레이저 스캐닝 현미경을 통해 캡처한 이미지는 최종 단계로서 컴퓨터 소프트웨어를 사용하여 가공 및 분석하는 것으로 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 소프트웨어는 장치의 운영 수준과 샘플 호환성을 결정하는 중요한 요소입니다. 다음은 이 소프트웨어가 지원하는 이미징, 분석, 디스플레이 기능들을 간략하게 소개하는 내용입니다.
캡처된 이미지는 일반적으로 분석 또는 디스플레이를 위해 사전 처리됩니다. 이미지 처리는 관찰을 용이하게 하여 분석을 촉진하기 위해 디스플레이용 이미지를 생성합니다. 기울기 수정, 평활 필터, 강조 필터, 주파수 필터 등 다양한 필터와 격리 지점 제거, 윤곽선 수정 등의 여러 기능을 통해 불필요한 노이즈를 제거할 수 있습니다.
샘플 표면의 상태는 디지털화하여 정량적 평가에 사용됩니다. 일반적으로 프로필 분석, 라인 폭 계측, 거칠기 분석, 면적 및 부피 계측, 입자 분석, 지형 계측, 코팅 두께 계측 등을 위한 애플리케이션 등 다양한 분석 소프트웨어 애플리케이션이 내장되어 있습니다. 최근에는 현미경을 비접촉 표면 거칠기 계측 장치로 사용하는 사례가 증가하고 있습니다.
다양한 디스플레이 방식이 샘플의 형체를 파악하는데 사용됩니다. 3차원 디스플레이는 라인 방식, 메시 방식, 표면 방식, 그림자 방식, 대비/그림자 방식, 강도/높이 방식 등 레이저 스캐닝 현미경의 특징들을 지원합니다. 이에 더해 샘플을 고해상도 및 여러 이미지를 합성한 넓은 시야에서 관찰하는 것도 가능합니다. 이러한 소프트웨어 애플리케이션을 사용하여 다양한 요건을 충족하는 것이 가능하기 때문에 레이저 스캐닝 현미경의 애플리케이션은 계속 확대할 것으로 기대됩니다.
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