• 뛰어난 측정 성능
• 세계 최초* 두개의 성능 보증
• 고품질 이미지
• 더 쉽게, 더 빠르게, 더 광범위하게.

뛰어난 측정 성능

넓은 샘플 범위

85°이상의 경사도 이미지

급경사면의 면도칼	OLS4100은 높은 N.A값을 갖는 전용 대물 렌즈와 405nm 레이저의 성능을 극대화 시킨 광학 시스템에 의해서 기존에 측정 불가능했던 급경사면의 이미지를 손쉽게 취득할 수 있습니다.
LEXT전용 대물 렌즈	수차를 최소화한 전용렌즈

10nm의 높이 분해능을 가진 마이크로 프로파일 측정

(대물 렌즈 : MPLAPON50XLEXT) STEP 높이 표준 B 타입, PTB-5, 독일, 마이크로 전자 연구소 6nm 단차를 감지

405nm의 단파장 레이저 빛과 높은 N.A의 전용 대물 렌즈를 사용하여 최대 0.12μm의 평면 분해능을 실현. 샘플 표면의 서브 마이크론 측정이 가능합니다. 또한 고정밀 리니어 스케일과 IZ 커브를 이용한 CFO 검색 (23 페이지 참조)를 채택하여 10nm 이하의 높이 차이를 감지 할 수 있습니다.

반사율 차이에도 대응

다이아몬드 전기 공구 대물 렌즈 : MPlanApoN50xLEXT

OLS4100은 2개의 공초첨 광학 시스템을 탑재한 듀얼 컨포칼 시스템을 사용합니다. 고감도 디텍터(검출기)와 결합하여 서로 다른 반사율을 갖는 샘플에서도 선명한 이미지 구현이 가능합니다.

멀티 레이어기능으로 투명한 물체의 측정에 대응

멀티 레이어 모드
OLS4100에 추가 된 멀티 레이어 기능은 여러 레이어 (층)의 반사광 강도의 피크를 인식하여 각 층의 두께를 측정할 수 있습니다.

투명 소재의 멀티 레이어 관찰/측정
멀티 레이어 기능을 사용하면 투명 샘플의 윗 표면에 있는 투명 필름의 관찰과 측정이 가능합니다. 레진이 코팅 되어 있는 샘플에서도 투명체 각 층의 거칠기와 두께의 측정도 가능합니다.

세계 최초* 두개의 성능 보증

정확도와 반복성

측정 기기로서의 성능은 두 개의 다른 용어로 표현됩니다. 그것은 '정확도'과 '반복성'입니다. "정확도"는 참값에 얼마나 접근하고 있는지를 나타내고 "반복성"은 여러 번 측정에서 얼마나 변동이 적은가 여부를 나타내는 것입니다. OLS4100은 레이저 현미경으로 업계 최초로 *이 두 성능을 보증합니다.

보증 체계 시스템

OLS4100은 모든 부품이 엄격한 시스템 아래 하에 제조되고 있습니다. 대물 렌즈부터 본체까지 자사 공장에서 일관 생산하고 엄격한 검사 기준을 거쳐 출하됩니다. 최종 조정과 교정은 실제로 사용되는 환경에서 전문 기술자가 수행합니다.

넓은 범위의 측정 타입

단차 측정 이 모드는 단면 프로파일에서 임의의 두 점 사이의 단차를 측정 할 수 있습니다.

표면 거칠기 측정 이 모드는 한 라인의 선 거칠기, 표면 전체의 거칠기 측정이 가능합니다.

면적/부피 측정 단면 프로파일에서 임의의 임계 값을 설정하여 그 상부 또는 하부의 체적을 측정 할 수 있습니다.

입자 측정(옵션) 이 모드는 임계 값 레벨의 설정, 그리고 관심 영역 내에서 감지 범위의 설정 및 분리 기능을 가진 입자의 자동 분리를 할 수 있습니다.

기하학적 측정 이 모드는 이미지상의 임의의 두 점 사이의 거리를 측정 할 수 있습니다. 원형, 사각형 등의 기하학적 모양과 각도를 측정합니다.

필름 두께 측정(옵션) 이 모드는 굴절율의 변화를 감지하여 투명 필름의 두께를 측정 할 수 있습니다.

자동 에지 검출/측정(옵션) 이미지의 가장자리를 자동으로 감지하여 선폭 · 원의 측정을 할 수 있습니다. 사용자에 의한 측정 오차를 줄일 수 있습니다.

OLYMPUS Stream (옵션)

향상된 이미지 분석 성능을 위한 업무개선 솔루션
소프트웨어 "Olympus Stream"(옵션)에서는 입자 크기 분석 및 비금속 함유율 등이 가능하고 OLS4100으로 부터 바로 연동이 가능합니다.

