애플리케이션
소형 제품에 대한 수요가 계속 증가하고 있기 때문에 이러한 제품에 사용되는 부품의 크기도 작아지고 있습니다. 반도체 검사를 위한 프로브 카드와 의료 장비용 초미세 금속 튜브 등이 이러한 부품에 해당됩니다. 현대 기술로는 인모의 직경보다 작은 10μm의 초미세 금속 튜브를 제작하는 것이 가능합니다. 이와 같은 초미세 금속 튜브 제조 과정에서 굽힘 및 추출 공정, 표면 전기 방전 가공 상태, 절삭면의 상태를 정확하게 모니터링할 필요가 있습니다. 그러나 이러한 상태를 모니터링하는 것은 가공 부위가 매우 작기 때문에 기존 분석 방식으로는 올바르게 평가하는 것이 어려워 문제가 있습니다.
Olympus 솔루션
Olympus 3D 스캐닝 레이저 현미경 LEXT는 레이저를 사용하여 미세 영역의 표면 프로필 또는 거칠기를 계측합니다. 현미경의 비접촉 레이저 스타일러스는 접촉식 프로브를 사용하면 불가능한 미세 영역의 형체를 정확하게 재현할 수 있습니다. 수평 해상도는 0.12μm이며 스텝 해상도는 5nm입니다. 계측 정확성은 추적이 가능합니다. 이 기능을 통해 작은 부품의 표면 프로필도 효과적으로 모니터링하는 것이 가능합니다.
금속 튜브 표면
| 절단면 평가
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