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工業用顕微鏡

エレクトロニクス(電子部品/半導体)向けのソリューション

エレクトロニクス(電子部品/半導体)向けのソリューション

エレクトロニクス(電子部品/半導体)向けのソリューション

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コンピューター、カメラ、スマートフォンなどの電子機器は小型化・軽量化が進み、リードフレームやコネクタなどのコンポーネントもますます小さくなっています。たとえば、最近の集積回路上のコネクター類のピン間はわずか0.2mmです。また、プリント基板上には極薄のめっき処理が施されており、その厚みの均一性は製品品質を左右する重要な要素となっています。

スローイングパワー計測

スローイングパワー計測(PCBスルーホールの切断面)

スローイングパワー計測(PCBスルーホールの切断面)

ガイダンスに従って必要な箇所を計測していくだけで、プリント基板(PCB)のスルーホールやマイクロビアの銅めっき厚の均一性が計測できます。ディンプルの深さ、ビア内やビア周辺の銅めっき厚も計測可能です。

ソリューションの特徴
  • ライブ画像上でサンプル切断面の複数個所の計測可能
  • ビアホールの種類に応じたガイダンス機能で簡単に計測可能
  • スルーホールの中心を正確に切断してないサンプルの計測結果を自動補正
アプリケーション
  • HDI (高密度実装配線)プリント基板
併用すると便利な機能
  • 簡単なピント合わせや撮影のツール

ゲートCD(Critical Dimension)の自動計測

自動計測(ウエハ上のパターン)

自動計測(ウエハ上のパターン)

パターン認識とエッジ検出機能により、あらかじめ設定した計測をライブ画像上で自動で行えます。キャリパーを作ることにより、さまざまな種類の距離(線と点の距離、円の中心間距離、2点間の距離など)、円の直径、角度、円形度、矩形(幅、長さ、面積)などから計測が可能です。計測対象の公差を設定することにより、各計測値に対する合否判定も可能です。

ソリューションの特徴
  • 管理者モードにより計測レシピの作成が可能
  • ユーザーごとのモード設定で、オペレーターの誤った設定変更を防止
  • 自動計測結果とともに合否判定結果を表示
アプリケーション
  • 半導体製品
併用すると便利な機能
  • 簡単なピント合わせや撮影のツール

その他のソリューション

  • 3D
  • カウントと計測(粒子解析)
  • 粒子解析
  • 気孔率解析
  • フェーズ分析PLUS

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