개요

단순화된 고급 현미경 모듈성을 염두에 두고 설계된 BX3M 시리즈는 다양한 재료 과학과 산업 분야에 여러 기능을 제공합니다. BX53M은 PRECiV 소프트웨어와의 향상된 통합으로 표준 현미경 및 디지털 이미징 사용자에게 관찰부터 보고서 생성까지 원활한 워크플로를 제공합니다. BX53M 경험하기

단순화된 고급 현미경

모듈성을 염두에 두고 설계된 BX3M 시리즈는 다양한 재료 과학과 산업 분야에 여러 기능을 제공합니다. BX53M은 PRECiV 소프트웨어와의 향상된 통합으로 표준 현미경 및 디지털 이미징 사용자에게 관찰부터 보고서 생성까지 원활한 워크플로를 제공합니다.

	최고의 모델 선택 제안된 6가지 BX53M 구성을 통해 필요한 기능을 유연하게 선택할 수 있습니다. 일반 사용: 입문용, 표준, 고급 전용 사용: 형광, 적외선, 편광 사용자의 요구 사항을 충족하는 다양한 구성 모듈식 설계: 사용자가 원하는 방식으로 시스템 구축 자세히 보기

최고의 모델 선택

제안된 6가지 BX53M 구성을 통해 필요한 기능을 유연하게 선택할 수 있습니다.

일반 사용: 입문용, 표준, 고급
전용 사용: 형광, 적외선, 편광
사용자의 요구 사항을 충족하는 다양한 구성
모듈식 설계: 사용자가 원하는 방식으로 시스템 구축

편안함과 사용 용이성 BX53M은 잘 설계되고 사용하기 쉬운 제어 방식을 통해 복잡한 현미경 관찰 작업을 단순화합니다. 사용자는 많은 교육 없이도 이 현미경을 최대한 활용할 수 있습니다. 또한 BX53M의 쉽고 편안한 작동은 인적 오류를 최소화하여 재현성을 향상시킵니다. 단순 조명 장치 직관적 현미경 제어 빠르게 초점 찾기 일관된 조명 쉽고 인체공학적인 작동 현미경 설정을 쉽게 복원 기본 측정 기능 자세히 보기

편안함과 사용 용이성

BX53M은 잘 설계되고 사용하기 쉬운 제어 방식을 통해 복잡한 현미경 관찰 작업을 단순화합니다. 사용자는 많은 교육 없이도 이 현미경을 최대한 활용할 수 있습니다. 또한 BX53M의 쉽고 편안한 작동은 인적 오류를 최소화하여 재현성을 향상시킵니다.

단순 조명 장치
직관적 현미경 제어
빠르게 초점 찾기
일관된 조명
쉽고 인체공학적인 작동
현미경 설정을 쉽게 복원
기본 측정 기능

	기능 BX53M은 명시야, 암시야, 편광, 미분 간섭 대비 등 기존 현미경의 기존 대비 방법을 유지합니다. 새로운 재료가 개발되면서 표준 대비 방법을 사용하여 결함을 감지하는 것과 관련된 많은 어려움이 발생하는데, 고급 현미경 관찰 기술을 통해 보다 정확하고 신뢰할 수 있는 검사를 하면 이러한 어려움을 해결할 수 있습니다. PRECiV 이미지 분석 소프트웨어 내의 이미지 인식을 위한 새로운 조명 기법과 옵션 덕분에 사용자는 샘플을 평가하고 결과를 문서화하는 방법에 대한 더 많은 선택지를 얻습니다. 올인포커스 이미지 생성 파노라마 이미지를 위한 손쉬운 스테이지 이동 밝은 영역과 어두운 영역 모두 캡처 관찰 및 분석 기본 설정에 맞게 조절 가능 광범위한 샘플 수용 자세히 보기

기능

BX53M은 명시야, 암시야, 편광, 미분 간섭 대비 등 기존 현미경의 기존 대비 방법을 유지합니다. 새로운 재료가 개발되면서 표준 대비 방법을 사용하여 결함을 감지하는 것과 관련된 많은 어려움이 발생하는데, 고급 현미경 관찰 기술을 통해 보다 정확하고 신뢰할 수 있는 검사를 하면 이러한 어려움을 해결할 수 있습니다. PRECiV 이미지 분석 소프트웨어 내의 이미지 인식을 위한 새로운 조명 기법과 옵션 덕분에 사용자는 샘플을 평가하고 결과를 문서화하는 방법에 대한 더 많은 선택지를 얻습니다.

올인포커스 이미지 생성
파노라마 이미지를 위한 손쉬운 스테이지 이동
밝은 영역과 어두운 영역 모두 캡처
관찰 및 분석 기본 설정에 맞게 조절 가능
광범위한 샘플 수용

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첨단 광학

고품질 광학 장치를 개발해 온 Evident의 역사는 탁월한 측정 정확도를 제공하는 현미경과 입증된 광학 품질이라는 성과를 남겼습니다.

우수한 광학 성능
일관된 색온도 및 고휘도 백색 LED 조명
정밀한 측정 지원
원활한 스티칭

자세히 보기

_{Wave Front 수차 제어}

_{좋지 않은 Wave Front}

_{좋은 Wave Front(UIS2 대물렌즈)}

구성

신뢰성이 뛰어난 모듈식 시스템

제안된 6가지 BX53M 구성을 통해 필요한 기능을 유연하게 선택할 수 있습니다.

일반 사용			전용 사용

입문용 설정이 쉬우며 기본 기능 탑재	표준 사용이 간편하며 다양한 업그레이드 가능	고급 다양한 고급 기능 지원	형광 형광 관찰에 매우 적합	적외선 적외선 관찰을 사용하여 집적 회로를 검사하도록 설계됨	편광 복굴절 특성을 관찰하도록 설계됨
_{LCD 컬러 필터} ^(투과/BF)	_{페라이트 결정립이 있는} _{미세 구조} ^(반사/DF)	_{코일의 구리 선} ^{(BF + DF/MIX)}	_{IC 패턴에 저항} ^{(FL + DF/MIX)}	_{실리콘 적층 IC 패턴} ^(IR)	_석면 ^(POL)

