顕微鏡フレームを用意しています。工業用途で必要とされる代表的な観察法(明視野、暗視野、微分干渉、MIX、簡易偏光、蛍光、透過明視野)を利用できます。 | BX53MRF-S組み合わせ例 | BX53MTRF-S組み合わせ例 |
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BX53M IR観察(落射)赤外(IR)光によって、可視光を通さない実装されたICチップなどの内部観察ができます。また、可視域から近赤外域まで収差補正した5~100Xの対物レンズを、ラインアップとして揃えています。特に20X以上の対物レンズでは、観察対象物を覆うシリコン層によって生じる収差を補正環によって補正し、クリアな像を得ることができます。 |
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BX53M偏光観察(透過)偏光特性を考慮した光学系を持つBX53M偏光では、鉱物や結晶の観察やリタデーションの測定が可能です。さらに、回転ステージや心出しレボによる調整機能で対物切り替え時の像ずれを抑え、観察を容易にします。 | BX53Mオルソスコープ組み合わせ | BX53Mコノスコープ/オルソスコープ組み合わせ |
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鮮明なオルソスコープ像・コノスコープ像コノスコープ観察ユニットU-CPAの使用により、簡単な操作でオルソスコープ、コノスコープの切り換えや、コノスコープ像のフォーカシングが可能です。また、ベルトラン絞りの採用により、試料の微小範囲でもシャープなコノスコープ像が観察できます。 |
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コンペンセーターと波長板の豊富なラインアップ鋭敏色板・1/4波長板および5種類のコンペンセーターをラインアップし、極微小量から最大20λまでの幅広い範囲でのレタデーション量の測定に対応します。 |
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コンペンセーターの測定範囲
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*R = レタデーション量 |
歪みの少ない光学系設計・製造技術により、対物レンズやコンデンサーの光学歪を極限まで除去しました。これにより偏光性能を向上させ、コントラストの良い偏光観察を実現しました。 |
BXFMシステム落射投光管と焦準機構を一体化したコンパクトな構成です。お客さまの装置に組み込んだり、ステージに載らないサンプルも観察できます。BX53Mのすべての落射観察およびLED照明が選択できます。 |
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直感操作
ダイヤルを回すだけ:
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ガイダンスで適切な画像を取得:
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サンプル交換時も安全かつ迅速に接眼レンズでサンプルを覗くことなく、フレームに取り付けられた目盛を使っておおよその焦点を調整できます。高さの異なるサンプルへ交換した際も対物レンズとの衝突を防ぎ、素早く調整できます |
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手元で快適に操作使用頻度が高い、MIX照明の制御やレボルバ―の回転を手元で操作できます。ハンドスイッチには観察法・対物レンズの表示やPRECiV画像解析ソフトウェアの機能を割り当てるボタンも装備しています。 |
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安定した照明:ライトマネージャー倍率や観察方法の切り替え時に、あらかじめ設定した適切な光量へと自動的に切り替える機能です。コード(センサー)付き投光管やレボルバーなどと組み合わせることにより、最大35種類の明るさを登録できます。 |
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観察条件チェック機能:
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多様性
見えなかったものが見える:MIX観察BXシリーズのMIX観察は、明視野や簡易偏光や蛍光などと暗視野の照明方法を組み合わせることで、従来にはない見えを実現します。また、暗視野照明は任意の4方向から照射でき、対象物を効果的に強調できます。 |
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手動フォーカスハンドルで簡単に深度合成PRECiVを使うと、段差のある複雑な表面形状のサンプルも全面にフォーカスが合った画像を簡単に作成できます。上から下へ(または下から上へ)フォーカスハンドルを手で回すだけで、シャープな全焦点画像がリアルタイムでモニター上に作成され、保存できます。 |
