개요

개별 요구 사항에 맞춰 측정하는 현미경 샘플이 작든 크든 단순하든 복잡하든, 초보자가 측정하든 전문가가 측정하든, Olympus STM7 제품군은 사용자의 요구 사항을 충족하는 측정 현미경을 제공합니다. STM7 경험하기

개별 요구 사항에 맞춰
측정하는 현미경

샘플이 작든 크든 단순하든 복잡하든, 초보자가 측정하든 전문가가 측정하든, Olympus STM7 제품군은 사용자의 요구 사항을 충족하는 측정 현미경을 제공합니다.

STM7

개선된 광학 성능 STM7 시리즈는 최첨단 광학 현미경에 사용되는 것과 동일한 UIS2 무한 보정 광학 시스템을 사용합니다. 그 결과, 관찰된 이미지의 해상도와 대비가 높으며 수차를 완전히 제거하여 미세한 부분까지 매우 정확하게 측정합니다.

개선된 광학 성능

STM7 시리즈는 최첨단 광학 현미경에 사용되는 것과 동일한 UIS2 무한 보정 광학 시스템을 사용합니다.
그 결과, 관찰된 이미지의 해상도와 대비가 높으며 수차를 완전히 제거하여 미세한 부분까지 매우 정확하게 측정합니다.

^{STM7-LF FEM 분석}	스톤 스테이지 마운팅 플레이트를 사용한 안정적인 측정 STM7 시리즈는 측정 정확도를 더욱더 높이기 위해 화강암 표면 플레이트와 함께 내구성이 매우 높고 진동에 강한 프레임을 사용합니다. 이러한 안정성 덕분에 오류를 최소화하면서 미크론보다 작은 단위까지 측정이 가능합니다.

STM7-LF FEM 분석

^{STM7-LF FEM 분석}

스톤 스테이지 마운팅 플레이트를 사용한 안정적인 측정

STM7 시리즈는 측정 정확도를 더욱더 높이기 위해 화강암 표면 플레이트와 함께 내구성이 매우 높고 진동에 강한 프레임을 사용합니다. 이러한 안정성 덕분에 오류를 최소화하면서 미크론보다 작은 단위까지 측정이 가능합니다.

사용자 친화적, 고정밀, 3축 측정 최신 제조 기술이 점점 소형화되고 정밀해지면서, XY 축뿐만 아니라 Z 축에서도 매우 정확한 측정이 더욱 중요해졌습니다. Olympus에서는 이에 대응하여 최초의 반사형 능동 공초점 자동 초점 시스템을 만들었습니다.

사용자 친화적, 고정밀, 3축 측정

최신 제조 기술이 점점 소형화되고 정밀해지면서, XY 축뿐만 아니라 Z 축에서도 매우 정확한 측정이 더욱 중요해졌습니다. Olympus에서는 이에 대응하여 최초의 반사형 능동 공초점 자동 초점 시스템을 만들었습니다.

_{Olympus Corporation Test & Analysis Center에서 발행하고 ILAC-MRA 보정 인증 기관(JCSS, JAB)에서 인증한 보정 인증서입니다.} _{추적 시스템은 기간 및 국가/지역에 따라 다릅니다. STM7 보정에 사용된 샘플은 각 국가/지역에서 보정됩니다. 자세한 내용은 Olympus에 문의하세요.}	엄격한 추적 시스템에 기반한 믿을 수 있는 품질 Olympus 측정 현미경의 정확도는 엄격한 추적 시스템으로 제어되며 Olympus는 설치 시 추적 가능한 보정 기능도 제공합니다.

STM7 보정

_{Olympus Corporation Test & Analysis Center에서 발행하고 ILAC-MRA 보정 인증 기관(JCSS, JAB)에서 인증한 보정 인증서입니다.}
_{추적 시스템은 기간 및 국가/지역에 따라 다릅니다. STM7 보정에 사용된 샘플은 각 국가/지역에서 보정됩니다. 자세한 내용은 Olympus에 문의하세요.}

엄격한 추적 시스템에 기반한 믿을 수 있는 품질

Olympus 측정 현미경의 정확도는 엄격한 추적 시스템으로 제어되며 Olympus는 설치 시 추적 가능한 보정 기능도 제공합니다.

제안 모델

신뢰할 수 있는 모듈식 시스템

5가지 구성이 제공되므로 필요한 기능을 유연하게 선택할 수 있습니다.