사양 차트 참조

	입문용	표준	고급	형광	적외선	편광
현미경 프레임	반사 또는 반사/투과		반사 또는 반사/투과		반사	투과
표준	R-BF 또는 T-BF	R-BF 또는 T-BF 또는 DF	R-BF 또는 T-BF 또는 DF 또는 MIX	R-BF 또는 T-BF 또는 DF 또는 FL	R-BF 또는 IR	T-BF 또는 POL
옵션	DIC	DIC/MIX	DIC	DIC/MIX	－	－
단순 조명 장치	－			－	－	－
조리개 범례	－				－
코딩된 하드웨어	－				－
포커스 스케일 인덱스
광도 관리자				－	－
핸드 스위치 작동					－	－
MIX 관찰					－	－
대물렌즈	응용 분야에 따라 3가지 대물렌즈 중에서 선택		응용 분야에 따라 3가지 대물렌즈 중에서 선택		IR용 대물렌즈	POL용 대물렌즈
스테이지	샘플 크기에 따라 5가지 스테이지 중에서 선택		샘플 크기에 따라 5가지 스테이지 중에서 선택			POL용 스테이지

관찰 방법

R-BF: 명시야(반사됨)
T-BF: 명시야(반사/투과)
DF: 암시야
DIC: 미분 간섭 대비/단순 편광
MIX: MIX
FL: 형광
IR: 적외선
POL: 편광

_{*T-BF는 반사/투과 현미경 프레임을 선택할 때 사용할 수 있습니다.}

: 표준
: 옵션

재료 과학 분야를 위한 구성 예

모듈식 설계를 통해 다양한 구성으로 사용자의 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
아래에서 재료 과학 분야를 위한 구성 예 몇 가지를 찾을 수 있습니다.

BX53M 반사광 및 반사광/투과광 조합 BX3M 시리즈에는 두 가지 유형의 현미경 프레임이 있는데, 하나는 반사광 전용이고 다른 하나는 반사광 및 투과광용입니다. 두 프레임 모두 수동, 코딩 또는 전동식 구성 요소로 구성할 수 있습니다. 프레임에는 전자 샘플을 보호하기 위한 ESD 기능이 장착되어 있습니다.	_{BX53MRF-S 구성 예시}	_{BX53MTRF-S 구성 예시}

BX53M 반사광 및 반사광/투과광 조합

BX3M 시리즈에는 두 가지 유형의 현미경 프레임이 있는데, 하나는 반사광 전용이고 다른 하나는 반사광 및 투과광용입니다. 두 프레임 모두 수동, 코딩 또는 전동식 구성 요소로 구성할 수 있습니다. 프레임에는 전자 샘플을 보호하기 위한 ESD 기능이 장착되어 있습니다.

BX53MRF-S 구성 예시

_{BX53MRF-S 구성 예시}

BX53MTRF-S 구성 예시

_{BX53MTRF-S 구성 예시}

	BX53M IR 조합 IR 대물렌즈는 패턴을 보기 위해 실리콘을 통한 이미징이 필요한 반도체 검사, 측정 및 처리 분야에 사용할 수 있습니다. 가시광선 파장에서 근적외선까지 색수차 보정 기능이 있는 5배~100배 IR(적외선) 대물렌즈를 사용할 수 있습니다. 고배율 작업의 경우 LCPLNIR 시리즈 렌즈의 보정환을 회전하여 샘플 두께로 인한 수차를 보정합니다. 단일 대물렌즈로 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다. IR 대물렌즈에 대한 자세한 내용을 보려면 여기를 클릭

BX53M IR 조합

IR 대물렌즈는 패턴을 보기 위해 실리콘을 통한 이미징이 필요한 반도체 검사, 측정 및 처리 분야에 사용할 수 있습니다. 가시광선 파장에서 근적외선까지 색수차 보정 기능이 있는 5배~100배 IR(적외선) 대물렌즈를 사용할 수 있습니다. 고배율 작업의 경우 LCPLNIR 시리즈 렌즈의 보정환을 회전하여 샘플 두께로 인한 수차를 보정합니다. 단일 대물렌즈로 선명한 이미지를 얻을 수 있습니다.

IR 대물렌즈에 대한 자세한 내용을 보려면 여기를 클릭

BX53M 편광 조합 BX53M 편광 광학 장치는 지질학자에게 고대비 편광 이미징에 적합한 도구가 됩니다. 광물 식별, 결정체의 광학적 특성 조사, 단단한 암석 단면 관찰 등의 분야에서 시스템 안정성과 정밀한 광학적 정렬의 이점을 얻을 수 있습니다.	_{BX53-P 오소스코픽 구성}	_{BX53-P 코노스코픽/오소스코픽 구성}

BX53M 편광 조합

BX53M 편광 광학 장치는 지질학자에게 고대비 편광 이미징에 적합한 도구가 됩니다. 광물 식별, 결정체의 광학적 특성 조사, 단단한 암석 단면 관찰 등의 분야에서 시스템 안정성과 정밀한 광학적 정렬의 이점을 얻을 수 있습니다.

BX53-P 오소스코픽 구성

_{BX53-P 오소스코픽 구성}

BX53-P 코노스코픽/오소스코픽 구성

_{BX53-P 코노스코픽/오소스코픽 구성}

코노스코픽 및 오소스코픽 관찰을 위한 버트랜드 렌즈 U-CPA 코노스코픽 관찰 장치를 부착하면 오소스코픽(orthoscopic)과 코노스코픽(conoscopic) 관찰 사이의 전환이 쉽고 빠릅니다. 선명한 후면 초점면 간섭 패턴에 초점을 맞출 수 있습니다. 버트랜드 시야 조리개로 선명하고 일정한 코노스코픽 이미지를 얻을 수 있습니다.

코노스코픽 및 오소스코픽 관찰을 위한 버트랜드 렌즈

U-CPA 코노스코픽 관찰 장치를 부착하면 오소스코픽(orthoscopic)과 코노스코픽(conoscopic) 관찰 사이의 전환이 쉽고 빠릅니다. 선명한 후면 초점면 간섭 패턴에 초점을 맞출 수 있습니다. 버트랜드 시야 조리개로 선명하고 일정한 코노스코픽 이미지를 얻을 수 있습니다.

	광범위한 보정기 및 파장판 5가지 다른 보정기를 사용하여 암석 및 광물 박편의 복굴절을 측정할 수 있습니다. 측정 지연 수준 범위는 0~20λ입니다. 더 쉬운 측정과 높은 이미지 대비를 위해 Berek 및 Senarmont 보정기를 사용할 수 있으며, 이렇게 되면 전체 관측 시야에서 지연 수준이 변경됩니다.

