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기술 청정도 워크플로우 분류 6부: 결과 검토 및 보고

저자  -
Technical cleanliness

삭제, 병합 또는 분할해야 하는 파티클 이미지 식별 및 보고서 생성

이 6부작 블로그 시리즈 중 마지막 편에서는 결과를 검토하는 동안 수행할 수 있는 작업과 사용자가 생성할 수 있는 다양한 데이터 보고서에 대해 살펴봅니다. 다음은 전체 기술 청정도 검사 프로세스에 적합한 결과 검토 및 보고 과정입니다.

  • 준비
    • 추출
    • 여과
    • 건조 및 중량 측정
  • 검사
    • 이미지 획득
    • 파티클 검출
    • 파티클 크기 측정 및 분류
    • 파티클 개수 추정 및 정규화
    • 오염 수준 계산
    • 청정도 코드 정의
    • 최대값 승인 확인
    • 반사성 및 비반사성 파티클 분리
    • 섬유 식별
    • 결과 검토
    • 보고

결과 검토

보고서를 생성하기 전에 검출된 파티클과 분류된 파티클을 검사할 수 있습니다. 따라서 청정도 결과를 제출하기 전에 대화형으로 다시 확인할 수 있습니다. 일반적으로 가장 큰 파티클은 다시 확인됩니다. 이 검토 중에 다음 작업을 수행할 수 있습니다.

  1. 잘못 식별된 파티클 삭제

    필터 멤브레인의 오류(예: 잘못된 건조로 인한 아티팩트)로 인해 파티클로 잘못 검출될 수 있습니다. 이렇게 잘못 식별된 파티클은 삭제되어야 합니다(파티클로 식별되고 있는 강조 표시는 제거되어야 함)(그림 1).

    그림 1그림 1그림 1

    그림 1: 파티클로 잘못 강조 표시된 아티팩트(왼쪽). 모든 강조 표시가 제거된 동일한 이미지(가운데). 아티팩트에서 강조 표시가 제거된 동일한 이미지(오른쪽).

  2. 파티클 분할

    파티클이 매우 가까이 모여 있을 때에는 종정 개별적으로 검출되지 않고 하나의 큰 파티클로 잘못 식별됩니다. 이 경우에는 별도의 파티클로 다시 분류해야 합니다(그림 2).

    그림 2그림 2그림 2

    그림 2: 하나의 큰 파티클로 잘못 강조 표시된 여러 파티클(왼쪽). 모든 강조 표시가 제거된 동일한 이미지(가운데). 이제 개별 파티클로 올바르게 식별된 여러 파티클이 포함된 동일한 이미지(오른쪽).

  3. 파티클 조각 병합

    다른 경우에는 단일 파티클이 여러 파티클로 잘못 식별됩니다. 이런 경우에 파티클 조각들이 분명히 하나이면 병합해야만 합니다(그림 3).

    그림 3그림 3그림 3

    그림 3: 별도의 파티클로 잘못 강조 표시된 두 파티클 조각(왼쪽). 모든 강조 표시가 제거된 동일한 이미지(가운데). 이제 단일 파티클로 올바르게 강조 표시된 파티클이 포함된 동일한 이미지(오른쪽).

  4. 파티클 계보 변경

    파티클이 잘못된 계보로 분류된 경우(예: 반사성 파티클이 비반사성 파티클 목록에 잘못 올라 있음) 파티클 분류를 조정해야 합니다.

보고서 생성

기술 청정도 검사 보고서에는 필터 멤브레인에 대한 모든 측정 결과와 데이터가 표준화된 형태로 포함되어 있습니다(그림 4). 사용되는 청정도 표준에 따라 특정 결과나 측정 특성(예: 카메라 노출 시간, 스캔/검사된 샘플 면적 등)을 반드시 표시해야 합니다. 일부 표준에서는 표준 이름, 파티클 영역 범위와 같은 특정 획득 매개변수에 대한 설명을 요구합니다.

보고서의 형식은 데이터를 요청하는 회사의 사양과 측정 요구 사항에 따라 조정할 수 있습니다. 분류 테이블과 가장 큰 파티클의 이미지를 표시할 수 있습니다. 이 정보는 모두 검사 소프트웨어 내에서 사용 가능한 보고서 템플릿에서 정의할 수 있습니다.

그림 4

그림 4: OLYMPUS CIX100 기술 청정도 검사 시스템을 사용하여 작성한 샘플 검사 보고서.

대다수 산업 제조 공정의 핵심 구성 요소인 기술 청정도 검사에는 여러 준비 및 검사 단계가 있으며, 각 단계를 이 블로그 시리즈에서 살펴봤습니다. 이 시리즈를 통해 기술 청정도 검사 프로세스를 보다 쉽게 이해하면서도 워크플로우를 최적화하고 일관성 있게 검사 결과 신뢰성을 보장하는 방법을 파악했기를 바랍니다.

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제품 응용 프로그램 관리자, 미주 Olympus 주식회사, 과학 솔루션 제품군

2016년부터 Olympus 팀의 일원이었던 Hamish는 미주 전역의 Olympus 산업 현미경 시스템에 대한 제품 및 응용 프로그램 지원을 담당합니다. 그는 기술 청정도와 반도체 장비에 중점을 두고 검사 응용 프로그램, 이미지 분석, 측정 및 보고 뿐만 아니라 맞춤형 광학 솔루션을 담당하는 전문가입니다.

11월 13, 2018
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