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明部も暗部も同時に見やすく独自の画像処理アルゴリズムにより、露出時間を変えた複数枚の画像を自動取得し、合成します。ハレーションを抑えたりコントラストを強調したりできるため、金属の微細構造、プリント基板、複合材の観察等で威力を発揮します。 | HDRで暗部と明部を同時に最適露光された画像
| HDRでコントラストが強調された画像
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硬貨のインスタントMIA(Multiple Image Alignment)画像 | 手動ステージで簡単にパノラマ撮影電動ステージがなくても、手動ステージのXYハンドルを動かすだけ画像貼り合わせが行えます。自動パターンマッチング方式を採用し、PRECiVでは驚くほどの速さで、顕微鏡の視野範囲を超えた広範囲の画像を作成できます。 |
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簡易計測から高度な画像解析まで |
基本的な計測品質管理と検査には、画像の計測機能が欠かせません。PRECiVは、すべてのメインライセンスで、距離、角度、矩形、円、楕円、多角形などの基本的な計測機能をシンプルなマウス操作で実施できます。すべての計測結果は画像ファイルとともに保存され、Excelに出力したり、あとでレポート作成に利用できます。 |
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カウントと計測(粒子解析)工業検査では多数の対象物を計測し、サイズ別に計測結果を分類する定量分析が頻繁に必要となります。PRECiVの「カウントと計測」を使うと、強力な粒子検出力を駆使して多数の粒子の一括計測が可能です。同時に、見やすく色分けされた棒グラフなども作成できます。 |
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マテリアルソリューション
PRECiVのマテリアルソリューションは、画像解析のために、直感的でワークフロー重視のインターフェースを備えています。どの機能をどの順番で使うかを覚えいなくても、ガイダンスに従って進んでいくだけで、特定の検査目的に必要な解析結果を簡単に得ることができます。
| 粒度解析(計数法)による二相面積率の算出 |
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3Dサーフェイスビュー
| シングルビューと3Dプロファイル計測 | 3D画像・3D計測測定基準や品質管理の要求の高まりにより、材料分析や不良分析の一つとして、3次元での評価も欠かせません。他社製電動Zユニットを使用すると、サンプルの立体的特徴を視覚的に捉えることができ、高さ方向の簡易計測も可能です。 |
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PRECiVについてさらに詳しく |
さまざまなサンプルに対応新開発のXYステージは150×100mmストロークで、従来モデルより移動距離が伸びたため、より大きなサイズのサンプルや複数サンプルの配置が可能です。6インチウエハ用の回転ホルダーはステージ中心からずらして搭載する設計のため、移動範囲が100mmでもウエハホルダーを回せば、ウエハ全面の観察が可能です。また、ステージのトルクやハンドルグリップにより、視野が狭くなる高倍率での観察位置の微調整がスムーズに行えます。ステージプレートは、取り付け用のねじ穴を備えているため、特殊なサンプルを固定するためのカスマイズや市販ホルダーの取り付けが可能です。 |
背の高く重いサンプルも快適に観察可能かさ上げユニットを使うことで高さ最大105mmのサンプルをステージに配置できます。フォーカス機構の改善により、ステージは最大3kgのサンプル(ホルダー含む)に対応できます。 | BX53MRF-S |
BXFM | 顕微鏡のステージに載らないサイズのサンプルにも対応顕微鏡ヘッドのみのBXFMシステムでは、通常の顕微鏡ステージには載らない巨大なサンプルにも対応できます。また、用途に応じてさまざまなモジュールを組み合わせてお客さまに最適なシステムを構築したり、他の装置に組み込むことも可能です。 |
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ESD互換性:電子機器を静電気から保護BX53Mは、人体や環境要因によって発生する静電気から電子機器を保護する静電気放電(ESD)機能を備えています。 |
画像技術
先進的な画像技術 |
高解像と長作動距離の両立を実現したMXPLFLNシリーズ
対物レンズは顕微鏡の性能にとって非常に重要な要素です。
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MXPLFLN対物レンズについてさらに詳しく |