광범위한 보정기 및 파장판

5가지 다른 보정기를 사용하여 암석 및 광물 박편의 복굴절을 측정할 수 있습니다. 측정 지연 수준 범위는 0~20λ입니다. 더 쉬운 측정과 높은 이미지 대비를 위해 Berek 및 Senarmont 보정기를 사용할 수 있으며, 이렇게 되면 전체 관측 시야에서 지연 수준이 변경됩니다.

보정기의 측정 범위

보정기	측정 범위	주요 응용 분야
Thick Berek(U-CTB)	0~11,000nm (20λ)	높은 지연 수준 측정(R^*>3λ) (결정체, 고분자, 섬유 등)
Berek(U-CBE)	0~1,640nm (3λ)	지연 수준 측정 (결정체, 고분자, 생물체 등)
Senarmont 보정기(U-CSE)	0~546nm (1λ)	지연 수준 측정(결정체, 생물체 등) 이미지 대비 향상(생물체 등)
Brace-Koehler 보정기 1/30λ(U-CBE2)	0~20nm (1/30λ)	이미지 대비 측정(생물체 등)
Quartz Wedge(U-CWE2)	500~2,200nm (4λ)	지연 수준의 대략적인 측정 (결정체, 고분자 등)

_{*R = 지연 수준}
_{보다 정확한 측정을 위해 간섭 필터 45-IF546과 함께 보정기(U-CWE2 제외)를 사용하는 것이 좋습니다.}

스트레인-프리 광학 장치

Evident의 정교한 설계와 제조 기술 덕분에 UPLFLN-P 스트레인-프리 대물렌즈는 내부 스트레인을 최소화합니다. 즉, EF 값이 높을수록 이미지 대비가 우수합니다.

UPLFLN-P 대물렌즈에 대한 자세한 내용을 보려면 여기를 클릭

PLN-P/ACHN-P 대물렌즈에 대한 자세한 내용을 보려면 여기를 클릭

	BXFM 시스템 BXFM은 특수 분야에 적용하거나 다른 기기에 통합할 수 있습니다. 모듈식 구조 덕분에 다양한 특수 소형 조명 장치 및 고정 마운트를 사용하여 고유의 환경 및 구성에 간단하게 적용할 수 있습니다.

BXFM 시스템

BXFM은 특수 분야에 적용하거나 다른 기기에 통합할 수 있습니다. 모듈식 구조 덕분에 다양한 특수 소형 조명 장치 및 고정 마운트를 사용하여 고유의 환경 및 구성에 간단하게 적용할 수 있습니다.

모듈식 설계, 사용자가 원하는 방식으로 시스템 구축

현미경 프레임

반사광을 위한 두 개의 현미경 프레임이 있는데 하나는 빛을 투과하는 기능도 있습니다. 어댑터는 조명 장치를 들어 올릴 수 있어 더 큰 샘플을 수용할 수 있습니다.

		반사광	투과광	샘플 높이
1	BX53MRF-S	■	－	0~65mm
2	BX53MTRF-S	■	■	0~35 mm
1, 3	BX53MRF-S + BX3M-ARMAD	■	－	40~105 mm
2, 3	BX53MTRF-S + BX3M-ARMAD	■	■	40~75 mm

현미경 사용을 위한 편리한 액세서리

－	HP-2	핸드 프레스
－	COVER-018	먼지 덮개

현미경 프레임

스탠드

샘플이 스테이지에 맞지 않는 현미경 관찰 분야의 경우, 조명 장치와 광학 장치를 더 큰 스탠드나 다른 장비에 장착할 수 있습니다.

BXFM + BX53M 조명 장치 구성

1	BXFM-F	프레임 인터페이스는 벽에 장착되는 32mm 기둥
2	BX3M-ILH	조명 장치 홀더
3	BXFM-ILHSPU	BXFM용 카운터 스프링
5	SZ-STL	대형 스탠드

BXFM + U-KMAS 조명 장치 구성

1	BXFM-F	프레임 인터페이스는 벽에 장착되는 32mm 기둥
4	BXFM-ILHS	U-KMAS 홀더
5	SZ-STL	대형 스탠드

스탠드

경통

접안렌즈를 사용한 현미경 이미징이나 카메라 관찰의 경우, 관찰하는 동안의 작업자 자세와 이미징 유형에 따라 경통을 선택하세요.

		시야수	유형	각도 유형	이미지	디옵터 조절 메커니즘의 수
1	U-TR30-2	22	삼안	고정	반전	1
2	U-TR30IR	22	IR용 삼안	고정	반전	1
3	U-ETR-4	22	삼안	고정	정립	－
4	U-TTR-2	22	삼안	틸팅	반전	－
5	U-SWTR-3	26.5	삼안	고정	반전	－
6	U-SWETTR-5	26.5	삼안	틸팅	정립	－
7	U-TLU	22	단일 포트	－	－	－
8	U-SWATLU	26.5	단일 포트	－	－	－

조명 장치

조명 장치는 선택한 관찰 방법에 따라 샘플에 조명을 비춥니다. 소프트웨어는 코딩된 조명 장치와 연결되어 큐브 위치를 읽고 자동으로 관찰 방법을 인식합니다.

		코딩된 기능	광원	BF	DF	DIC	POL	IR	FL	MIX	AS/FS
1	BX3M-RLAS-S	고정된 큐브 위치 3곳	LED - 내장	■	■	■	■	－	－	■	■
2	BX3M-URAS-S	부착 가능한 큐브 위치 4곳	LED	■	■	■	■	－	－	■	■
			할로겐	■	■	■	■	■	－	■	■
			수은/라이트 가이드	■	■	■	■	－	■	■	■
3	BX3M-RLA-S		LED	■	■	■	■	－	－	■	■
3	BX3M-RLA-S		할로겐	■	■	■	■	■	－	■	■
4	BX3M-KMA-S		LED - 내장	■	－	■	■	－	－	■	－
5	BX3-ARM	투과광용 기계식 암
6	U-KMAS		LED	■	－	■	■	－	－	■	－
6	U-KMAS		할로겐	■	－	■	■	■	－	■	－

광원

샘플 조명용 전원 공급 장치와 광원. 관찰 방법에 적합한 광원을 선택하세요.

