圧倒的なスピードで高感度検出
検査領域全体のオーバービューや判定結果の表示など検査中に必要な情報が一目瞭然に確認できます。 |
CIX100は高い光学技術とハイスピードな電動ステージ、コンタミネーション解析専用のアルゴリズムなどにより、検査基準の厳しい工業規格でも高速かつ安定した検査結果を得ることができます。さらに検査によるステージ動作中でも、コンタミ解析結果がリアルタイムで反映されます。そのため検査の途中にNGとなった場合は途中で検査を終了し、次のサンプルに交換することで検査全体の効率化を図ることが可能です。
- 金属異物と非金属異物を1度のスキャンで検出
- 観察視野からはみ出す粒子は自動貼り合わせ機能により1つの粒子としてカウント
- オーバービュー機能によりフィルター全体のコンタミネーション結果がマッピング表示可能
- 工業規格・社内規格に基づいた検査結果の確認が可能
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1度のスキャンでさまざまな異物を
波長分離と色検出に基づく新しい偏光方法により、1度のスキャンで高い反射率の粒子 (金属) と低い反射率の粒子 (非金属)
を検出します。CIX100はこの手法を使って従来の検査システム（インスペクターシリーズ）に比べて2倍の速さでスキャンを完了させることができます。更に異なる条件で2回スキャンする為に行う、偏光素子の設定変更が不要なので繰り返しの変更操作に伴う累積誤差や単純なオペレーションミスなどで検査結果がばらつくことは一切ありません。
1:従来の方法、2:CIX100独自の新方式（1-1:非金属粒子、1-2：金属粒子、2:2種類の粒子を同時検出）
リアルカラーでの観察画像
リアルカラー画像モードにより、粒子が実際に何であるかが判断しやすくなります。反射粒子は偏光で青く見えますが、このモードを用いることで、
粒子が金属であるかの確認が可能になり、粒子の種類について適切で有効な解析が行えます。
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検出および解析時に表示される粒子。
青い色はこの粒子が、反射を起こす金属であることを示します。
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レビューモード中に見られる粒子。
U-ANTフィルターと色補正モードにより、実際の色合いに近い表示が行え、粒子の種類の判断に役立ちます。
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オーバービュー表示で検出粒子を確認
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標本のオーバービュー画像は、その標本の検査開始時に作成され、フィルター全体が低い倍率で表示されます。オーバービュー画像により、検査の開始前にフィルターのカバレージや粒子のクラスタリングを識別できます。
フィルターの割り当てが必要以上に高い場合、ユーザーに自動的に通知されます。
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検査条件の表示
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工業規格や社内の業務標準などを含めた検査条件を表示します。
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検査結果表示
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クラス分類ごとに検出した粒子が設定した合否判定閾値を超えているか検査中に確認できます。
CIX100 v. 1.6ソフトウェアでは、電気自動車や医療機器業界で必要とされる個々の粒子タイプの承認限界を評価することができます。
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スキャン範囲を超えた粒子も検出可能
CIX100は大きな粒子の画像を自動的に再構築できます。 |
工業規格に準拠して2.5μm～最大42mmの範囲で、最小および最大粒子をライブで処理およびクラス分類します。
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検査の残り時間
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検査処理の終了までの残り時間を表示します。
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