파티클 크기 등급(차등 및 누적) 및 파티클 개수
이 6부작 시리즈 중 3부에서는 파티클 크기 분류와 파티클 개수 추정 및 정규화에 대해 살펴보겠습니다. 다음은 분류, 추정 및 정규화가 전체 기술 청정도 검사 프로세스에 적합한 경우입니다.
- 준비
- 추출
- 여과
- 건조 및 중량 측정
- 검사
- 이미지 획득
- 파티클 검출
- 파티클 크기 측정 및 분류
- 파티클 개수 추정 및 정규화
- 오염 수준 계산
- 청정도 코드 정의
- 최대 승인 확인
- 반사성 및 비반사성 파티클 분리
- 섬유 식별
- 결과 검토
- 보고
파티클 크기 분류
이 시리즈의 2부에서 다룬 파티클 검출 결과는 검출된 각 파티클의 결과가 포함된 시트에 나와 있습니다. 각 파티클의 크기(일반적으로 최대 Feret 직경)가 나열되어 있습니다. 모든 파티클은 다양한 크기 등급으로 그룹화됩니다. 따라서 후속 보고서가 훨씬 간략해지고 측정치를 보다 효과적으로 비교할 수 있습니다.
크기 등급을 정의할 수 있습니다. 분류 매개변수 및 분류 방법은 다양한 국제 표준에 따라 Á¤ÀÇ 되어야 합니다. 주로 다음 두 가지 크기 등급이 사용됩니다.
차등(differential) 등급: 크기 등급은 최소 및 최대 파티클 크기로 정의됩니다. 각 파티클은 1개 등급으로만 계산됩니다.
누적(cumulative) 등급: 크기 등급은 최소 파티클 크기로 정의됩니다. 그 결과, 파티클이 2개 이상의 등급으로 계산될 수 있습니다.
파티클 크기 분류
필터의 정의된 영역이 스캔되고 파티클이 있는지 확인합니다. 다양한 필터 영역(그림 1)이 아래에 정의되어 있습니다.
그림 1: 파티클 개수 추정에 사용된 필터 영역.
필터 크기: 표준 크기의 필터의 직경은 47mm이므로, 총 필터 면적은 1,735mm2입니다.
통과(Flow-through) 영역: 필터가 파티클로 완전히 덮여 있지 않습니다. 파티클은 여과 과정 중에 세척 헹굼액이 필터를 통과한 영역에만 있을 수 있습니다. 이 통과 영역은 작업자가 설정할 수 있으며 지름이 42mm 미만인 중앙 원형 영역이어야 합니다.
최대 스캔 영역: 최대 스캔 영역의 직경은 42mm이므로, 총 최대 스캔 면적은 1,385mm2입니다.
검사 영역: 실제 스캔 영역은 사용자가 정의할 수 있습니다. 일반적으로 최대 스캔 °¡´ÉÇÑ 영역이 스캔에 사용되지만 검사 영역은 더 작을 수도 있습니다. 검사 영역이 작을수록 이미지 개수가 적어지고 필터 검사에 필요한 시간이 단축됩니다.
통과(flow-through) 영역이 검사 영역 안에 완전히 있는 경우 모든 파티클들이 검출됩니다. 검사 영역이 통과 영역보다 작을 경우 이 시스템은 검출된 파티클 개수를 추정해야 합니다. 통과 영역은 검사 소프트웨어에서 설정해야 하며 파티클 개수 정규화에 사용됩니다.
파티클 개수 정규화
절대 또는 추정된 파티클 개수는 기준 값으로 정규화되어야 합니다.
사용된 표준 및 테스트된 필터에 따라 측정된 파티클 수는 비교 값으로 정규화됩니다. 따라서 검사된 샘플의 크기가 동일하지 않더라도 여러 측정치를 비교할 수 있습니다.
방법에 따라 다음과 같이 정규화에 다른 값이 사용됩니다.
세척된 영역: 검출된 파티클을 샘플 표면에서 세척할 때 세척된 표면 영역에서 정규화가 사용됩니다. 결과 파티클 개수는 면적 1,000cm2으로 정규화됩니다.
세척된 용적: 세척된 샘플 용적에 대한 정규화는 검출된 파티클을 구조적인 대형 샘플에서 세척할 때 사용됩니다. 결과 파티클 개수는 면적 100cm3으로 정규화됩니다.
세척된 부분: 세척된 샘플 부분에 대한 정규화는 검출된 파티클이 여러 유사한 샘플에서 세척될 때 사용됩니다. 결과 파티클 개수는 단일 샘플 부분에서 정규화됩니다.
여과된 유체: 여과된 유체 자체가 분석되고 샘플에서 검출된 파티클이 세척되지 않은 경우, 여과된 유체의 양에 대해 정규화가 이뤄져야 합니다. 결과 파티클 개수는 여과된 유체 1ml 또는 100ml으로 정규화됩니다.
“cm3” 단위는 세척된 볼륨에서 사용되며, "ml" 단위는 여과된 유체에서 사용됩니다. 세척된 샘플 용적과 여과된 유체의 값이 혼합되지 않도록 서로 다른 단위가 사용됩니다.
파티클 크기 분류와 파티클 개수 추정 및 정규화에 따라 파티클 크기 등급별로 오염 수준이 확인됩니다. 6부작 "기술 청정도 워크플로우 분류(Breaking Down the Technical Cleanliness Workflow)" 중 4부 "오염 수준 계산(Contamination Level Calculation)"을 확인하십시오.
관련 콘텐츠