표준 LED 광원 구성

1	BX3M-LEDR	반사광용 LED 램프 하우징
2	U-RCV	BX3M-URAS-S용 DF 변환기(필요시 DF 및 BF로 관찰하는 데 필요)
3	BX3M-PSLED	LED 램프 하우징용 전원 공급 장치(BXFM 시스템 필요)
4	BX3M-LEDT	투과광용 LED 램프 하우징

형광 광원 구성

5	U-LLGAD	라이트 가이드 어댑터
2	U-RCV	BX3M-URAS-S용 DF 변환기(필요시 DF로 관찰하는 데 필요)
6	U-LLG150	라이트 가이드, 길이: 1.5 m
7	U-LGPS	형광용 광원
8, 9	U-LH100HG(HGAPO)	형광용 수은 램프 하우징
2	U-RCV	BX3M-URAS-S용 DF 변환기(필요시 DF로 관찰하는 데 필요)
10	U-RFL-T	100W 수은 램프용 전원 공급 장치

할로겐 및 할로겐 IR 광원 구성

11	U-LH100IR	IR용 할로겐램프 하우징
12	U-RMT	할로겐램프 하우징용 연장 케이블. 케이블 길이 1.7m(필요시 케이블 연장 필요)
13, 14	TH4-100(200)	100 W/50 W 할로겐램프용 100 V(200 V) 사양 전원 공급 장치
15	TH4-HS	할로겐 조도용 핸드 스위치(핸드 스위치가 없는 더 낮은 조도의 조광기 TH4-100(200))

노즈피스

대물렌즈와 슬라이더용 부속품. 필요한 대물렌즈의 수와 유형 그리고 슬라이더 부착 여부에 따라 선택하세요.

		유형	구멍	BF	DF	DIC	MIX	ESD	중앙 조절 구멍 수
1	U-P4RE	수동	4	■		■			4
2	U-5RE-2	수동	5	■
3	U-5RES-ESD	코딩	5	■				■
4	U-D6RE	수동	6	■		■
5	U-D6RES	코딩	6	■		■
6	U-D5BDREMC	전동	5	■	■	■	■
7	U-D6BDRE	수동	6	■	■	■	■
8	U-D5BDRES-ESD	코딩	5	■	■	■	■	■
9	U-D6BDRES-S	코딩	6	■	■	■	■	■
10	U-D6REMC	전동	6	■		■
11	U-D6BDREMC	전동	6	■	■	■	■	■
12	U-D5BDREMC-VA	전동	5	■	■

슬라이더

기존 명시야 관찰을 보완하려면 슬라이더를 선택하세요. DIC 슬라이더는 대비나 해상도를 최대화하는 옵션과 함께 샘플에 대한 지형 정보를 제공합니다. MIX 슬라이더는 암시야 경로의 분할된 LED 광원으로 조명의 유연성을 제공합니다.

DIC 슬라이더

		유형	전단의 양	사용 가능한 대물렌즈
1	U-DICR	표준	중간	MPLFLN^1, MPLFLN-BD^2, LMPLFLN, LMPLFLN-BD, MXPLFLN, MXPLFLN-BD, MPLAPON 및 LCPLFLN-LCD

*1 1.25X 및 2.5X는 DIC 관찰을 지원하지 않습니다.
*2 2.5X는 DIC 관찰을 지원하지 않습니다.

MIX 슬라이더

		사용 가능한 대물렌즈
2	U-MIXR-2	MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD, MPLN-BD, MXPLFLN-BD

케이블

U-MIXRCBL*

U-MIXR 케이블. 케이블 길이: 0.5 m

_{*MIXR 전용}

컨트롤 박스 및 핸드 스위치

현미경 하드웨어를 PC와 연결하기 위한 컨트롤 박스 그리고 하드웨어 디스플레이 및 제어를 위한 핸드 스위치.

BX3M-CB(CBFM) 구성

1	BX3M-CB	BX53M 시스템용 컨트롤 박스
2	BX3M-CBFM	BXFM 시스템용 컨트롤 박스
3	BX3M-HS	MIX 관찰 제어, 코딩된 하드웨어 표시기, 소프트웨어(Stream)의 프로그래밍 가능한 기능 버튼
4	BX3M-HSRE	전동식 노즈피스 회전

케이블

－

BX3M-RMCBL(ECBL)

전동식 노즈피스 케이블. 케이블 길이: 0.2 m

컨트롤 박스 및 핸드 스위치

스테이지

샘플 배치를 위한 스테이지 및 스테이지 플레이트. 샘플 모양과 크기에 따라 선택하세요.

150 mm × 100 mm 스테이지 구성

1	U-SIC64	150mm × 100mm 플랫 탑 핸들 스테이지
2	U-SHG(T)	실리콘 고무 작동성 개선용 손잡이 고무(두꺼운 유형)
3	U-SP64	U-SIC64용 스테이지 플레이트
4	U-WHP64	U-SIC64용 웨이퍼 플레이트
5	BH2-WHR43	4-3인치용 웨이퍼 홀더
6	BH2-WHR65	6-5인치용 웨이퍼 홀더
7	U-SPG64	U-SIC64용 유리 플레이트

76mm × 52mm 스테이지 구성

12	U-SVR M	76mm × 52mm 오른쪽 핸들 스테이지
2	U-SHG(T)	실리콘 고무 작동성 개선용 손잡이 고무(두꺼운 유형)
13	U-MSSP	U-SVR용 스테이지 플레이트(/L)M
14, 15	U-HR (L) D-4	오른쪽(왼쪽) 개구부용 얇은 슬라이드 홀더
16, 17	U-HR (L) DT-4	오른쪽(왼쪽) 개구부용 두꺼운 슬라이드 홀더(슬라이드 유리를 스테이지 상단 표면으로 누르면 표본을 들어 올리기 어려움)

100 mm × 100 mm 스테이지 구성

8	U-SIC4R 2	105 mm × 100 mm 오른쪽 핸들 스테이지
9	U-MSSP4	U-SIC4R(L) 2용 스테이지 플레이트
10	U-WHP2	U-SIC4R(L) 2용 웨이퍼 플레이트
5	BH2-WHR43	4-3인치용 웨이퍼 홀더
11	U-MSSPG	U-SIC4R용 유리 플레이트

기타

18	U-SRG2	회전식 스테이지
19	U-SRP	POL용 회전식 스테이지. 모든 위치에서 45° 클릭 스톱 가능
20	U-FMP	U-SRP/U-SRG2용 기계식 스테이지

카메라 어댑터

카메라 관찰용 어댑터. 필요한 관측 시야와 배율로 선택 가능. 실제 관찰 범위를 계산하는 공식: 실제 관측 시야(대각선 mm) = 시야(시야 수) ÷ 대물렌즈 배율.

