AL120-12는 웨이퍼 검사를 손쉽고 효율적으로 하기 위한 장비로, FOUP와 FOSB 타입 모두 사용가능하며 마지막 공정 검사에 알맞는 가격대비 높은 효율성을 지닌 장비입니다. 인체공학적인 디자인과 편리성은 오퍼레이터들이 웨이퍼를 교체할 때 안전하고 편리하게 사용할 수 있으며, 휘거나 얇은 웨이퍼도 대응이 가능합니다.

동작하기 쉽고 인체공학적인 디자인

• 사용자의 의도에 따라 post-process 검사를 할 수 있으며, 특히 인체공학적이고 사용하기 쉽도록 중점을 두어 설계하였습니다.AL120 - 12 시스템은 top 매크로와 back 매크로 및 현미경 검사를 할 수 있습니다.
• 로봇 진공 pick-up arm 은 현미경 스테이지에서 정확한 배치를 위해 비접촉하여 웨이퍼의 센터링 작업을 수행합니다. 웨이퍼는 현미경 검사를하는 동안 360도 회전할 수 있습니다.
• AL120-12는 우수한 해상도와 정밀도를 갖는 고품질의 광학 영상을 제공하는 OLYMPUS MX61L현미경과 호환됩니다.
• 중앙에 위치한 컨트롤러와 보드위의 매크로 조명장치는 사용자가 오랜 시간 검사하는 동안에도 인체공학적이고 편안한 자세를 유지할 수 있게 합니다.

강력하고 신뢰성 있는 안전 처리

• OLYMPUS AL120-12에서도 웨이퍼 처리에서 입증된 전문성을 갖추고 있습니다. 그 강력하고 신뢰할 수있는 설계는 웨이퍼 무결성을 유지하고 300mm 웨이퍼에 대한 안전 처리를 보장합니다.
• 얇고 뒤틀리는 웨이퍼도 안전하게 AL120 - 12 핸들러를 사용하여 전송할 수 있습니다