落射明視野観察とは

サンプルに対し同軸落射でケーラ照明し、サンプルからの直接反射光を観察します。

→　一般的な観察方法です。

ウエハ

※ケーラ照明とは

光源からの光をコレクタレンズで明るさ絞り（AS）位置に結像させ、この像を2次光源としてさらに対物レンズの 射出瞳位置に再度光源像を結ばせます。これにより、サンプル面でテレセントリック（平行光）照明となります。この照明方法を一般的にケーラ照明と称しま す。この照明法の特徴は2つあります。ひとつは、明るく均一な照明ができることです。もうひとつは、視野絞り（FS）と明るさ絞り（AS）を独立に変える ができることです。

視野絞り（FS）の効果

視野絞りは視野外接まで照明視野を調整することで、結像にあずかる光以外の余分な光の入射を防ぎ、像全体にかかるフレアを除去する効果があります。

明るさ絞り（AS）の効果

明るさ絞りは照明の開口数(N.A.)を調整したり像のコントラストを変えたい時に有効です。通常は対物の瞳径の80％程度に絞ることで最良のコントラストになります。対物レンズの倍率が100倍以上では対物の瞳径の50％程度以下に絞ることでよりいっそうコントラストよく観察することができます。

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