		배율	중앙 조절	CCD 이미지 영역(필드 번호)mm
		배율	중앙 조절	2/3인치	1/1.8인치	1/2인치
1	U-TV1x-2(U-CMAD3 포함)	1	－	10.7	8.8	8
2	U-TV1xC	1	ø2mm	10.7	8.8	8
3	U-TV0.63xC	0.63	－	17	14	12.7
4	U-TV0.5xC-3	0.5	－	21.4	17.6	16
5	U-TV0.35xC-2	0.35	－	－	－	22

접안렌즈

현미경을 직접 들여다보기 위한 접안렌즈. 원하는 관측 시야에 따라 선택하세요.

		시야수(mm)	디옵터 조절 메커니즘	내장된 조준선
1	WHN10x	22
2	WHN10x-H	22	■
3	CROSS WHN10x	22	■	■
4	SWH10x-H	26.5	■
5	CROSS SWH10x	26.5	■	■

광학 필터

광학 필터는 샘플 노출 빛을 다양한 유형의 조명으로 변환합니다. 관찰 요구 사항에 적합한 필터를 선택하세요.

BF, DF, FL

1, 2	U-25ND25,6	중성 밀도 필터. 투과율 25%, 6%
3	U-25LBD	일광 컬러 필터
4	U-25LBA	할로겐 컬러 필터
5	U-25IF550	그린 필터
6	U-25L42	UV 컷 필터
7	U-25Y48	옐로우 필터
8	U-25FR	프로스트 필터(BX3M-URAS-S에 필요)

POL, DIC

9	U-AN-2	편광 방향 고정
10	U-AN360-3	편광 방향 회전 가능
11	U-AN360P-2	고품질 편광 방향 회전 가능
12	U-PO3	편광 방향 고정
13	45-IF546	POL용 그린 ø45mm 필터

IR

14	U-AN360IR	IR 편광 방향 회전 가능(U-AN360IR 및 U-POIR 조합을 사용할 때 IR 관찰 시 헐레이션 감소)
15	U-POIR	IR 편광 방향 고정
16	U-BP1100IR	대역 통과 필터: 1100nm
17	U-BP1200IR	대역 통과 필터: 1200nm

투과광

18	43IF550-W45	그린 ø45mm 필터
19	U-POT	편광판 필터

기타

20

U-25

빈 필터. 사용자의 ø25mm 필터와 함께 사용

_{*BX3M-RLAS-S 및 U-FDICR을 사용하면 AN 및 PO가 필요하지 않음}

콘덴서

집광기는 투과광을 수집하고 초점을 맞춥니다. 투과광 관찰에 사용합니다.

1	U-AC2	Abbe 집광기(5배 대물렌즈에서 사용 가능)
2	U-SC3	스윙아웃 집광기(1.25배 대물렌즈에서 사용 가능)
3	U-LWCD	유리 플레이트용 긴 작동 거리 집광기 (U-MSSPG, U-SPG64)
4	U-POC-2	POL용 스윙아웃 집광기

미러 유닛

BX3M-URAS-S용 미러 유닛. 필요한 관찰을 위한 유닛을 선택하세요.

1	U-FBF	BF용, ND 필터 분리 가능
2	U-FDF	DF용
3	U-FDICR	POL용, 직교 니콜 위치 고정
4	U-FBFL	BF용, 내장된 ND 필터(BF* 및 FL 모두 사용해야 함)
5	U-FWUS	Ultra Violet-FL용: BP330-385 BA420 DM400
6	U-FWBS	Blue-FL용: BP460-490 BA520IF DM500
7	U-FWGS	Green FL용: BP510-550 BA590 DM570
8	U-FF	빈 미러 유닛

_{*동축 에피스코픽 조명에만 해당}

중간 경통

다양한 용도의 여러 액세서리 유형. 경통과 조명 장치 사이에 사용.

1	U-CA	배율 변환기(1배, 1.25배, 1.6배, 2배)
2	U-TRU	삼안 중간 유닛

UIS2 대물렌즈

대물렌즈는 샘플을 확대합니다. 응용 분야의 작동 거리, 해상력, 관찰 방법에 맞는 대물렌즈를 선택하세요.

UIS2 대물렌즈에 대한 자세한 내용을 보려면 여기 클릭

사용 편이성

손쉬워진 기존 기법:
단순 조명 장치

조명 장치는 일반적으로 현미경 작동 중에 필요한 복잡한 동작을 최소화합니다. 조명 장치 전면의 다이얼을 통해 사용자는 관찰 방법을 쉽게 변경할 수 있습니다. 작업자는 명시야에서 암시야로, 그리고 편광으로 전환하는 등 반사광 현미경에서 가장 자주 사용되는 관찰 방법 간에 빠르게 전환하여 다른 분석 유형으로 쉽게 변경할 수 있습니다. 또한, 분석기를 회전하여 단순 편광 관찰을 조절할 수 있습니다.

직관적 현미경 제어:
간단한 FS 및 AS 설정

적절한 구경 조리개와 시야 조리개 설정을 사용하면 우수한 이미지 대비를 얻고 대물렌즈의 개구수를 완전히 활용할 수 있습니다. 범례는 사용 중인 관찰 방법과 대물렌즈에 따라 사용자에게 올바른 설정을 안내합니다.

빠르게 초점 찾기

프레임의 포커스 스케일 인덱스는 초점에 대한 빠른 액세스를 지원합니다. 작업자는 접안렌즈를 통해 샘플을 보지 않고도 초점을 대충 조절할 수 있으므로 높이가 다른 샘플을 검사할 때 시간을 절약할 수 있습니다.

쉽고 편안한 작동

시스템 설계는 사용자의 작업 효율성에 영향을 미칩니다. 독립형 현미경 사용자와 PRECiV 이미지 분석 소프트웨어와 통합된 현미경 사용자 모두 하드웨어 위치를 명확하게 표시하는 편리한 핸드셋 제어의 이점을 누릴 수 있습니다. 간단한 핸드셋을 통해 사용자는 수행해야 하는 검사와 샘플에 집중할 수 있습니다.

일관된 조명 기능:
광도 관리자

초기 설정 시에 조명 강도를 코딩된 조명 장치 및/또는 코딩된 노즈피스의 특정 하드웨어 구성과 일치하도록 조절할 수 있습니다.