수동 모델			전동 모델

STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF	STM7-MFA	STM7-LFA

STM7-CS100 ^{스테이지: 100mm x 100mm}	STM7-CS200 ^{스테이지: 200mm x 200mm}	STM7-CS300 ^{스테이지: 300mm x 300mm}	STM7-CS200 ^{스테이지: 200mm x 200mm}	STM7-CS300 ^{스테이지: 300mm x 300mm}

사양 차트 참조

	STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF	STM7-MFA	STM7-LFA
Z축 초점	수동		수동	전동
표준	BF 또는 BF/DF		BF 또는 BF/DF	BF 또는 BF/DF
옵션	DIC/POL		DIC/POL	DIC/POL
_{측정 대물렌즈} 명시야
_{초점 내비게이터} STM7-FN
_{자동 초점 조절 장치} STM7-AF	－		－
_{측정 지원 소프트웨어} STM7-BSW
_{측정 지원 소프트웨어} ^{(MIA(다중 이미지 정렬, Multiple Image Alignment) 및 EFI(확장 초점 이미지, Extended Focus Image))} STM7-ASW-ME

관찰 방법

BF: 명시야
DF: 암시야
DIC: 미분 간섭 대비
POL: 편광

: 옵션

작동성

샘플에 적합한 스테이지

일반적인 문제

측정 스트로크가 짧으면 대형 샘플을 측정할 수 없음 • X축 측정 영역이 Y축 측정 영역보다 짧아 샘플을 회전시켜야 함
측정 범위가 좁아서 다수의 샘플을 스테이지에 나란히 놓고 동시에 측정 불가

STM7 솔루션

STM7에는 300 웨이퍼 및 인쇄 회로 기판을 포함한 대형 샘플을 측정할 수 있는 300mm x 300mm 스테이지가 갖춰져 있습니다.
X축과 Y축 측정 영역이 동일하게 길어, 샘플을 회전시킬 필요 없음
X축과 Y축 모두 측정 영역이 길어, 여러 샘플을 스테이지에 나란히 놓고 보다 효율적으로 측정 가능

최대 측정 스트로크 300mm x 300mm

각각 다른 측정 스트로크(100mm x 100mm, 200mm x 200mm, 300mm x 300mm)를 가진 3가지 스테이지를 사용할 수 있습니다. 샘플의 크기와 상관없이 응용 분야에 맞는 스테이지를 제공합니다.

STM7-CS100

_STM7-CS100
^{100mm x 100mm}

STM7-CS200

_STM7-CS200
^{200mm x 200mm}

STM7-CS300

_STM7-CS300
^{300mm x 300mm}

광범위한 배율 및 작동 거리

일반적인 문제

대부분의 기존 측정 현미경은 측정 대물렌즈 또는 금속 대물렌즈만 장착 가능하므로 관찰 옵션이 제한됨

STM7 솔루션

STM7은 다양한 관찰의 요구 사항을 충족합니다. 저배율과 고배율 모두에서 사용자의 요구 사항을 충족하고, 작동 거리가 매우 긴 대물렌즈로 봐야 하는 고르지 않은 샘플의 측정도 가능하게 하며, 다양한 관찰 방법까지 제공

측정 대물렌즈 이 대물렌즈의 매우 긴 작동 거리 덕분에 사용자는 대형 피크와 골이 있는 샘플에 초점을 맞출 때 확신을 가질 수 있으며 대물렌즈가 샘플과 접촉할 가능성이 최소화됩니다. 또한 저배율 기능을 통해 넓은 영역을 한눈에 관찰할 수 있습니다.

측정 대물렌즈

이 대물렌즈의 매우 긴 작동 거리 덕분에 사용자는 대형 피크와 골이 있는 샘플에 초점을 맞출 때 확신을 가질 수 있으며 대물렌즈가 샘플과 접촉할 가능성이 최소화됩니다.

또한 저배율 기능을 통해 넓은 영역을 한눈에 관찰할 수 있습니다.

측정 대물렌즈

^{명시야 이미지}	^{암시야 이미지}	금속 대물렌즈 금속 대물렌즈를 사용하면 광학 현미경에 견줄 만한 고배율, 고해상도 관찰이 가능합니다. 또한 이 대물렌즈는 명시야, 암시야, DIC 관찰에 사용할 수 있습니다. UIS2 대물렌즈에 대한 자세한 내용을 보려면 여기 클릭

명시야 이미지

^{명시야 이미지}

암시야 이미지

^{암시야 이미지}

금속 대물렌즈

금속 대물렌즈를 사용하면 광학 현미경에 견줄 만한 고배율, 고해상도 관찰이 가능합니다.

