概要

電動システム工業顕微鏡BX61は、優れた光学性能と画像処理技術により、ユーザのそれぞれのスタイルにフィットします。

サンプルや用途にあわせて最適なシステムを

BX61TRF/BX-RLAA/U-AFA2M/DP 組み合わせ

BXiS 電動システム工業顕微鏡 BX61はレボルバ、投光管、ステージ上下動などが電動制御できるシステム顕微鏡です。観察時の条件をきめ細かく設定し、顕微鏡本体のボタンやパソコンのキー、ハンドスイッチにその情報を割り当てることができます。サンプルの種類が多岐にわたる場合や複数のオペレータでシステムを共用する際にも、ボタン一つまたはワンクリックで観察条件を読み込み、同じ条件で観察することができます。

優れた光学性能と高い解像度を実現

幅広いラインアップから最適な対物レンズを選択

オリンパスUIS2対物レンズシリーズは幅広い、充実したラインアップからご希望の観察方法に最適な対物レンズを提案いたします。150種類以上の豊富なラインアップからアプリケーションに対応する対物レンズを選択することができます。厳選された透過率が高い硝材と先進のコーティング技術を組合せることで、UIS2対物レンズはサンプルを自然な色合いで観察することができます。

用途に応じた豊富なラインナップ

磁気ヘッド（明視野観察）

DVD（明視野観察）

ウエハ（蛍光観察）

カラーフィルタ（透過観察）

用途に応じた豊富なラインアップ
MPLAPON	プランアポクロマート
MPLFLN	プランセミアポクロマート
MPLFLN-BD	明・暗視野用プランセミアポクロマート
MPLFLN-BDP	落射偏光用プランセミアポクロマート
LMPLFLN	長作動距離プランセミアポクロマート
LMPLFLN-BD	明・暗視野用長作動距離プランセミアポクロマート
MPLN	プランアクロマート
MPLN-BD	明・暗視野用プランアクロマート
SLMPLN	超長作動距離プランアクロマート
LCPLFLN-LCD	液晶用長作動距離プランセミアポクロマート
LMPLN-IR/LCPLN-IR	赤外線観察用長作動距離プランアクロマート/赤外線観察用プランアクロマート

> UIS2対物レンズの詳細はこちら

ソフトウェアソリューション

デジタルカメラと画像解析ソフトでより快適な操作を実現

研究開発や製造現場など、様々なシーンでデジタル画像が必要とされています。適切なカメラ、顕微鏡とソフトウェアを組み合わせることで、目的に応じた快適なソリューションを構築できます。工業用画像解析ソフトのOLYMPUS Stream では、より専門的な画像解析ソフトウエアをマテリアルソリューションとして用意しています。ウイザード画面に従ってアイコンをクリックしていくだけで、工業規格に準拠した解析結果を素早く、正確に得ることができます。手順が多い画像解析でも操作に迷うことなく、またルーチンワークとして専門的な画像解析を行う場合でも短時間で確実に実行することができます。

> デジタルカメララインアップはこちら

> ソフトウェアのラインアップはこちら

仕様

光学系	UIS2光学系（無限遠補正）
本体 > 照明	落射/透過切換
本体 > 照明	12V100W電源別置きライトプリセットスイッチ
本体 > 焦準	電動焦準ストローク25mm 最小分解能0.01μm
本体 > 最大標本高さ	25 mm
鏡筒 > 広視野（視野数22）	倒立: 双眼、三眼、ティルティング双眼鏡筒正立: 三眼、ティルティング双眼鏡筒
鏡筒 > 超広視野（視野数26.5）	倒立: 三眼鏡筒正立: 三眼、ティルティング三眼鏡筒
落射照明 > 明視野他	BX-RLAA 電動明暗視野切換電動AS
落射照明 > 落射蛍光	BX-RFAA 電動6ポジションターレット電動シャッタ内蔵 FS、AS
透過照明	100Wハロゲンアッベ式/長作動距離コンデンサ透過照明フィルタ（LBD, ND25, ND6）内蔵
レボルバ > 明視野用	電動6穴
レボルバ > 明暗視野用	電動5穴、電動5穴心出し、電動6穴
ステージ	共軸左下（右下）ハンドル: 76（X）×52（Y）mm、トルク調整付大型共軸左下（右下）ハンドル: 100（X）×105（Y）mm、Y方向ロック付
外形寸法（mm）	約317.5（W）×602（D） ×541（H）
質量	25.5kg（本体のみ11.4kg）

フォトギャラリー

目的に応じて最適なイメージを

暗視野観察

実装基板	対物レンズ光学系の周辺部にあるリング状のスリットを通して照明光をサンプルに当て、表面の段差により発生する散乱光・回折光を観察します。光学顕微鏡の分解能よりも小さなキズや欠陥の存在が認識でき、サンプル表面の微細なキズや欠陥の検出、ウエハなど鏡面の表面検査に最適な観察方法です。

偏光観察

Polarized Light microscope observation of Asbestos fiber

アスベスト

偏光を利用してサンプルの複屈折を鮮やかな干渉色で観察できます。干渉色はサンプルを回転させることによりそのサンプル固有の性質で変化します。金属組織、鉱物、液晶（LCD)や半導体材料などの観察に最適です。

DIC（微分干渉）観察

Differential Interference Contrast (DIC) microscope observation of Magnetic head

磁気ヘッド

明視野観察では見えないサンプルの微小段差にコントラストをつけることにより、立体的に可視化する観察方法です。サンプルの特性に応じて最適な解像度とコントラストが得られるよう3種類の微分干渉プリズム（U-DICR、U-DICRH、U-DICRHC）を用意しています。金属組織や鉱物の観察、磁気ヘッド、ハードディスク表面、ウエハ研磨表面の異物やキズの検査などに最適です。

蛍光観察

Fluorescence microscope observation of Particle on semiconductor wafer

半導体ウエハ上の異物

ある波長域の励起光を照射しサンプルから発する蛍光を観察します。ウエハ表面の異物検出、レジスト残渣、蛍光探傷法によるマイクロクラック検出などに有効です。光源として、可視光から近赤外光までをムラなく観察できるように色収差補正したアポクロマートタイプのキセノン、水銀光源を用意しています。

透過照明観察

Transmitted Light Observation microscope

LCD カラーフィルタ

液晶カラーフィルタや透明プラスチック、ガラス素材など、光を透過するサンプルの観察方法です。透過照明コンデンサを含む透過照明系により、明視野、暗視野、偏光のいずれにも対応可能です。

BX61

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