현미경 설정 복원 기능:
코딩된 하드웨어

코딩된 기능은 BX53M 시스템 설정을 PRECiV 이미지 분석 소프트웨어와 통합합니다. 관찰 방법, 조도, 배율이 소프트웨어에 의해 자동으로 기록되고 관련 이미지와 함께 저장됩니다. 작업자는 항상 동일한 관찰 설정으로 검사할 수 있어 신뢰할 수 있는 검사 결과를 제공할 수 있습니다.

기능

보이지 않는 것을 보이게 하는 힘:
MIX 관찰

BX53M의 MIX 관찰 기술은 기존 조명 방식과 암시야 조명을 결합합니다. MIX 슬라이더를 사용하면 LED 링이 샘플의 방향성 암시야를 비춥니다. 이렇게 하면 기존 암시야와 유사한 효과를 내지만, 다른 각도에서 빛을 보내기 위해 LED의 사분면을 선택할 수 있는 기능을 제공합니다. 방향성 암시야와 명시야, 형광 또는 편광의 이러한 조합을 MIX 조명이라고 하며, 이러한 조합은 결함을 강조하고 돌출된 표면을 함몰된 곳과 구별하는 데 특히 유용합니다.

올인포커스 이미지 생성: EFI

PRECiV 소프트웨어의 EFI(확장 초점 이미징, Extended Focus Imaging) 기능은 높이가 대물렌즈의 초점 깊이 이상으로 확장되는 샘플의 이미지를 캡처하고 함께 스태킹하여 올인포커스(all-in-focus)의 단일 이미지를 만듭니다. EFI는 수동 또는 전동 Z축으로 실행할 수 있으며 높이 맵을 만들어 구조를 손쉽게 시각화합니다. PRECiV Desktop 내에서 오프라인 상태일 때 EFI 이미지를 구성할 수도 있습니다.

밝은 영역과 어두운 영역 모두 캡처: HDR

고급 이미지 처리를 사용하는 HDR(High Dynamic Range)은 이미지 내의 밝기 차이를 조절하여 눈부심을 줄입니다. HDR은 디지털 이미지의 시각적 품질을 개선하여 전문가 수준의 보고서를 생성하도록 해줍니다.

_{HDR에 의해 어두운 부분과 밝은 부분 모두 명확하게 노출(샘플: 연료분사기 전구)}

_{HDR에 의한 대비 향상

(샘플: 마그네사이트 절편)}

_{동전의 인스턴트 MIA 이미지}

파노라마 이미지를 위한 손쉬운 스테이지 이동: 인스턴스 MIA

이제 수동 스테이지에서 XY 손잡이를 이동하는 것만으로 쉽고 빠르게 이미지를 스티칭할 수 있으며, 전동식 스테이지는 필요하지 않습니다. PRECiV 소프트웨어는 패턴 인식을 사용하여 단일 프레임보다 더 넓은 관측 시야를 사용자에게 제공하는 파노라마 이미지를 생성합니다.

다양한 측정 기능

일상적 또는 기본 측정 기능

PRECiV를 통해 다양한 측정 기능을 제공하므로 사용자는 이미지에서 유용한 데이터를 쉽게 얻을 수 있습니다. 품질 관리와 검사를 위해 이미지의 측정 기능이 필요한 경우가 많습니다. PRECiV 라이선스의 모든 수준에는 거리, 각도, 직사각형, 원형, 타원형, 다각형 같은 대화형 측정 기능이 포함되어 있습니다. 모든 측정 결과는 추가 문서화를 위해 이미지 파일과 함께 저장됩니다.

계수 및 측정

물체 감지와 크기 분포 측정은 디지털 이미징에서 가장 중요한 분야 중 하나입니다. PRECiV는 임곗값 방법을 사용하여 물체(예: 입자, 스크래치)를 배경에서 안정적으로 분리하는 감지 엔진을 통합합니다.

재료 과학 솔루션

PRECiV는 복잡한 이미지 분석을 위한 직관적인 워크플로 중심 인터페이스를 제공합니다. 버튼 클릭 한 번으로 가장 복잡한 이미지 분석 작업을 가장 일반적인 산업 표준에 따라 빠르고 정확하게 실행할 수 있습니다. 반복 작업의 처리 시간이 크게 단축되므로 재료 과학자는 분석과 연구에 집중할 수 있습니다. 개재물과 인터셉트 차트를 위한 모듈식 추가 기능은 언제든지 쉽게 수행할 수 있습니다.

_{3D 표면 보기(거칠기 테스트 샘플)}

_{단일 보기 및 3D 프로파일 측정}

3D 샘플 측정

외부 전동식 초점 드라이브를 사용할 때 EFI 이미지를 빠르게 캡처하여 3D로 표시할 수 있습니다. 획득한 높이 데이터는 프로필 또는 단일 보기 이미지에서 3D 측정에 사용할 수 있습니다.

PRECiV에 대해 자세히 알아보기

더 많은 샘플 유형 및 크기 보기

새로운 150 × 100mm 스테이지는 이전 모델보다 X 방향으로 더 긴 이동 거리를 제공합니다. 이 기능과 함께 플랫 탑 디자인 덕분에 큰 샘플 또는 여러 샘플을 스테이지에 쉽게 배치할 수 있습니다. 스테이지 플레이트에는 샘플 홀더를 부착하기 위한 나사 구멍이 있습니다. 더 커진 스테이지는 사용자가 하나의 현미경에서 더 많은 샘플을 검사하여 귀중한 실험실 공간을 절약할 수 있도록 하는 유연성을 제공합니다. 스테이지의 조절 가능한 토크는 좁은 관측 시야로 고배율에서 미세한 위치 지정을 쉽게 해줍니다.

샘플 높이 및 무게에 대한 유연성

최대 105mm의 샘플을 모듈식 유닛(옵션)으로 스테이지에 장착할 수 있습니다. 향상된 포커싱 메커니즘 덕분에 현미경은 최대 6kg의 총 무게(샘플 + 스테이지)를 수용할 수 있습니다. 즉, BX53M에서 더 크고 더 무거운 샘플을 검사할 수 있으므로 실험실에 필요한 현미경 수가 적어집니다. 사용자는 6인치 웨이퍼용 회전식 홀더를 중심에서 벗어나 전략적으로 배치하면 100mm 이동 범위를 이동할 때 홀더를 회전시키는 것만으로 전체 웨이퍼 표면을 관찰할 수 있습니다. 사용 편의성을 위해 스테이지의 토크 조절이 최적화되었으며 편안한 핸들 그립으로 샘플에서 대상 영역을 쉽게 찾을 수 있습니다.