또한 이 대물렌즈는 명시야, 암시야, DIC 관찰에 사용할 수 있습니다.

UIS2 대물렌즈에 대한 자세한 내용을 보려면 여기 클릭

혁신적인 제어 장치로 사용성 개선

일반적인 문제

추가 기능을 사용하려면 추가 작동 장치가 필요합니다. 작업자가 해당 장치를 항상 빠르게 찾을 수는 없어 측정 효율성이 크게 떨어짐
본체 주변의 여러 작동 장치와 해당 전원 공급 장치로 인해 귀중한 작업 공간이 협소해짐

STM7 솔루션

거의 모든 현미경 측정 작업을 가장 가까운 작동 장치에서 효율적으로 완료 가능
추가된 기능 수에 상관없이 시스템에 필요한 작동 장치와 전원 공급 장치는 단 하나이므로 작업 공간 확보 가능

컨트롤러 STM7 시리즈를 사용하면 측정값 재설정, 조명 제어, 초점 조절, 자동 초점 조절 기능을 포함하여 거의 모든 현미경 측정 작업을 단일 컨트롤러로 수행할 수 있습니다. 원하는 위치에 장치를 배치하고 한 손으로 쉽게 조작할 수 있어 효율성과 편의성이 뛰어납니다.	^{수동 Z축 초점 조절 모델의 경우: STM7-HS 핸드 스위치}	^{전동 Z축 초점 조절 모델의 경우: STM7-MCZ 초점 컨트롤러}

컨트롤러

STM7 시리즈를 사용하면 측정값 재설정, 조명 제어, 초점 조절, 자동 초점 조절 기능을 포함하여 거의 모든 현미경 측정 작업을 단일 컨트롤러로 수행할 수 있습니다. 원하는 위치에 장치를 배치하고 한 손으로 쉽게 조작할 수 있어 효율성과 편의성이 뛰어납니다.

수동 Z축 초점 조절 모델의 경우: STM7-HS 핸드 스위치

^{수동 Z축 초점 조절 모델의 경우: STM7-HS 핸드 스위치}

전동 Z축 초점 조절 모델의 경우: STM7-MCZ 초점 컨트롤러

^{전동 Z축 초점 조절 모델의 경우: STM7-MCZ 초점 컨트롤러}

컨트롤 박스

각 장치의 전원 공급 장치와 전송 장치가 하나의 컨트롤 박스에 들어 있습니다. 따라서 초점 내비게이터 등의 다양한 선택 기능이 추가된 경우에도 작업 공간을 최대로 확보합니다.

수동 및 전동식 초점 옵션

수동 및 전동식 초점 제어 옵션을 사용할 수 있습니다. 스테이지 크기에 관계없이 샘플과 측정 내용 면에서 요구 사항을 충족하며 모든 프레임에 Z축에 대한 선형 스케일이 통합되어 있어 3축 측정이 가능한 모델을 선택하세요.

수동 Z축 초점 모델

수동 모델에서는 다양한 높이의 샘플을 측정하는 사용자가 친숙한 핸들 작동으로 신속하게 수직 이동을 할 수 있으므로 비용 대비 성능이 우수합니다.

전동식 Z축 초점 모델

전동 장치는 작동성을 높이고 초점과 높이를 반복적으로 측정하면서 생긴 핸들링 피로를 줄여줍니다. 조동 및 미동 조정을 위한 동축 손잡이는 수동으로 작동할 때와 유사한 느낌을 주며 모델에 자동 초점 장치를 장착할 수도 있습니다.

자동 광도 조절로
효율성 향상

일반적인 문제

기존 측정 현미경에서 사용하는 아날로그 볼륨 조절은 광도를 정량적으로 평가할 수 없어, 광도의 변화에 따라 측정값이 변동될 우려가 있음
기존 측정 현미경을 사용하면 대물렌즈를 바꿀 때마다 광도를 조절해야 할 수 있으므로 비효율적인 워크플로 초래

STM7 솔루션

현미경이 광도 값을 정량적으로 표시하므로 항상 동일한 조건에서 관찰과 측정 수행 가능
대물렌즈 전환 시 광도 매니저를 코딩 회전 노즈피스와 함께 사용할 때마다 조명 방식과 광도가 자동으로 사전 설정값으로 조절

정량적 디지털 디스플레이로 광도 값을 정확하게 제어

STM7 시리즈는 정량적 디지털 디스플레이를 사용하여 광도를 표시하므로 일관된 조명 조건에서 관찰할 수 있습니다.

