高品質な小型コンポーネント顕微鏡
BXCシリーズは、装置組み込みに適したコンパクトな光学検査モジュールです。このコンポーネント顕微鏡は、既製品のまま、装置に組み込むことができます。
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ニーズに応じて、自由な装置設計を
当社のBXシリーズの一つであるBXCシリーズは、コンパクトで、装置に組み込みやすく設計されています。モジュール化されており、多目的に対応できるため、ウエハーの位置合わせやバンプ測定、および画像貼り合わせでの検査やイメージングなどのさまざまな装置に適しています。
BXCシリーズの構成例
BX53M | BXC-CBRML system | BXC-CBB system |
従来型の顕微鏡
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Entry
明視野観察のみで、
省スペースを実現
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Versatile
基本機能を備えた
コンパクトな顕微鏡
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Advanced
クリーンルーム対応の
フル電動顕微鏡
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詳細はこちら |
高性能対物レンズ
高分解能、かつスピーディーな検査を実現
対物レンズは、顕微鏡の性能に直結する最も重要なユニットの一つです。
新たに開発されたMXPLFLNシリーズは、開口数と作動距離を相反することなく最大化させた設計で、コンポーネント用途で多くの搭載実績のあるMPLFLNシリーズに、さらなる拡張性をもたらします。通常、解像度が高い20倍および50倍のレンズは、作動距離が短いため、サンプルを交換する際にサンプルを対物レンズから遠ざける手間が発生したり、観察中にサンプルを慎重に動かしたりする必要があります。MXPLFLNシリーズは3mmの作動距離を備えているため、対物レンズがサンプルに接触するリスクを軽減し、よりスピーディーな検査を可能にします。
MXPLFLN対物レンズのビデオはこちら
MXPLFLNの詳細はこちら
MXPLFLN-BDの詳細はこちら | 
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画像のフラットネス向上
MPLFLN
シリーズのMPLFLN2.5X、MPLFLN5X、MPLFLN5XBDのフラットネス性能を改善し、低倍率で画像貼り合わせのスループットが向上しました。さらに、暗視野観察のスループット向上のため、2.5倍の明視野/暗視野レンズ—MPLFLN2.5XBDを導入しました。
広いスペクトル範囲
可視から近赤外(NIR)まで、高度なレンズ加工およびコーティング技術により、さまざまな対物レンズと結像レンズの組み合わせを提供し、可視光領域から近赤外(NIR)まで幅広い波長帯に対応した光学ユニットにより、使用したい波長域に応じて既存製品のラインアップから選択して、簡単にシステムを構成することが可能です。
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3つの対物レンズの透過率曲線 |
波面収差の制御
MXPLFLNシリーズの製造プロセスにおいては、対物レンズの波面収差を測定し、理想の状態に近づけるようにコントロールしています。これにより、光学性能のバラツキを極めて⼩さく抑え、安定した品質を実現しています。
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装置の設計や自動化に適したオプション
顕微鏡観察の可能性を引き出すMIXスライダー
暗視野観察は、光学顕微鏡の分解能をはるかに超える小さなキズや欠陥の存在を認識でき、サンプル表面の微細なキズや欠陥の検出、ウエハーなど鏡面の表面検査に適した観察方法です。16個のLEDを独立に制御できるMIXスライダーの照明により、サンプルに照射する光の方向を制御できるため、大型の専用投光管を使用せずに暗視野観察が可能です。さらに、明視野、簡易偏光観察、蛍光観察との同時観察も可能です。
MIXスライダー(前面)
U-MIXR-2 | 
MIXスライダー(背面)
U-MIXR-2 | 暗視野観察
| MIX観察 : 明視野＋暗視野
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多種多様なレボルバーのラインアップ
自動化の要求が高まるにつれ、電動レボルバーの需要も高まっています。当社では、U-D5BDREMCおよびU-D6BDREMCの5穴、6穴の電動レボルバーで性能を実証しています。
クラス1クリーンルームに対応したU-D5BDREMC-VAには、ゴミ・異物を落下させないようにバキューム機能が搭載されています。そのほか、マニュアルレボルバー、倍率認識機能付きレボルバー、および心出し機構付きレボルバーや対物レンズ1本のみを装着できるアダプターなど、多種多様なユニットをご用意しています。
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吸引機能付き
明暗視野用電動レボルバー
U-D5BDREMC-VA | 
測定対物アダプター
STM7-MMOBAD |
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オートフォーカス用センサー
BXC-FSU*1はアクティブ方式を採用したオートフォーカス用センサーで、マルチスポットの測距点で焦点位置の方向と合焦状態を検知します。このセンサーは、ベアウエハーのようなコントラストの低いサンプルに適しています。独自のアルゴリズムにより、対物レンズの倍率や周辺光などの影響を受けることなく、安定したフォーカス信号を出力します。コマンドリファレンスマニュアルと取扱説明書、サンプルソフトウェアは、当社のウェブサイトで入手いただけます*2。
*1 この製品はCLASS1レーザー製品として指定されています。
*2 アプリケーションマニュアルについては、別途お問い合せください。 | 
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オートフォーカス用センサー
BXC-FSU |
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コンパクトなコントロールボックス
BXC-CBRMLおよびBXC-CBBコントロールボックスは、小さなフットプリントとファンレス構造により、固定/配置方法の自由度の高さを実現しており、壁掛けや天井吊りでの取り付けも可能です。MIXスライダーや投光管、電動レボルバー、LED光源などのうち、お客様のソフトウェアで制御したいユニットに応じて、いずれかのコントロールボックスをお選びいただきます。
さらに詳しい情報について
当社は、OEM顧客をサポートするための、幅広い資料をご提供しております。詳しくはこちらよりご覧ください。
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コントロールボックス
BXC-CBRML |
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