개요
신뢰성, 강력함, 재현성다기능 현미경 검사 시스템 |
대규모 샘플의 검사 프로세스 효율화반도체 및 전자 부품 제조 분야에서 산업용 현미경은 중대한 구조적 치수가 사양 이내인지 확인하는 품질 관리(QC) 프로세스에서 반드시 필요합니다. 전기차 제조, 반도체 제조 및 기타 산업에서 효율적인 검사 요구 사항을 충족하기 위해 Evident는 다양한 샘플 크기와 특정 검사 워크플로에 따라 맞춤화할 수 있는 다기능 스테이지가 장착된 맞춤형 현미경을 개발했습니다. 이 시스템은 고품질 광학 및 강력한 소프트웨어를 사용하는 고급 현미경 부품을 포함하므로 인쇄회로기판(PCB), 반도체 다이 및 미크론 이상 범위의 웨이퍼 등 전자 부품을 빠르고 정확하게 검증할 수 있습니다. |
일관적이고 신뢰할 수 있는 데이터를 활용한 검사 자동화이 솔루션은 데이터 캡처의 모든 측면을 자동화하도록 설계되어 데이터 획득부터 보고까지 간편한 프로세스를 제공합니다. 일관되고 재현 가능
직관적이며 자동화됨
시간 효율성
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응용 분야 및 샘플 크기에 맞게 조정 가능한 스테이지다양한 크기의 구성 요소를 측정하기 위해 스테이지를 특정 샘플 요구 사항에 맞게 맞춤화할 수 있습니다. 맞춤화 가능한 스테이지는 작은 입자부터 크고 복잡한 디스플레이까지 다양한 크기의 표면을 검사하도록 지원하며 최대 600mm의 샘플을 처리할 수 있습니다. |
일관된 이미징을 위한 방진 테이블이 시스템에는 활성 진동방지 테이블이 함께 제공되므로 사용자는 진동에 민감한 엄격한 측정을 수행할 수 있습니다. 지지 프레임 하단에 캐스터와 수평 조절 다리가 부착되어 있어 테이블을 원하는 위치로 쉽게 옮길 수 있으므로 안정성을 더해줍니다. |
검사를 위해 제작된 고품질 광학 렌즈 및 구성 요소시스템의 통합 대물렌즈는 가장 엄격한 품질 표준에 따라 제조됩니다. 파면 수차 제어 등의 기능으로 성능 편차를 최소화합니다. MXPLFLN 대물렌즈의 높은 개구수와 긴 작동 거리가 결합되어 더 멀리서도 정밀 검사가 가능하므로 대물렌즈가 샘플에 부딪힐 위험이 줄어듭니다. 다양한 유형의 분석을 위해 명시야, 미분간섭대비(DIC), 편광, 적외선, 형광, 암시야 등 자주 사용되는 관찰 방법 간에 간편하게 전환할 수 있습니다. 당사의 MIX 슬라이더는 선택 가능한 사분면 LED 조명으로 기존의 암시야를 향상시켜 샘플에 비치는 빛의 방향을 제어할 수 있습니다(지향성 암시야). MIX 관찰의 경우 지향성 암시야를 명시야, 단순 편광 또는 형광 관찰과 함께 사용하여 샘플의 더 많은 부분을 볼 수 있습니다. |
강력한 기능을 갖춘 사용하기 쉬운 소프트웨어 | ||
에지 강도 측정으로 결함 에지를 정밀하게 감지소프트웨어의 에지 강도 스캐너는 결함의 에지와 직선, 곡선, 원, 점이 있는 샘플 구조를 자동으로 정밀하게 감지합니다. | 한 번에 동시 측정 수행샘플 내에서 또는 스테이지에 배치된 서로 다른 샘플 사이에서 반복되는 구조의 다중 지점 획득은 에지 감지 도구를 사용하여 프로그래밍하고 자동화할 수 있습니다. | 자동 치수 측정을 위한 매크로 프로그래밍프로그램 기능을 사용하여 클릭 한 번으로 다중 지점 획득, 자동 초점, 자동 측정을 에지 감지 워크플로에 원활하게 통합합니다. |