정량적 디지털 디스플레이로 광도 값을 정확하게 제어

^{5배 광도 50}	^{20배 광도 70}	^{100배 광도 120}	수동 조절은 이제 그만 광도 매니저를 코딩 회전 노즈피스 구성과 함께 사용할 수 있습니다. 대물렌즈가 변경되면 코딩 회전 노즈피스가 이를 자동으로 감지합니다. 덕분에 각 대물렌즈에 조명 방식과 광도가 등록되어 대물렌즈를 바꾸면 측정 중에 조명 방식과 광도가 자동으로 조절됩니다. 이전에는 배율을 바꿀 때마다 광도를 수동으로 조절해야 했지만 이제는 그럴 필요가 없습니다.

5배 광도 50

^{5배 광도 50}

20배 광도 70

^{20배 광도 70}

100배 광도 120

^{100배 광도 120}

수동 조절은 이제 그만

광도 매니저를 코딩 회전 노즈피스 구성과 함께 사용할 수 있습니다. 대물렌즈가 변경되면 코딩 회전 노즈피스가 이를 자동으로 감지합니다. 덕분에 각 대물렌즈에 조명 방식과 광도가 등록되어 대물렌즈를 바꾸면 측정 중에 조명 방식과 광도가 자동으로 조절됩니다. 이전에는 배율을 바꿀 때마다 광도를 수동으로 조절해야 했지만 이제는 그럴 필요가 없습니다.

분리형 디지털 측정값 표시기로 측정 결과와 장비 상태를 빠르게 확인

일반적인 문제

조명 등 장비의 동작 상태나 개별 장치의 측정값을 확인해야 하므로 전반적인 작업이 번거로움

STM7 솔루션

STM7 시리즈에서는 조명 등의 현미경 상태가 측정값과 함께 표시기 표시부에 표시되므로 한눈에 확인 가능

육안으로 빠르게 상태 확인 가능 표시기에 장치 상태와 설정이 표시됩니다. 최소 X 축, Y 축, Z 축 값은 0.1μm~1μm에서 전환할 수 있고 표시 단위는 mm, μm, inch, mil 중에서 전환할 수 있습니다.	^{프레임에 부착된 디지털 측정값 표시기}

육안으로 빠르게 상태 확인 가능

표시기에 장치 상태와 설정이 표시됩니다. 최소 X 축, Y 축, Z 축 값은 0.1μm~1μm에서 전환할 수 있고 표시 단위는 mm, μm, inch, mil 중에서 전환할 수 있습니다.

프레임에 부착된 디지털 측정값 표시기

^{프레임에 부착된 디지털 측정값 표시기}

^{데스크 위에 놓인 디지털 측정값 표시기}	분리형 디지털 측정값 표시기로 개별 선호 사항에 따라 배치 가능 프레임에 부착하든 데스크에 부착하든, 개별 사용자가 원하는 대로 분리형 디지털 측정값 표시기를 배치할 수 있습니다. 선 자세로 측정할 때는 표시기를 프레임 측면에 관찰 위치와 거의 같은 높이로 배치하여 쉽게 볼 수 있습니다. 디지털카메라를 사용하여 모니터에서 관찰하거나 측정하는 경우와 같이 앉은 자세에서 작동하는 경우 또는 전동식 Z축 초점 모델을 사용하는 경우에는 디지털 측정값 표시기와 핸드 컨트롤러를 데스크 위에 그냥 놓아두면 됩니다.

데스크 위에 놓인 디지털 측정값 표시기

^{데스크 위에 놓인 디지털 측정값 표시기}

분리형 디지털 측정값 표시기로 개별 선호 사항에 따라 배치 가능

프레임에 부착하든 데스크에 부착하든, 개별 사용자가 원하는 대로 분리형 디지털 측정값 표시기를 배치할 수 있습니다. 선 자세로 측정할 때는 표시기를 프레임 측면에 관찰 위치와 거의 같은 높이로 배치하여 쉽게 볼 수 있습니다. 디지털카메라를 사용하여 모니터에서 관찰하거나 측정하는 경우와 같이 앉은 자세에서 작동하는 경우 또는 전동식 Z축 초점 모델을 사용하는 경우에는 디지털 측정값 표시기와 핸드 컨트롤러를 데스크 위에 그냥 놓아두면 됩니다.

