밀리미터파 레이더
애플리케이션
안전 수준을 향상시키기 위해 많은 자동차 제조사들이 첨단 운전자 보조 시스템(ADAS)를 차량에 적용하고 있습니다. 이러한 시스템의 대부분은 밀리미터파 레이더를 사용하여 ADAS에 위치 및 크기 정보를 전달합니다.
밀리미터파는 높은 직선성(방향성)과 짧은 파장을 가지고 있어 센서로 사용하는 것이 적합합니다. 이러한 속성을 바탕으로 자동차 밀리미터파 레이더는 충돌 방지 시스템에서 폭넓게 사용되고 있습니다. 밀리미터파는 76 GHz 또는 77 GHz의 주파수와 약 4 mm의 파장을 사용합니다. 차량의 앞쪽에 장착되는 밀리미터파 레이더는 차량 앞에서 주행하는 차량과의 거리와 해당 차량의 상대 속도를 계측할 수 있습니다. 거리/속도 조합이 위험 수준에 가까워지면 센서는 운전자에게 경고를 전달합니다. 현재 센서들은 약 200m 거리에 있는 차량의 정보를 획득할 수 있습니다.
밀리미터파 레이더 센서는 짧은 파장을 가지고 있기 때문에 이들의 전송 회로는 높은 치수 정확성을 필요로 합니다. 치수가 사양을 충족하지 못할 경우, 밀리미터파 전송 손실이 발생하여 거리/속도 계측을 저하시킬 수 있습니다. 이로 인해 회로 형체를 높은 정확성으로 계측하여 치수를 정밀하게 관리할 필요가 있습니다.
Olympus 솔루션
LEXT OLS5000 3D 레이저 스캐닝 현미경을 통한 밀리미터파 레이더 회로 기판 형체 계측
회로 기판의 형체 계측
- 전용 LEXT 대물 렌즈는 현미경의 405nm 레이저 광원에 맞춰 튜닝되어 최대 0.12µm의 수평 해상도를 얻을 수 있습니다. 이를 통해 높은 정확성으로 밀리미터파 회로 기판의 형체 계측이 가능합니다.
- 회로의 측면 표면이 거의 수직에 가까워도 계측 노이즈 없이 정확하게 계측할 수 있습니다.
- 시스템은 회로의 여러 위치를 지정하여 각 위치의 라인 폭을 계측할 수 있습니다.
- 계측된 시야 데이터는 수평으로 합성되어 높은 정확성을 가진 넓은 영역의 3D 데이터를 얻을 수 있습니다.
- 차등 분석 기능은 2개의 데이터 위치 사이의 차이를 파악하게 해줍니다. 2개 회로의 3D 데이터를 비교하는 것으로 치수 정확성의 차이를 육안 및 수치로 확인하는 것이 가능합니다.
- 회로의 폭과 높이에 더해 면적 및 부피 데이터도 확인할 수 있습니다.
- 형체는 수치 데이터로 획득되지만 색, 레이저, 높이의 세가지 이미지 데이터로도 표시되어 수치 데이터를 이미지화하여 텍스처를 확인할 수 있습니다.
이미지
밀리미터파 작동 방법
밀리미터파 레이더 안테나 회로 기판 폭 및 높이 계측
* 회로에서 수직에 가까운 표면이 선명한 이미지 및 프로필로 캡처됩니다.
* 회로 높이를 변경 및 지정하는 것으로 다양한 높이의 폭 계측이 가능합니다.
여러 밀리미터파 레이더 안테나 회로 기판 위치의 라인 폭 계측