OLYMPUS Stream에 대해서 더 보기 >

더욱 더 진화된 거칠기 측정

LEXT OLS4100 파라미터

OLS4100은 표면 거칠기 측정기의 새로운 기준을 목표로 개발되었습니다. 필요한 대부분의 거칠기 파라미터 필터를 보유하고 있습니다. 그렇기 때문에 기존의 접촉식 표면 거칠기 측정기를 사용하는 사용자는 기존의 장비와 일치한 출력 결과를 얻을 수 있습니다..
또한 OLS4100은 거칠기 전용 모드가 있어 자동 라인 스티치로 최대 100mm까지 거칠기 측정이 가능합니다. OLS4100은 접촉식 표면 거칠기 측정기와 같은 거칠기 (2 차원) 파라미터를 보유하고 있습니다. 접촉식 표면 거칠기 측정기와 같은 조작성, 호환 측정 결과를 얻을 수 있습니다.

차세대 파라미터에 대응
OLS4100은 ISO25178 규격 거칠기 (3 차원) 파라미터를 보유하고 있습니다. 평면 영역에서 평가를 실시하는 것으로, 높은 신뢰성이 있는 분석이 가능합니다.

LEXT OLS4100은 표면 거칠기 측정기의 결과와 호환성을 가지고 있습니다.

마이크로 거칠기

접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스의 팁 지름보다 작은 마이크로 표면을 측정 할 수 없습니다. 레이저 현미경은 레이저 스폿 직경이 미세하기 때문에 미세형상을 높은 분해능으로 거칠기 측정 할 수 있습니다.

비 접촉 측정 접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스에 의해 부드러운 샘플의 표면을 긁어 손상시키거나 변형시킬 가능성이 높습니다. 또착 접착성이 있는 샘플에서는 스타일러스에 끌려 정확한 측정 결과가 나오지 않습니다. 레이저 현미경은 비접촉이기 때문에 표면 상태에 영향을 받지 않고 정확한 거칠기 측정을 할 수 있습니다.
고분자 필름 3D 이미지

부드러운 샘플

접착성 샘플

마이크로 영역에서의 측정

접촉식 표면 거칠기 측정기는 스타일러스를 표면에 접촉하지 않고는 측정 할 수 없습니다. 레이저 현미경은 위치를 정확하게 확인하고, 목표한 마이크로 영역에서 거칠기 측정을 아주 쉽게 할 수 있습니다.

본딩 와이어

고품질 이미지

선명한 3D 컬러 이미지

통합이미지의 3가지 유형

리얼 컬러 3D 이미지	LEXT OLS4100은 동일한 시각의 컬러 이미지, 레이저 현미경이미지, 높이 이미지를 동시에 얻을 수 있으며, 각각 2D・3D로 볼 수 있습니다. 레이저 현미경 이미지 뿐만 아니라 컬러 이미지도 초점이 맞는 이미지만 캡처 하기 때문에 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.
공초점 3D 레이저 이미지	높이 정보

자연 컬러 재연 OLS4100은 백색 LED를 사용하며, 색 재현이 뛰어난 촬상 소자와 결합하여 선명하고 자연스러운 색조의 컬러 이미지를 생성 할 수 있습니다.
2D 컬러 이미지 (종이 위의 잉크젯 점, 대물렌즈 20x)	3D 컬러 이미지 (종이 위의 잉크젯 점, 대물렌즈 20x)

실제 표면 재현, 레이저 DIC (미분 간섭 대비)

미분 간섭 관찰(DIC)은 레이저 현미경의 분해능을 더 넘어선, 나노 미터 수준의 미세한 표면을 시각화하는 관찰 방법입니다. 이 레이저 DIC에 의해 OLS4100은 저배율의 라이브 관찰에서도 전자 현미경의 분해능과 같은 이미지를 얻을 수 있습니다.

DIC가 없는 레이저 현미경 이미지(고분자 필름)	DIC가 있는 레이저 현미경 이미지(고분자 필름)
DIC가 없는 레이저 현미경 이미지(5x 대물 렌즈) STEP 높이 표준 타입 B, PTB-5, 독일 마이크로 전자 연구소	DIC가 있는 레이저 현미경 이미지(5x 대물 렌즈) STEP 높이 표준 타입 B, PTB-5, 독일 마이크로 전자 연구소

밝기와 대비의 최적 밸런스 HDR (High Dynamic Range) 이미지

OLS4100의 HDR기능은 다른 노출로 촬영 한 여러 가지 광학 현미경 이미지를 결합하고 개별적으로 밝기, 명암, 질감과 채도를 조정하여 넓은 동적 범위의 HDR 프로세스로 이미지화합니다. OLS4100은 대비가 부족한 샘플의 미세 형상도 선명히 라이브 화상으로 관찰 할 수 있습니다.

컬러 이미지 (고밀도 직물, 대물렌즈 20x, 줌 1x)	HDR 컬러 이미지 (고밀도 구조, 대물렌즈 20x, 줌 1x)
알고리즘

측정 및 이미지 환경의 안전화

하이브리드 진동 완충 기구

OLS4100은 외부의 영향을 억제하여 측정 및 이미징 환경을 안정시키기 위해 본체에 코일 스프링과 댐핑 러버로 이루어진 '하이브리드 제진 장치 "를 내장하고 있습니다. 따라서 전용 제진대 없이도 측정이 가능합니다.

더 쉽게, 더 빠르게, 더 광범위하게.