높이 측정

더 빠르고 간단하며 정확한 높이 측정

일반적인 문제

육안으로 측정하면 서로 다른 작업자가 측정한 높이 측정값에 차이가 발생할 수 있습니다. 또한 이 측정 방법은 시간이 오래 걸리고 비효율적입니다.

STM7 솔루션

STM7 초점 내비게이션 시스템을 사용하면 높이 측정 시 작업자의 주관성이 줄어듭니다. 또한 높이를 측정하는 데 필요한 시간을 단축하여 효율성을 높입니다.

간단하고 정확하며 우수한 반복성을 보여주는 초점 조절 시스템 Olympus 초점 내비게이터는 측정 시야 내에 패턴을 투사하고 수직 편위를 식별하여 재현성이 뛰어난 높이 측정 방법을 제공합니다. 일반 육안 관찰로 높이를 측정하면 초점이 선명하게 보이더라도 약간의 오류가 발생할 수 있습니다. 그러나 초점 내비게이터를 사용하면 표시를 일치시키는 방식만으로도 측정을 수행할 수 있어 측정 결과에서 작업자의 주관성이 줄어듭니다.

간단하고 정확하며 우수한 반복성을 보여주는 초점 조절 시스템

Olympus 초점 내비게이터는 측정 시야 내에 패턴을 투사하고 수직 편위를 식별하여 재현성이 뛰어난 높이 측정 방법을 제공합니다. 일반 육안 관찰로 높이를 측정하면 초점이 선명하게 보이더라도 약간의 오류가 발생할 수 있습니다. 그러나 초점 내비게이터를 사용하면 표시를 일치시키는 방식만으로도 측정을 수행할 수 있어 측정 결과에서 작업자의 주관성이 줄어듭니다.

빠르고 매우 정확한 높이 측정을 위한 자동 초점 조절의 장점

일반적인 문제

육안 측정 중에는 작업자마다 높이 측정 결과가 다를 수 있음
수동으로 높이를 측정하려면 작업자가 반복적으로 스테이지를 이동하고 핸들로 초점을 조절해야 하므로 측정 시간이 오래 걸리고 비효율적
본딩 와이어 같은 미세한 대상에는 초점을 맞추기가 어려움

STM7 솔루션

자동 초점 조절 장치를 사용하면 작업자에 상관없이 측정값이 매우 정확
트랙 모드에서는 자동으로 그리고 지속적으로 이미지에 초점이 맞춰져 최소의 시간 내에 효율적으로 높이를 측정할 수 있습니다. 동일한 모드를 사용하면 XY 측정에 수동으로 초점을 맞출 필요가 없어 높은 효율성 달성
100배 대물렌즈를 사용하면 레이저 스폿 직경이 1μm 정도까지 작아질 수 있어 매우 미세한 대상에도 국소적으로 자동 초점을 사용 가능

전용 자동 초점 조절 장치:
뛰어난 재현성과 초점 조절 속도

STM7 자동 초점 조절 장치를 사용하면 작업자의 경험 수준에 상관없이 최소의 시간 내에 매우 정확하게 높이를 측정할 수 있습니다. 반사형 능동 공초점 방식은 표면 거칠기나 샘플 표면의 기울기에 상관없이 안정적인 초점을 제공하며, 레이저 직경이 작아 본딩 와이어 같은 미세한 대상에도 자동 초점을 사용할 수 있습니다.

원샷 모드

자동 초점 기능이 즉시 작동하여 초점이 대강 맞춰져 있다가 측정 시야 중앙에 선명하게 초점이 맞춰집니다.

트랙 모드

트랙 모드는 스테이지가 이동하더라도 샘플의 피크와 골을 추적하는 자동 초점 조절 기능을 제공하여 이미지의 초점을 계속해서 유지합니다. 이 발전된 기능 덕분에 X 및 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 관찰이 가능하여 Z축 측정의 효율성이 크게 향상됩니다.