優れた光学性能を発揮:波面収差コントロール従来、同じ仕様[開口数(NA)や作動距離(WD)など]の対物レンズを使用しても、その対物レンズ自身の光学性能のばらつきにより、画像や測定結果が変わってしまいました。UIS2対物レンズは光学性能で最も重要な収差が最小レベル(当社比)になるように波面収差コントロールという新しい基準で製造管理されています。このため、一般の対物レンズに比べて収差のばらつきが小さく、ハイレベルで安定した性能を有しています。 対物レンズUIS2についてさらに詳しく | 不良な波面 | 良好な波面(UIS2対物レンズ) |
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ハロゲンランプ:明るさにより色合いが変化 | LED:明るさによって色合いが変わらず、 *画像はすべて自動露出にて取得 | 安定した色温度特性の高輝度白色LED照明高輝度な白色LED光源で、落射および透過照明観察が可能です。LED照明は観察時の明るさを変えても、画像の色合いが変わらないため、つねに鮮明な画像を得ることができます。また、LEDは発熱が小さく長寿命のためコストも抑えられ、さらにランプ交換の手間も省けます。 |
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鮮明な画質と卓越した測定精度を実現 |
より正確な測定をサポート:自動キャリブレーションPRECiVでは、専用の校正サンプルを用い、スケールの目盛りを自動的に多点で検出して平均値を計算することで、倍率を高精度に校正できます。さらに、個人差によるバラツキも排除し、計測の信頼性を高めます。定期的な校正作業が必要な場合も、作業者のその日の疲労具合に左右されず、毎回安定した倍率で校正できます。 |
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半導体ウエハー(二値化処理画像):
| サンプル起因の微小な輝度ムラを除去:シェーディング補正PRECiVでは、サンプルの特性による微小な輝度ムラがライブ画像で気になる場合、一様な明るさとなるように補正処理できます。 また、より高精度なしきい値設定を行う各種画像処理においても威力を発揮します。 |
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PRECiVについてさらに詳しく |
アプリケーション
ウエハー上のパターン
暗視野観察では、照明光をサンプル斜め方向から当てることで、表面の段差により発生する散乱光・回折光を観察します。光学顕微鏡の分解能をはるかに超える小さなキズや欠陥の存在を認識でき、サンプル表面の微細なキズや欠陥の検出、ウエハーなど鏡面の表面検査に適した観察方法です。
| MIX観察: 明視野+暗視野 | 暗視野観察 |
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蛍光観察 | MIX観察: 蛍光+暗視野 | ウエハー上の異物
蛍光観察では、ある波長域の励起光を照射し、サンプルから発する蛍光を観察します。ウエハー表面の異物検出、レジスト残渣、蛍光探傷法によるマイクロクラック検出などに有効です。
可視光から近赤外光までをムラなく観察できるように色収差補正したアポクロマートタイプの水銀光源も用意しています。
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LCDパネル
透過観察は、液晶カラーフィルターや透明プラスチック、ガラス素材など、光を透過するサンプルに適した観察法です。明視野、偏光に対応可能です。
| 透過観察 | MIX観察: 透過+明視野 |
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明視野観察 | 微分干渉(DIC)観察 | 球状黒鉛鋳鉄微分干渉観察は、明視野観察では見えない数nmレベルの微小段差にコントラストをつけることにより、立体的に可視化する観察方法です。サンプルの特性に応じて適切な解像度とコントラストが得られるよう、3種類の微分干渉プリズムを用意しています。金属組織や鉱物の観察、ハードディスク表面、ウエハー研磨表面の異物やキズの検査などに最適です。 |
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絹雲母偏光観察では、偏光を利用して、サンプルの複屈折の特性を鮮やかな干渉色として観察できます。干渉色はサンプルを回転させることにより、そのサンプル固有の性質で変化します。金属組織、鉱物、液晶や半導体材料などの観察に最適です。 | 明視野観察 | 偏光観察 |
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赤外線(IR)観察 | ウエハー裏面から見たボンディングパッド赤外(IR)光によって、可視光を通さない実装されたICチップなどの内部観察ができます。 |
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仕様
仕様 |
Entry | Standard | Advanced | |||||||
光学系 | UIS2光学系(無限遠補正) | ||||||||
