AL120 웨이퍼 로더 시리즈는 실리콘과 화합물 반도체 웨이퍼를 카세트에서 현미경 스테이지로 빠르고 안전하게 이송합니다.제품 처리량을 늘릴 수 있도록 설계된 웨이퍼 핸들러는 신뢰성 있는 웨이퍼 검사 솔루션을 위해 MX63 반도체 현미경과 결합합니다.
다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수 있는 능력이 웨이퍼 제조 시설 확장의 핵심입니다.AL120 시리즈는 웨이퍼 직경을 기준으로 200mm 모델, 150mm/200mm 컨버터블 모델, 150mm 이하 크기의 웨이퍼를 위한 150mm 모델 등 세 가지 모델로 구성됩니다.각 시스템은 웨이퍼 이송과 현미경 검사용으로 설계되었습니다.모든 웨이퍼 크기에 대해 상부와 후면 매크로 검사도 가능합니다.
웨이퍼 크기 및 두께
박형 웨이퍼 제조업체의 요구 사항을 충족하기 위해 AL120-LMB-90 모델의 암 설계는 90µm 웨이퍼의 전체 카세트를 처리할 수 있습니다.
![]() 360도 회전 기능으로 매크로 검사(시뮬레이션) |
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AL120 설계에는 웨이퍼 안전을 극대화하는 고급 기능이 포함되어 있습니다.3센서 시스템은 안전하고 적절한 웨이퍼 검색, 이송, 로딩, 언로딩을 위해 웨이퍼 위치를 지속적으로 모니터링합니다.이러한 기능은 둘 이상의 웨이퍼를 슬롯에 로드하고 우발적인 교차 슬롯 픽업으로 인한 손상을 방지합니다.
AL120 웨이퍼 로더는 명시야, 암시야, 차등 간섭 대비(DIC), 근적외선(NIR)을 포함한 다양한 관찰 방법에서 뛰어난 이미지 해상도와 선명도를 제공하는 MX™ 시리즈의 전용 웨이퍼 검사 현미경과 연결됩니다.전동식 대물렌즈 터렛과 구경 조리개는 서로 연동되어 각 대물렌즈에 대한 최적의 조명과 대비를 실현합니다.웨이퍼 핸들러는 특별 주문에 따라 다른 현미경 모델에도 적용할 수 있습니다.
* 전동 스테이지는 일부 지역에서 제공되지 않을 수 있습니다.
AL120 웨이퍼 로더 사양*1 | ||||||||
200mm 유형 | 200mm/150mm 컨버터블 유형 | 150mm 유형 | ||||||
AL120-
LMB8- 90 |
AL120-
LMB86- 180 |
AL120-
LMB8 |
AL120-
LMB6- 150 |
AL120-
L6- 150 | ||||
웨이퍼 크기(SEMI 표준) | 200mm | 200mm/150mm |
150mm/
125mm/ 100mm | |||||
최소 웨이퍼 두께 | 90µm | 180µm | 400µm | 150µm | ||||
카세트 유형 | SEMI 표준25(26) 슬롯 | |||||||
카세트 수 | 1 | |||||||
검사 레시피 | 전체/샘플링 | |||||||
검사 순서 | 마이크로(현미경) | 예 | 예 | 예 | 예 | 예 | ||
상부 매크로 | 예 | 예 | 예 | 예 | ||||
후면 매크로 | 예 | 예 | 예 | 예 | ||||
2차후면 매크로 | 예 | 예 | 예 | 예 | ||||
웨이퍼 방향(90°마다) | 비접촉(O.F./노치) | 비접촉(O.F.) | ||||||
호환 현미경 모델 | 반도체 및 평판 디스플레이용 MX63 검사 현미경 | |||||||
규격(mm) | 640(W) x 620(D) x 378(H) 본체만, 1,100(W) x 620(D) x 378(H) 현미경 포함 | 570(W) x 620(D) x 401(H) 본체만, 983(W) x 620(D) x 401(H) 현미경 포함 | ||||||
중량(kg)(본체만) | 44 | 44 | 44 | 40 | 37 | |||
유틸리티(소비 전력/진공) | AC100V~120V, 1A 또는 AC 220V~240V, 0.5A 50/60Hz, -67~-80kPa, 20리터/분 이상 |
*1 모든 유형의 웨이퍼는 사전에 테스트해야 합니다. 현지 Evident 지사에 문의하십시오.
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