측정 지원 시스템

복잡한 형태의 물체를 정확하고 빠르고 간단하게 측정

측정 지원 시스템 측정 현미경의 출력 디스플레이 구성 요소를 쉽고 명확하게 볼 수 있는 능력은 매우 중요합니다. Olympus 측정 소프트웨어는 복잡한 측정을 더 높은 정확도로 수행할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 디지털카메라도 사용할 수 있게 해줍니다. 측정 지원 소프트웨어에 대해 자세히 알아보기

측정 지원 시스템

측정 현미경의 출력 디스플레이 구성 요소를 쉽고 명확하게 볼 수 있는 능력은 매우 중요합니다. Olympus 측정 소프트웨어는 복잡한 측정을 더 높은 정확도로 수행할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 디지털카메라도 사용할 수 있게 해줍니다.

측정 지원 소프트웨어에 대해 자세히 알아보기

관찰과 측정의 범위를 넓혀주는 액세서리

코딩 회전 노즈피스 코딩 회전 노즈피스와 디지털카메라를 함께 사용하면 관찰하는 동안 화면에 대물렌즈 배율을 표시하고 해당 배율을 기록할 수 있습니다. 이 편리한 기능을 사용하면 샘플을 기록할 때 샘플에 대한 정보와 대물렌즈의 배율을 동시에 기록할 수 있습니다.

코딩 회전 노즈피스

코딩 회전 노즈피스와 디지털카메라를 함께 사용하면 관찰하는 동안 화면에 대물렌즈 배율을 표시하고 해당 배율을 기록할 수 있습니다. 이 편리한 기능을 사용하면 샘플을 기록할 때 샘플에 대한 정보와 대물렌즈의 배율을 동시에 기록할 수 있습니다.

	STM7-FS/ 풋 스위치 핸즈프리 데이터 전송이 가능하므로 작업자가 X 및 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 측정을 완료할 수 있습니다.

STM7-FS/ 풋 스위치

핸즈프리 데이터 전송이 가능하므로 작업자가 X 및 Y 핸들에서 손을 떼지 않고도 측정을 완료할 수 있습니다.

SZ-LW61/ 백색 LED 조명 장치 이 공간 절약형 경량 설계 모델은 작동 수명이 길고 전력 소모가 적습니다. 비용 효율적인 LED 조명 장치는 깜박임과 밝기 변동도 없습니다.

SZ-LW61/ 백색 LED 조명 장치

이 공간 절약형 경량 설계 모델은 작동 수명이 길고 전력 소모가 적습니다. 비용 효율적인 LED 조명 장치는 깜박임과 밝기 변동도 없습니다.

	SZX2-ILR66+SZX-RHS/ LED 링 조명 장치 + 수동 제어 장치 SZX-RHS 수동 제어 장치를 사용하면 SZX2-ILR66 반사 LED 링 조명 장치의 4개 세그먼트를 독립적으로 조명할 수 있어 높은 색온도로 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다. 13가지 패턴 중에서 최적의 조명을 선택할 수 있습니다.

SZX2-ILR66+SZX-RHS/ LED 링 조명 장치 + 수동 제어 장치

SZX-RHS 수동 제어 장치를 사용하면 SZX2-ILR66 반사 LED 링 조명 장치의 4개 세그먼트를 독립적으로 조명할 수 있어 높은 색온도로 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다. 13가지 패턴 중에서 최적의 조명을 선택할 수 있습니다.

회전식 스테이지 샘플을 쉽게 평행으로 정렬할 수 있습니다.	_STM7-RS100 ^{(STM7-CS100용) 100mm x 100mm 스테이지}	_STM7-RS200 ^{(STM7-CS200용) 200mm x 200mm 스테이지}	_STM7-RS300 ^{(STM7-CS300용) 300mm x 300mm 스테이지}

회전식 스테이지

샘플을 쉽게 평행으로 정렬할 수 있습니다.