メインセット | 顕微鏡本体 | BX53MRF-S (落射仕様) | BX53MTRF-S (落射/透過仕様) | BX53MRF-S (落射仕様) | BX53MTRF-S (落射/透過仕様) | BX53MRF-S (落射仕様) | BX53MTRF-S (落射/透過仕様) | ||
焦準 |
ストローク:25mm
微動ハンドル一回転:100μm 最小目盛:1μm 上限ストッパ、粗動ハンドル重さ調整機構付 | ||||||||
最大サンプル高さ |
落射/透過仕様:
35mm(スペーサーなし) 75mm(BX3M-ARMAD使用時) 落射仕様: 65mm(スペーサーなし) 105mm(BX3M-ARMAD使用時) | ||||||||
鏡筒 |
広視野
(視野数22) | U-TR30-2 倒立:三眼鏡筒 | |||||||
照明系 | 落射照明系 | BX3M-KMA-S 白色LED(ライトマネージャー機能付き、寿命:60,000時間/一般的な使用方法における設計値) 観察法:明視野/微分干渉/簡易偏光/MIX(4分割照明) | BX3M-RLAS-S コード(観察法のセンサー)付き 白色LED(ライトマネージャー機能付き、寿命:60,000時間/一般的な使用方法における設計値) FS、AS(心出し機構付き) 観察法:明視野/暗視野/微分干渉/簡易偏光/MIX(4分割照明) | ||||||
透過照明系 | - | BX3M-LEDT 透過LEDランプハウス 白色LED(ライトマネージャー機能付き、寿命:60,000時間/一般的な使 用方法における設計値) アッベ/長作動距離コンデンサー | - | BX3M-LEDT 透過LEDランプハウス 白色LED(ライトマネージャー機能付き、寿命:60,000時間/一般的な使 用方法における設計値) アッベ/長作動距離コンデンサー | - | BX3M-LEDT 透過LEDランプハウス 白色LED(ライトマネージャー機能付き、寿命:60,000時間/一般的な使 用方法における設計値) アッベ/長作動距離コンデンサー | |||
レボルバー | U-5RE-2 明視野用:穴数(5)、種別(手動)、コード(無し)、心出し(無し) | U-D6BDRE 明暗視野用:穴数(6)、種別(手動)、コード(無し)、心出し(無し) | U-D6BDRES-S 明暗視野用:穴数(6)、種別(手動)コード(手動)、心出し(無し) | ||||||
接眼レンズ(視野数22) | WHN10
WHN10X-H | ||||||||
MIX観察 | - | BX3M-CB: コントロールボックス BX3M-HS: ハンドスイッチ U-MIXR-2: 落射観察用MIXスライダー U-MIXRCBL MIXスライダー用ケーブル | |||||||
コンデンサー(長作動距離) | - | U-LWCD | - | U-LWCD | - | U-LWCD | |||
電源ケーブル | UYCP (x1) | UYCP (x2) | |||||||
質量 |
落射/透過仕様:約18.3kg(本体のみ7.6kg)
落射仕様:約15.8kg(本体のみ7.4kg) | ||||||||
対物レンズ | MPLFLNセット | MPLFLN5X, 10X, 20X, 50X, 100X 明視野、偏光、蛍光観察対応 | - | ||||||
MPLFLN BDセット | - | MPLFLN5XBD, 10XBD, 20XBD, 50XBD, 100XBD 明視野、暗視野、 DIC微分干渉、偏光、蛍光観察対応 | |||||||
MPLFLN-BD、LMPLFLN-BDセット | - | MPLFLN5XBD, 10XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD 明視野、暗視野、 DIC微分干渉、偏光、蛍光観察対応 | |||||||
MPLFLN-BD、MXPLFLN-BD、LMPLFLN-BDセット | - | MPLFLN5XBD, 10XBD, MXPLFLN20XBD, 50XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD 明視野、暗視野、 DIC微分干渉、偏光、蛍光観察対応 | |||||||
ステージ
(X x Y) | 76mm x 52mmセット | U-SVRM, U-MSSP 共軸右下ハンドル:76mm × 52mm、トルク調整機構付 | |||||||
100mm x 100mmセット | U-SIC4R2, U-MSSP4 大型共軸右下ハンドル:100mm × 100mm、Y方向ロック付 | ||||||||
100mm x 100(G)mmセット | U-SIC4R2, U-MSSPG 大型共軸右下ハンドル:100mm × 100mm、Y方向ロック付( ガラスプレートタイプ) | ||||||||
150mm x 100mmセット | U-SIC64, U-SHG, U-SP64 大型共軸右下ハンドル:150mm × 100mm、トルク調整機構付、Y方向ロック付
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150mm x 100(G)mmセット | U-SIC64, U-SHG, U-SPG64 大型共軸右下ハンドル:150mm × 100mm、トルク調整機構付、Y方向ロック付(ガラスプレートタイプ) | ||||||||