3단계의 간단 조작

OLS4100에서는 샘플을 스테이지에 올리는 것 만으로, 곧바로 관찰 · 측정을 시작할 수 있습니다. 간단한 이미지 획득, 측정, 보고서 작성 이 3 단계로 레이저 현미경에 익숙하지 않은 초보자도 쉽게 측정 방법을 마스터 할 수 있습니다.

항상 샘플의 위치를 알 수 있습니다.

매크로 맵 기능

OLS4100에서는 매크로 맵 기능이 있기 때문에 "샘플이 지금 어디에 있는지"를 화면에 나타낼 수 있습니다. 전동 리볼버를 사용하기 때문에 저배율의 광범위한 샘플 이미지를 자동으로 표시합니다.
또한 스티칭 기능을 사용하면 기존에 비해 최대 441 배 넓은 시야의 매크로 맵을 만들 수있게 되었습니다.

고속 매크로 맵 스티칭

2가지 스티칭 방법으로 넓은 영역의 스캐닝이 가능합니다.: 라이브 영상 획득 및 빠른 이미지 획득을 위한 자동 모드, 수동 모드. 한 번의 클릭으로 자동으로 이미지를 스캔할 수 있으며, 보다 넓은 범위를 빠르게 획득 할 수 있습니다. 또한 자동 스티칭 사이즈는 5종류(3x3、5x5、7x7、9x9、21x21)에서 선택할 수 있습니다. 획득한 이미지의 불필요한 부분은 간단한 마우스/조이스틱 조작으로 제거 할 수 있습니다.

간편한 3D 이미징 스마트 스캔

자동 3D 이미지 획득

스마트 스캔 기능을 새롭게 첨가한 OLS4100. 기존의 3D 검사는 초보자에게는 어려운 복잡한 설정이 필요했지만, 스마트 스캔 기능을 통해 쉽게 3D 이미지 전송을 할 수있게 되었습니다. 상하단 설정 이외에 밝기 조정도 자동으로 수행되며 한 번의 클릭으로 이미지 전송이 가능하여 초보자도 숙련자와 같은 최적의 이미지 획득이 가능합니다.


자동 밝기 조절

평면 밝기 조절	높이의 범위 내에서 밝기 조절

획득 시간이 대폭 단축

스캐닝 스피드의 고속화

새롭게 생긴 초고속 모드는 기존 고속 모드의 약 2배, 고화질 모드의 약 9배의 속도로 스캔 할 수 있습니다. 이를 통해 광범위의 Z축 방향의 획득과 고배율이 필요한 칼 끝 같은 급경사 각도를 가진 샘플의 측정도 단시간에 가능합니다.
* 실제 스캔 시간은 Z축 방향의 범위 및 대물렌즈의 배율 등에 의해 변동됩니다.

동일 시간에 따른 이미지 획득 수:

실제 스캐닝 시간은 배율 과 Z축 획득 범위에 따라 달라집니다.

필요한 부분만을 고속 스캔

OLS4100 밴드 스캔 기능은 샘플 검사 범위를 한정함으로써 원래의 약 1 / 8의 고속 측정이 가능합니다.

풀 스캔을 한 획득

밴드 스캔을 한 획득(약 1/8 시간 단축)

새로운 고속 스티칭 모드

넓은 영역의 스티칭 이미지에서 원하는 영역을 지정

매크로 맵과 같은 절차로 획득한 광범위의 이미지에서 3D 스티칭 범위를 지정할 수 있습니다. 최대 625장의 이미지 스티칭이 기존의 절반의 소요시간으로 생성 가능합니다. 스티칭의 범위를 지정하는 방법은 사각형뿐만 아니라 원형으로도 선택할 수 있습니다.

스티칭 범위: 사각형 (21x3) 63 조각

스티칭 범위: 원형 (3 점)

수동으로 필요한 영역을 지정

실시간 관찰 모드로 화면에서 필요한 부분을 추적하여 수동으로 선택할 수 있습니다. 관찰 할 샘플이 불규칙한 형태를 가지고 있을 경우 편리합니다.

빠른 이미지 획득

스마트 스캔을 사용하여 이미지 획득을 한 번의 클릭으로 시작할 수 있습니다. 스마트 스캔 모드에서 Z축 방향 설정이 자동으로 이루어 지므로 Z축 방향의 획득 범위를 한정함으로써 더 많은 시간을 단축할 수 있습니다.

스마트 스캔 모드

기존 획득 모드

빠르고 이해하기 쉬운 보고서 작성

관찰 · 측정 결과의 신속한 보고서 작성도 레이저 현미경의 중요한 역할입니다. OLS4100은 측정 종료 후 한 번의 클릭으로 보고서 작성이 가능합니다. 개별 템플릿 사용자 지정이 자유 자재로 할 수있는 등 다양한 편집 기능도 갖추고 있습니다.

한번의 클릭으로 여러장의 이미지를 일괄 측정

상세 사용자 마법사 설정 기능은 긴 훈련의 필요 없이, 새로운 사용자도 빠르고 쉽게 작업을 할 수 있습니다.

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