STM7-RS100(STM7-CS100용)

_STM7-RS100
^{(STM7-CS100용)

100mm x 100mm 스테이지}

STM7-RS200(STM7-CS200용)

_STM7-RS200
^{(STM7-CS200용)

200mm x 200mm 스테이지}

STM7-RS300(STM7-CS300용)

_STM7-RS300
^{(STM7-CS300용)

300mm x 300mm 스테이지}

사양

STM7 사양(수동 모델)

			수동 모델
			작은 스테이지	중간 스테이지	큰 스테이지
현미경 본체			STM7-SF	STM7-MF	STM7-LF
	초점	수직 이동 범위	175mm		145mm
		최대 측정 가능 높이	120mm(측정 대물렌즈 포함) 175mm(금속 대물렌즈 포함)		90mm(측정 대물렌즈 포함) 145mm(금속 대물렌즈 포함)^*1
		Z축 측정 해상도	0.1um
		Z축 구동 방식	수동 동축 미동/조동 초점 조절 손잡이
	조명	LED 조명	백색: 반사광 조명용, 녹색: 투과광 조명용
관찰용 경통			MM6-ETR 정립상 삼안 경통(100:0/0:100)
접안렌즈(시야수 22)			MM6-OCC10X(십자선 포함), MM6-OC10X
대물렌즈	BF(명시야)		MM6C-KMAS 조명
			U-5RES-ESD 노즈피스
			MPLFL5X, 10X, LMPLFLN20X, 50X, 100X 금속 대물렌즈
	BF(명시야)/DF(암시야)		MM6C-RLAS 조명
			U-D5BDRES-ESD 노즈피스
			LMPLFLN5XBD, 10XBD, 20XBD, 50XBD, 100XBD 금속 대물렌즈
LED 장치	흰색(반사)		MM6-ILW
	녹색(투과)		MM6-ILG
스테이지			STM7-CS100	STM7-CS200	STM7-CS300
	측정 범위		X축 100mm, Y축 100mm	X축 200mm, Y축 200mm	X축 300mm, Y축 300mm
	측정 정확도 (L: 측정 길이)		(3+2L/100)μm	(3+4L/200)μm	(3+6L/300)μm
	정확도 보증 무게		6kg	10kg	15kg
카운터			STM7-DI
	축의 수		3
	단위		μm / mm / inch / mil
	최소 해상도		0.1um
	컨트롤 박스		STM7-CB
	핸드 스위치		STM7-HS
	초점 컨트롤러		－
	인터페이스 케이블		－
방진 플레이트			－	STM7-VI
전원 케이블			UYCP
치수(W x D x H) mm			466 x 583 x 651	606 x 762 x 651	804 x 1024 x 686
무게(kg)			84kg	152kg	277kg
전력 소비			100~120/220~240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A	100~120/220~240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A	100~120/220~240V - 50/60Hz 0.3A/0.2A

_{*1 대형 프레임 STM7-LF/STM7-LFA를 사용하는 경우, 높이가 100mm 이하인 표본을 광 축에서 180mm 이상 후방 위치에 배치할 수 있습니다.}

대물렌즈 작동 거리

대물렌즈			1배	3배	5배	10배	20배	50배	100배
측정 대물렌즈	MM6-OB 시리즈		59.6	76.8	65.4	50.5	－	－	－
금속 대물렌즈	MPLFLN 시리즈	명시야	－	－	20.0	11.0	3.1	1.0	1.0
	LMPLFLN 시리즈	긴 작동 거리	－	－	22.5	21.0	12.0	10.6	3.4
	MPLFLN-BD 시리즈	명시야/암시야	－	－	12.0	6.5	3.0	1.0	1.0
	LMPLFLN-BD 시리즈	명시야/암시야, 긴 작동 거리	－	－	15.0	10.0	12.0	10.6	3.3

STM7-BSW 시스템 요구 사항

품목
CPU	STM7-CU 카메라의 경우 Intel Core i3 프로세서 3GHz 이상, DP23/DP28 카메라의 경우 Intel Core i5 이상이 필요함
메모리	STM7-CU 카메라의 경우 4GB 이상, DP23/DP28 카메라의 경우 8GB가 필요하고 16GB가 권장됨
사용 가능한 HD 공간	설치를 위해 100GB 이상의 하드 디스크 공간이 필요하며 고속 이미지 인식을 위해 SSD 하드 디스크가 권장됨
그래픽 카드	1980 x 1080 해상도 및 32비트 컬러를 사용할 수 있는 그래픽 카드
드라이브	DVD 드라이브
PC 입력 장치	2버튼 마우스(휠이 있는 3버튼 마우스 권장), 키보드
운영 체제	Microsoft Windows 10 Pro/Pro for Workstations(64비트)
웹 브라우저	Internet Explorer 11