オプション | MIXセット | BX3M-CB, BX3M-HS, U-MIXR-2, U-MIXRCBL | - | ||||||
微分干渉/DIC | U-DICR | ||||||||
中間鏡筒 | U-CA, U-EPA2, U-TRU | ||||||||
フィルター | U-25ND6, U-25ND25, U-25LBD, U-25LBA, U-25Y48, U-AN360-3, U-AN360P, U-PO3, U-25IF550, U-25L42, U-25, U-25FR | ||||||||
コンデンサー用フィルター | 43IF550-W45, U-POT | ||||||||
ステージプレート | U-WHP64, BH2-WHR43, BH2-WHR65, U-WHP2 | ||||||||
クレンメル | U-HRD-4, U-HLD-4, U-HRDT-4, U-HLDT-4 | ||||||||
ハンドルラバー | U-SHG, U-SHGT |
BX53M / BXFM ESDユニット
項目 | 顕微鏡本体 | BX53MRF-S, BX53MTRF-S |
照明装置 | BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S | |
レボルバー | U-D6BDREMC, U-D6BDRES-S, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD | |
ステージ | U-SIC4R2, U-MSSP4 |
仕様 |
Fluorescence | Infrared | Polarized | |||||
光学系 | UIS2光学系(無限遠補正) | ||||||
メインセット | 顕微鏡本体 | BX53MRF-S (落射仕様) | BX53MTRF-S (落射/透過仕様) | BX53MRF-S (落射仕様) | BX53MTRF-S (落射/透過仕様) | ||
焦準 |
ストローク:25mm
微動ハンドル一回転:100μm 最小目盛:1μm 上限ストッパ、粗動ハンドル重さ調整機構付 | ||||||
最大サンプル高さ |
落射/透過仕様:
35mm(スペーサーなし) 75mm(BX3M-ARMAD使用時) 落射仕様: 65mm(スペーサーなし) 105mm(BX3M-ARMAD使用時) | ||||||
鏡筒 | 広視野(視野数22) | U-TR30-2 倒立:三眼鏡筒 | U-TR30IR 倒立:IR三眼鏡筒 | U-TR30-2 倒立:三眼鏡筒 | |||
偏光用中間鏡筒(U-CPA) | ベルトランレンズ | - | - | フォーカシング可能 | |||
ベルトラン絞り | - | - | ø3.4mm固定絞り | ||||
ベルトランレンズの挿脱オルソスコープ/コノスコープ切換 | - | - |
押し込み位置●印 IN
引き出し位置○印 OUT | ||||
アナライザースロット | - | - |
回転式アナライザー
(U-AN360P-2)取り付け可能 | ||||
照明系 | 落射照明系 | 落射蛍光 | BX3M-URAS-S ユニバーサルコード投光管(観察法のセンサー付き)、ミラーユニットターレット式 4ポジション(標準:U-FWUS、U-FWBS、U-FWGS、U-FBF他)、FS,AS 心出し機構付)、シャッター機構付 | - | - | ||
IR観察 | - | BX3M-RLA-S BF/IR、AS(心出し機構付)、バンドパスフィルター(1100nm、1200nm)付 U-LH100IR(12V10W HAL-L含) 赤外用100Wハロゲンランプハウス (ハロゲンランプ含) TH4-100 100Wハロゲンランプハウス用電源 U-RMT 延長コード | - | ||||
透過照明系 | POL観察 | - | - | BX3M-LEDT 透過LEDランプハウス 白色LED(ライトマネージャー機能付き、寿命:60,000時間/一般的な使用方法における設計値) アッベ/長作動距離コンデンサー | |||
レボルバー | U-D6BDRES-S 明暗視野用:穴数(6)、種別(手動)、コード(手動)、心出し(無し) | U-5RE-2 明視野用:穴数(6)、種別(手動)、コード(手動)、心出し(無し) | U-P4RE 心出し方式4穴レボルバー 取付可能装置:検板用アダプター(U-TAD)を 介して1/4 波長板(U-TP137)、鋭敏色板(U-TP530) および各種コンペンセータ使用可能 | ||||
接眼レンズ(視野数22) | WHN10X | ||||||
WHN10X-H | CROSS-WHN10X | ||||||
ミラーユニット | U-FDF 暗視野 U-FBFL 明視野(高輝度照明用)組込みNDフィルター U-FBF 明視野 着脱式NDフィルター U-FWUS UV蛍光用 U-FWBS 青色蛍光用 U-FWGS 緑色蛍光用 | - | |||||