_BX53MRF-S

_BXFM

샘플 크기에 대한 유연성

샘플이 기존 현미경 스테이지에 놓기에 너무 크면 반사광 현미경에 대한 핵심 광학 구성 요소를 모듈식으로 구성할 수 있습니다. 이 모듈식 시스템, BXFM은 폴을 통해 더 큰 스탠드에 장착하거나 장착 브래킷을 사용하여 다른 기기를 선택하여 장착할 수 있습니다. 이렇게 하면 사용자는 샘플의 크기나 모양이 특이한 경우에도 유명 광학 장치를 활용할 수 있습니다.

정전기 방전으로부터 전자 장치 보호: ESD 호환성

BX53M에는 인적 또는 환경적 요인으로 인한 정전기로부터 전자 장치를 보호하는 ESD 소산 기능이 갖춰져 있습니다.

이미지 품질

첨단 광학의 역사

높은 개구수와 긴 작동 거리 겸비

대물렌즈는 현미경의 성능에서 매우 중요합니다.
MXPLFLN 대물렌즈는 개구수와 작동 거리를 동시에 최대화하여 에피-조명 이미징을 위해 MPLFLN 시리즈에 깊이를 더합니다. 20배 및 50배 배율에서 해상도가 더 높을수록 일반적으로 작동 거리가 더 짧아지며, 이렇게 되면 대물렌즈 교환 중에 샘플 또는 대물렌즈가 후퇴합니다. 많은 경우에 MXPLFLN 시리즈의 3mm 작동 거리는 이 문제를 없애 대물렌즈가 샘플에 부딪힐 가능성을 줄이면서 더 빠르게 검사할 수 있습니다.

일반적인 50배 대물렌즈: 개구수 0.8, 작동거리 1mm / MXPLFLN50X: 개구수 0.8, 작동거리 3mm

MXPLFLN 대물렌즈에 대해 자세히 알아보기

우수한 광학 성능:
Wave Front 수차 제어

대물렌즈의 광학적 성능은 관찰 이미지와 분석 결과의 품질에 직접적으로 영향을 미칩니다. Evident의 UIS2 고배율 대물렌즈는 파면 수차를 최소화하도록 설계되어 안정적인 광학 성능을 제공합니다.

UIS2 대물렌즈에 대해 자세히 알아보기

_{좋지 않은 파면}

_{좋은 파면(UIS2 대물렌즈)}

_{할로겐 램프: 색상은 광도에 따라 달라집니다.}

_{LED: 색상이 광도와 일치하고 할로겐 램프보다 선명합니다.}
^{* 모든 이미지는 자동 노출을 사용하여 캡처}

일관된 색온도:
고휘도 백색 LED 조명

BX53M은 반사광과 투과광 모두에 고휘도 백색 LED 광원을 사용합니다. LED는 광도와 관계없이 일정한 색온도를 유지합니다. LED는 재료 과학 분야 검사에 적합한 효율적이고 수명이 긴 조명을 제공합니다.

고급 성능을 위한 우수한 품질

정밀한 측정 지원:
자동 보정

디지털 현미경과 마찬가지로, PRECiV를 사용하면 자동 보정이 가능합니다. 자동 보정은 보정 프로세스에서 인적 가변성을 없애 보다 안정적인 측정을 가능하게 합니다. 자동 보정은 여러 측정 지점의 평균에서 올바른 보정을 자동으로 계산하는 알고리즘을 사용합니다. 이렇게 하면 여러 작업자에 의해 발생하는 편차를 최소화하고 일관된 정확도를 유지하여 정기적인 검증에 대한 신뢰성을 높일 수 있습니다.

_{반도체 웨이퍼(이진화된 이미지):}
^{명암 보정으로 관측 시야 전반에 걸쳐 균일한 조명을 얻습니다.}

원활한 스티칭:
이미지 명암 보정

PRECiV 소프트웨어는 이미지 모서리 주변의 명암을 수용하기 위한 명암 보정 기능을 제공합니다. 명암 보정 기능을 강도 임곗값 설정과 함께 사용하면 보다 정확한 분석이 가능합니다.

PRECiV에 대해 자세히 알아보기

응용 분야

반도체 웨이퍼의 IC 패턴

암시야는 샘플의 미세한 긁힘이나 흠집을 감지하거나 웨이퍼 같은 미러 표면이 있는 샘플을 검사하는 데 사용됩니다.

MIX 조명을 사용하면 패턴과 색상을 모두 볼 수 있습니다.

MIX(명시야 + 암시야)

_{MIX(명시야 + 암시야)}

MIX암시야

_암시야

_형광

MIX(형광 + 암시야)

_{MIX(형광 + 암시야)}

반도체 웨이퍼의 포토레지스트 잔류물

형광은 특별히 설계된 필터 큐브로 조명을 비출 때 빛을 방출하는 샘플에 사용됩니다. 오염과 포토레지스트 잔류물을 감지하는 데 주로 사용됩니다.

MIX 조명을 사용하면 포토레지스트 잔류물과 IC 패턴을 모두 관찰할 수 있습니다.

LCD 컬러 필터

이 관찰 기술은 LCD, 플라스틱 및 유리 재료 같은 투명 샘플에 적합합니다.

MIX 조명을 사용하면 필터 색상과 회로 패턴을 모두 관찰할 수 있습니다.

투과광

_투과광

MIX(투과광 + 명시야)

_{MIX(투과광 + 명시야)}

명시야

_명시야

DIC(미분 간섭 대비)

_{DIC(미분 간섭 대비)}

구상 흑연 주철

DIC는 대비가 향상된 3D 이미지와 유사하게, 샘플의 높이가 양각으로 보이는 관찰 기술입니다. 금속 구조와 광물 등 매우 미세한 높이 차이가 있는 샘플을 검사할 때 적합합니다.

견운모

DIC(미분 간섭 대비)는 일반적으로 명시야에서 감지할 수 없는 샘플의 높이가 양각으로 보이는 관찰 기술입니다(대비가 향상된 3D 이미지와 유사함). 금속 구조 및 광물을 포함하여 높이 차이가 매우 미세한 샘플 검사에 적합합니다.

