半導体/FPD検査顕微鏡
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Evidentの半導体ウェハ / FPD検査顕微鏡は、高速起動、使いやすさ、不具合分析、拡張性を提供し、高いレベルでの効率化を実現します。 当社の半導体検査顕微鏡ラインアップは、ウェハの安全に搬送するように設計されており、半導体の欠陥検査に最適です。自動ウェハ処理システムに加えて、半導体内部の小さな欠陥の詳細な解析にはデジタルマイクロスコープも選択できます。 半導体 / FPD検査顕微鏡のラインアップを以下でご覧ください。 |
AL120ウェハローダは、炭化ケイ素（SiC）やガリウムヒ素（GaAs）などのシリコンおよび化合物半導体ウェハを、強化された機能と柔軟性によりカセットから顕微鏡ステージに搬送する一方で、人間工学に基づく使いやすい設計で、半導体後工程での歩留まり、生産性向上に貢献します。
低コストのバックエンド検査に最適なAL120-12ウェハローダは、FOUPオープナー（Load Port）とFOSBの両方に対応する半導体検査用顕微鏡です。安全で人間工学に基づく設計により、オペレーターの安全を維持しながら、ウエハ条件（薄ウエハ、反ウエハ）に影響されない搬送を実現し、後工程の本質を追及した高い信頼性と安全性を提供します。
MX63およびMX63Lは、最大300mmサイズのウェハや液晶パネル、電子基板などのサンプルが検査できる大型の顕微鏡です。FPD、回路基板、その他の大型サンプルに対応するモジュール式設計により、用途に合わせて必要なコンポーネントを選択できます。
当社の顕微鏡用デジタルカメラにより、サンプルを高画質で撮影できます。高い分解能と優れた色再現力を備えた当社のカメラは、鮮明なライブ画像をフル解像度で表示し、明確な観察とリアルタイムフォーカスを可能にします。
ウェハ検査向けに顕微鏡とワークフローを最適化半導体ウェハ製造業者のウェハ検査品質管理を、機器とワークフローの最適化によって改善する方法についてご説明します。 |  |
電子機器および半導体検査用の近赤外線イメージングの機能当社の検査用顕微鏡によって、半導体検査の近赤外線イメージングがどのように強化されるかについてご説明します。 | |
ウェハサンプル上の回路パターン検査当社の半導体 / FPD検査向けMX63/MX63L顕微鏡が、従来のウェハサンプル観察法に代わる効率的な方法をどのように実現しているかについてご説明します。 |
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