フィルター/ポラライザー/アナライザー | U-25FR フロストフィルター | U-BP1100IR/U-BP1200IR バンドパスフィルター | 43IF550-W45 グリーンフィルター | ||||
U-POIR 赤外用回転ポラライザー | U-AN360IR 赤外用回転アナライザー | U-AN360P-2 360°ダイヤル回転式 最小読み取り角度目盛0.1° | |||||
コンデンサー | U-LWCD 長作動距離 | - | U-POC-2 アクロマートコンデンサー トップレンズハネノケ式 ポラライザー360°水平回転 0°位置調整可能 NA 0.9(トップレンズin時) 0.18(トップレンズout時) 開口絞りφ2~φ21 レバー式 | ||||
スライダー/コンペンセーター | - | U-TAD
スライダー (プレートアダプター) | |||||
U-TP530 鋭敏色板 U-TP137 1/4波長板 | |||||||
電源ケーブル | UYCP (x1) | UYCP (x2) | UYCP (x1) | ||||
質量 |
約15.8kg
(本体のみ7.4kg) |
約18.3kg
(本体のみ7.6kg) |
約18.9kg
(本体のみ7.4kg) |
約16.2kg
(本体のみ7.6kg) | |||
落射蛍光照明 | ライトガイド | U-LGPS, U-LLGAD, U-LLG150, ライトガイドセット | - | - | |||
水銀ランプ | U-LH100HGAPO1-7, USH-103OL (x2), U-RFL-T, U-RCV水銀ランプセット | - | - | ||||
対物レンズ | MPLFLNセット | MPLFLN5X, 10X, 20X, 50X, 100 明視野、DIC微分干渉、偏光、蛍光観察対応 | - | - | |||
MPLFLN BDセット | MPLFLN5XBD, 10XBD, 20XBD, 50XBD, 100XBD 明視野、暗視野、 DIC微分干渉、偏光、蛍光観察対応 | - | - | ||||
MPLFLN-BD、LMPLFLN-BDセット | MPLFLN5XBD, 10XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD 明視野、暗視野、 DIC微分干渉、偏光、蛍光観察対応 | - | - | ||||
MPLFLN-BD、MXPLFLN-BD、LMPLFLN-BDセット | MPLFLN5XBD, 10XBD, MXPLFLN20XBD, 50XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD 明視野、暗視野、 DIC微分干渉、偏光、蛍光観察対応 | - | - | ||||
IRセット | - | LMPLN5XIR,10XIR,LCPLN20XIR,50XIR,100XIR赤外観察対応 | - | ||||
POLセット | - | - | UPLFLN4XP,10XP,20XP,40XP 偏光観察対応 | ||||
ステージ
(X x Y) | 76mm x 52mmセット | U-SVRM, U-MSSP 共軸右下ハンドル:76mm × 52mm、トルク調整機構付 | |||||
100mm x 100mmセット | U-SIC4R2, U-MSSP4 大型共軸右下ハンドル:100mm × 100mm、Y方向ロック付 | ||||||
100mm x 100(G)mmセット | U-SIC4R2, U-MSSPG 大型共軸右下ハンドル:100mm × 100mm、Y方向ロック付 (ガラスプレートタイプ) | ||||||
150mm x 100mmセット | U-SIC64, U-SHG, U-SP64 大型共軸右下ハンドル:150mm × 100mm、トルク調整機構付、Y方向ロック付 | ||||||
150mm x 100(G)mmセット | U-SIC64, U-SHG, U-SPG64 大型共軸右下ハンドル:150mm × 100mm、トルク調整機構付、Y方向ロック付(ガラスプレートタイプ) | ||||||
POLセット | - | U-SRP+U-FMP 回転ステージ+複式メカニカルステージ | |||||
オプション | MIXセット | BX3M-CB, BX3M-HS, U-MIXR-2, U-MIXRCBL | |||||
微分干渉/DIC | U-DICR | ||||||
中間鏡筒 | U-CA, U-EPA2, U-TRU | ||||||
フィルター | U-25ND6, U-25ND25, U-25LBD, U-25LBA, U-25Y48, U-AN360-3, U-AN360P, U-PO3, U-25IF550, U-25L42, U-25, U-25FR | ||||||
コンデンサー用フィルター | 43IF550-W45, U-POT | ||||||
ステージプレート | U-WHP64, BH2-WHR43, BH2-WHR65, U-WHP2 | ||||||
クレンメル | U-HRD-4, U-HLD-4, U-HRDT-4, U-HLDT-4 | ||||||
ハンドルラバー | U-SHG, U-SHGT |
カタログ・ビデオ・その他資料
ビデオマニュアル |