레이저 현미경을 통한 미세 형체 계측
1. 애플리케이션
투명 소재는 전자기기, 반도체, 전자 구성부품, 연구 등 다양한 제조 공정에 사용됩니다. 가장 일반적인 애플리케이션 중 하나는 투명 필름이 부착된 유리 기판에서 필름의 높이(스텝)을 계측하는 것입니다. 코팅된 필름의 두께는 최종 제품의 성능과 기능에 큰 영향을 미치기 때문에 필름을 부착한 이후 올바른 높이가 구현되었는지 확인하기 위해 필름의 두께를 계측하는 것이 중요합니다.
투명 필름의 높이를 계측하는 것은 오랜 시간 동안 어려운 도전으로 여겨졌습니다. 광학 현미경을 사용하여 필름의 표면 프로필을 평가하는 것이 어려웠던 이유는 필름의 투명함으로 인해 초점을 설정하는 것이 어려웠기 때문입니다. 이에 더해 소재가 전동성을 가지지 않기 때문에 금속 필름을 표면에 부착할 필요가 있는 전자 현미경을 사용하여 필름을 관찰하는 것도 어려웠습니다. 접촉시 스텝 테스터들 또한 스타일러스가 필름 표면을 손상시킬 수 있는 문제를 가지고 있었습니다.
2. Olympus 솔루션
LEXT 3D 레이저 스캐닝 현미경의 경우, 컨포칼 광학 시스템에 의해 초점이 맞춰진 반사광을 추출하는 것이 가능하여 반사도가 낮은 투명 필름 표면의 반사광도 고감도 탐상기로 캡처하는 것이 가능합니다. 더욱이 현미경이 레이저광을 사용하기 때문에 샘플을 손상시키지 않는 비접촉식 표면 프로필 계측이 가능하다는 것이 중요합니다.
이미지
(1) 1개 투명 필름 레이어의 스텝: 7.095μm
(2) 2개 투명 필름 레이어의 스텝: 28.819μm
(3) 3개 투명 필름 레이어의 스텝 36.739μm
