AL120 웨이퍼 로더 시리즈는 실리콘과 화합물 반도체 웨이퍼를 카세트에서 현미경 스테이지로 빠르고 안전하게 이송합니다.제품 처리량을 늘릴 수 있도록 설계된 웨이퍼 핸들러는 신뢰성 있는 웨이퍼 검사 솔루션을 위해 MX63 반도체 현미경과 결합합니다.

정확성과 유연성

웨이퍼 취급과 검사를 위해 다양한 웨이퍼 크기 수용

다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수 있는 능력이 웨이퍼 제조 시설 확장의 핵심입니다.AL120 시리즈는 웨이퍼 직경을 기준으로 200mm 모델, 150mm/200mm 컨버터블 모델, 150mm 이하 크기의 웨이퍼를 위한 150mm 모델 등 세 가지 모델로 구성됩니다.각 시스템은 웨이퍼 이송과 현미경 검사용으로 설계되었습니다.모든 웨이퍼 크기에 대해 상부와 후면 매크로 검사도 가능합니다.

웨이퍼 크기 및 두께

박형 웨이퍼 취급 및 검사 지원

박형 웨이퍼 제조업체의 요구 사항을 충족하기 위해 AL120-LMB-90 모델의 암 설계는 90µm 웨이퍼의 전체 카세트를 처리할 수 있습니다.

기능성

반도체 웨이퍼의 향상된 매크로 검사

360도 회전 기능으로 매크로 검사(시뮬레이션)

360도 자동 회전 기능으로 웨이퍼의 상부와 후면에 대한 완벽한 매크로 검사를 수행하여 결함과 입자를 쉽게 식별할 수 있습니다. 내장형 조이스틱은 상부 매크로 검사 중에 웨이퍼의 기울기를 제어합니다.작업자는 웨이퍼의 각도를 조정하여 검사 결과를 최적화할 수 있습니다.

간편한 웨이퍼 취급

• AL120 웨이퍼 로더는 다양한 검사 루틴의 요구 사항을 충족하기 위해 특정 카세트 유형, 웨이퍼 사양, 이송 속도를 포함하여 10가지의 프로그래밍 가능한 시스템 구성으로 구동되는 레시피입니다.빠른 푸시 버튼을 선택하면 다른 제품을 즉시 로드할 수 있습니다.
• 웨이퍼 핸들러 매개변수와 레시피 설정은 LCD 디스플레이에서 볼 수 있습니다.작업자는 검사 전후에 루틴과 결과를 확인할 수 있습니다.
• AL120 웨이퍼 로더는 비접촉식 광학 센터링과 노치/플랫 감지와 정렬을 제공합니다.이러한 기능은 웨이퍼와 장비 간의 접촉을 줄여 웨이퍼 청결도를 향상시킵니다.

신뢰성

웨이퍼 이송 프로세스 전반에 걸쳐 웨이퍼 안전성 극대화

AL120 설계에는 웨이퍼 안전을 극대화하는 고급 기능이 포함되어 있습니다.3센서 시스템은 안전하고 적절한 웨이퍼 검색, 이송, 로딩, 언로딩을 위해 웨이퍼 위치를 지속적으로 모니터링합니다.이러한 기능은 둘 이상의 웨이퍼를 슬롯에 로드하고 우발적인 교차 슬롯 픽업으로 인한 손상을 방지합니다.

반도체 웨이퍼 관찰을 위한 신뢰할 수 있는 현미경 플랫폼

AL120 웨이퍼 로더는 명시야, 암시야, 차등 간섭 대비(DIC), 근적외선(NIR)을 포함한 다양한 관찰 방법에서 뛰어난 이미지 해상도와 선명도를 제공하는 MX™ 시리즈의 전용 웨이퍼 검사 현미경과 연결됩니다.전동식 대물렌즈 터렛과 구경 조리개는 서로 연동되어 각 대물렌즈에 대한 최적의 조명과 대비를 실현합니다.웨이퍼 핸들러는 특별 주문에 따라 다른 현미경 모델에도 적용할 수 있습니다.

작업자의 편안함과 작업 효율성을 위한 인체공학적 스테이지 옵션

• 퀵 릴리스 수동 진공 스테이지는 작업자의 편안함과 효율성을 최적화합니다.X-Y 제어와 웨이퍼 회전이 표준입니다.
• 검사 프로세스를 더욱 자동화하는 전동식 스테이지*는 조이스틱 또는 사전 프로그래밍된 루틴을 통해 제어할 수 있습니다.하나의 푸시 버튼으로 로드/언로드 위치와 홈 위치 간에 스테이지를 구동합니다.

* 전동 스테이지는 일부 지역에서 제공되지 않을 수 있습니다.

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