_{* Microsoft Office 32비트 및 64비트 2013/2016/2019/2021/365(SAC)도 지원됩니다.}

STM7 사양(전동 모델)

			전동 모델
			중간 스테이지	큰 스테이지
현미경 본체			STM7-MFA	STM7-LFA
	초점	수직 이동 범위	175mm	145mm
		최대 측정 가능 높이	120mm(측정 대물렌즈 포함) 175mm(금속 대물렌즈 포함)	90mm(측정 대물렌즈 포함) 145mm(금속 대물렌즈 포함)^*1
		Z축 측정 해상도	0.1um
		Z축 구동 방식	전동 초점 버튼: 거친 이동 속도 8mm/초(최대) 미동/조동 초점 조절 손잡이: 미세 초점 조절 속도는 4가지 값(800μm, 400μm, 100μm, 50μm) 중에서 선택 가능
	조명	LED 조명	백색: 반사광 조명용, 녹색: 투과광 조명용
관찰용 경통			MM6-ETR 정립상 삼안 경통(100:0/0:100)
접안렌즈(시야수 22)			MM6-OCC10X(십자선 포함), MM6-OC10X
대물렌즈	BF(명시야)		MM6C-KMAS 조명
			U-5RES-ESD 노즈피스
			MPLFL5X, 10X, LMPLFLN20X, 50X, 100X 금속 대물렌즈
	BF(명시야)/DF(암시야)		MM6C-RLAS 조명
			U-D5BDRES-ESD 노즈피스
			LMPLFLN5XBD, 10XBD, 20XBD, 50XBD, 100XBD 금속 대물렌즈
LED 장치	흰색(반사)		MM6-ILW
	녹색(투과)		MM6-ILG
스테이지			STM7-CS200	STM7-CS300
	측정 범위		X축 200mm, Y축 200mm	X축 300mm, Y축 300mm
	측정 정확도 (L: 측정 길이)		(3+4L/200)μm	(3+6L/300)μm
	정확도 보증 무게		10kg	15kg
카운터			STM7-DI
	축의 수		3
	단위		μm / mm / inch / mil
	최소 해상도		0.1um
	컨트롤 박스		STM7-CBA
	핸드 스위치		－
	초점 컨트롤러		STM7-MCZ
	인터페이스 케이블		U-IFCBL200	U-IFCBL200
방진 플레이트			STM7-VI
전원 케이블			UYCP
치수(W x D x H) mm			606 x 762 x 811	804 x 1024 x 844
무게(kg)			159kg	284kg
전력 소비			00~120/220~240V 50/60Hz 0.6A/0.35A	100~120/220~240V 50/60Hz 0.6A/0.35A

_{*1 대형 프레임 STM7-LF/STM7-LFA를 사용하는 경우, 높이가 100mm 이하인 표본을 광 축에서 180mm 이상 후방 위치에 배치할 수 있습니다.}

옵션

대물렌즈	측정 대물렌즈	MM6-OB 시리즈 (1배/3배/5배/10배)
초점 내비게이터	초점 내비게이터 장치	STM7-FN
초점 내비게이터	녹색 LED 장치	MM6-ILG
자동 초점	자동 초점 조절 장치	STM7-AF
미분간섭(DIC)	반사광용 U-DICR DIC 슬라이더	U-DICR
소프트웨어/카메라^*1	측정 지원 소프트웨어	STM7-BSW
카메라	디지털카메라 낮음	STM7-CU
	디지털카메라 중간	DP23-CU
	디지털카메라 높음	DP28-CU
TV 어댑터	0.5배 렌즈가 있는 C-마운트 카메라 포트 경통	U-TV0.5XC-3
TV 어댑터	0.35배 렌즈가 있는 C-마운트 카메라 포트 경통	U-TV0.35XC-2
회전식 스테이지	100 x 100mm용	STM7-RS100
	200 x 200mm용	STM7-RS200
	300 x 300mm용	STM7-RS300
ND 필터	ND 필터(투과율 6%)	U-25ND6
ND 필터	ND 필터(투과율 25%)	U-25ND25
미분간섭(DIC)	DIC/편광판	U-PO3
미분간섭(DIC)	DIC/분석기	U-AN360-3
소프트웨어	MIA, EFI 옵션 소프트웨어	STM7-ASW-ME
풋 스위치		STM7-FS
전원 공급 장치		MM6-ILPS-2
스테이지 마이크로미터		OB-M/OB-MM