레이저 현미경을 통한 마이크론 크기 형체 계측
메모리 카드
(1) 애플리케이션
메모리 카드는 다양한 크기를 가지고 있으며, 디지털 카메라, 휴대전화, 녹화기 등의 장치에서 저장 매체로 사용됩니다. 메모리 카드는 해당 장치의 슬롯에 삽입되며, 카드의 표면 거칠기는 삽입의 부드러움 수준에 영향을 미칩니다. 카드의 표면 거칠기는 카드의 상업적 가치에 기여하기 때문에 품질 관리 계측 기준으로 사용됩니다. 기존 거칠기 테스터를 통한 품질 관리는 테스터가 대상 표면과 직접 접촉해야 한다는 한계와 오직 특정 선 상의 높이(거칠기)만을 계측한다는 한계를 가지고 있습니다.
(2) 솔루션
Olympus LEXT OLS5000 3D 스캐닝 레이저 현미경은 대상 표면과 접촉하지 않고 정밀한 고해상도 프로필 계측을 하는 것이 가능합니다. 사용자는 컨포칼 광학 시스템을 통해 선명한 고해상도 이미지를 얻을 수 있습니다. 시스템은 ISO 25178에 따라 3D 거칠기 매개변수를 사용하여 비접촉식 표면적 평가를 실행합니다. 넓은 표면 평가는 무작위 결함에 파악에 더 적합하며, 선을 따라 계측하는 기존 거칠기 테스터 대비 많은 계측 정보를 제공합니다. OLS5000 현미경에는 계측 좌표 등록과 이미지 합성 기능을 사용하여 표면 상의 여러 지점을 계측하는 표준 자동 스테이지 기능이 적용되어 있습니다.
이미지
(1) 샘플 A(대물 렌즈: 20X. 유효 시야: 640 µm） | ||
계측 지점 1 |
계측 지점 2 |
계측 지점 3 |
| 매개변수 | Sq [µm] | Sa [µm] | Sz [µm] | Sku [µm] |
| 지점 1 | 3.5 | 2.897 | 26.501 | 2.518 |
| 지점 2 | 3.766 | 3.033 | 30.446 | 2.966 |
| 지점 3 | 3.626 | 2.955 | 25.5 | 2.741 |
| 평균 | 3.631 | 2.962 | 27.482 | 2.742 |
| 표준 편차 | 0.133 | 0.068 | 2.615 | 0.224 |
| ||
계측 지점 1 |
계측 지점 2 |
계측 지점 3 |
| 매개변수 | Sq [µm] | Sa [µm] | Sz [µm] | Sku [µm] |
| 지점 1 | 1.608 | 1.259 | 17.946 | 3.833 |
| 지점 2 | 1.579 | 1.241 | 18.158 | 3.86 |
| 지점 3 | 1.646 | 1.296 | 22.166 | 3.936 |
| 평균 | 1.611 | 1.265 | 19.423 | 3.876 |
| 표준 편차 | 0.034 | 0.028 | 2.378 | 0.053 |