명시야

_명시야

_편광

적외선(IR)

_{적외선(IR)}

IC 패턴의 본딩 패드

IR은 IC 칩 내부 그리고 유리 위에 실리콘으로 만든 기타 장치 내부의 결함을 찾는 데 사용됩니다.

사양

일반 사용을 위한 BX53M 권장 구성 사양

			입문용		표준		고급
광학 시스템			UIS2 광학 시스템(무한 보정)
메인 유닛	현미경 프레임		BX53MRF-S (반사)	BX53MTRF-S (반사/투과)	BX53MRF-S (반사)	BX53MTRF-S (반사/투과)	BX53MRF-S (반사)	BX53MTRF-S (반사/투과)
	초점		스트로크: 25 mm 회전당 미세 스트로크: 100μm 최소 눈금: 1μm 상한 스토퍼 포함, 조동 핸들용 토크 조절
	최대 표본 높이		반사: 65mm(스페이서 제외), 105mm(BX3M-ARMAD 포함) 반사/투과: 35 mm(스페이서 제외), 75 mm(BX3M-ARMAD 포함)
	관찰용 경통	광시야(시야수 22)	U-TR30-2-2 도립: 삼안
	조명	반사광 투과광	BX3M-KMA-S 백색 LED, BF/DIC/POL/MIX FS, AS(중앙 조절 메커니즘 포함), BF/DF 연동		BX3M-RLAS-S 코딩, 백색 LED, BF/DF/DIC/POL/MIX FS, AS(중앙 조절 메커니즘 포함), BF/DF 연동
			－	BX3M-LEDT 백색 LED Abbe/긴 작동 거리 집광기	－	BX3M-LEDT 백색 LED Abbe/긴 작동 거리 집광기	－	BX3M-LEDT 백색 LED Abbe/긴 작동 거리 집광기
	회전 노즈피스		U-5RE-2 BF용: 5구		U-D6BDRE BF/DF용: 6구			U-D6BDRES-S BF/DF용: 6구, 코딩
	접안렌즈(시야수 22)		WHN10 WHN10X-H
	MIX 관찰		－					BX3M-CB 컨트롤 박스 BX3M-HS 핸드 스위치 U-MIXR-2 반사광 관찰을 위한 MIX 슬라이더 U-MIXRCBL MIXR용 케이블
	집광기(긴 작동 거리)		－	U-LWCD	－	U-LWCD	－	U-LWCD
	전원 케이블		UYCP(x1)					UYCP(x2)
	중량		반사: 약 15.8kg(현미경 프레임 7.4kg) 반사/투과: 약 18.3kg(현미경 프레임 7.6kg)
대물렌즈	MPLFLN 세트		MPLFLN5X, 10X, 20X, 50X, 100X BF/POL/FL 관찰		－
	MPLFLN BD 세트		－		MPLFLN5XBD, 10XBD, 20XBD, 50XBD, 100XBD BF/DF/DIC/POL/FL 관찰
	MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD 세트		－		MPLFLN5XBD, 10XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD BF/DF/DIC/POL/FL 관찰
	MPLFLN-BD, MXPLFLN-BD, LMPLFLN-BD 세트		－		MPLFLN5XBD, 10XBD, MXPLFLN20XBD, 50XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD BF/DF/DIC/POL/FL 관찰
스테이지(X x Y)	76mm x 52mm 세트		U-SVRM, U-MSSP 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 76(X) × 52(Y)mm, 토크 조절 포함
	100mm x 100mm 세트		U-SIC4R2, U-MSSP4 대형 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 100(X) x 100(Y)mm, Y축의 잠금 메커니즘 포함
	100mm x 100(G)mm 세트		U-SIC4R2, U-MSSPG 대형 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 100(X) x 100(Y)mm, Y축의 잠금 메커니즘 포함(유리 플레이트)
	150 mm x 100 mm 세트		U-SIC64, U-SHG, U-SP64 대형 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 150(X) x 100(Y)mm, 토크 조절 포함, Y축의 잠금 메커니즘 포함
	150 mm x 100(G)mm 세트		U-SIC64, U-SHG, U-SPG64 대형 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 150(X) x 100(Y)mm, 토크 조절 포함, Y축의 잠금 메커니즘 포함(유리 플레이트)
옵션	MIX 관찰 세트*		BX3M-CB, BX3M-HS, U-MIXR-2, U-MIXRCBL				－
	DIC*		U-DICR
	중간 경통		U-CA, U-EPA2, U-TRU
	필터		U-25ND6, U-25ND25, U-25LBD, U-25LBA, U-25Y48, U-AN360-3, U-AN360P, U-PO3, U-25IF550, U-25L42, U-25, U-25FR
	집광기용 필터		43IF550-W45, U-POT
	스테이지 플레이트		U-WHP64, BH2-WHR43, BH2-WHR65, U-WHP2
	표본 홀더		U-HRD-4, U-HLD-4, U-HRDT-4, U-HLDT-4
	핸들 고무		U-SHG, U-SHGT

_{*U-5RE-2에는 사용할 수 없습니다.}

BX53M / BXFM ESD UNITS

항목	현미경 프레임	BX53MRF-S, BX53MTRF-S
	조명	BX3M-KMA-S, BX3M-RLA-S, BX3M-URAS-S, BX3M-RLAS-S
	노스피스	U-D6BDREMC, U-D6BDRES-S, U-D5BDREMC-ESD, U-5RES-ESD
	스테이지	U-SIC4R2, U-MSSP4

전용 사용을 위한 BX53M 권장 구성 사양

				형광		적외선	편광
광학 시스템				UIS2 광학 시스템(무한 보정)
메인 유닛	현미경 프레임			BX53MRF-S (반사)	BX53MTRF-S (반사/투과)	BX53MRF-S (반사)	BX53MTRF-S (반사/투과)
	초점			스트로크: 25 mm 회전당 미세 스트로크: 100μm 최소 눈금: 1μm 상한 스토퍼 포함, 조동 핸들용 토크 조절
	최대 표본 높이			반사: 65mm(스페이서 제외), 105mm(BX3M-ARMAD 포함) 반사/투과: 35 mm(스페이서 제외), 75 mm(BX3M-ARMAD 포함)
	관찰용 경통	광시야(시야수 22)		U-TR30-2 도립: 삼안		U-TR30IR 도립: IR용 삼안	U-TR30-2 도립: 삼안
		편광 중간 부속품(U-CPA)	버트랜드 렌즈	－		－	초점 조절 가능
			버트랜드 시야 조리개	－		－	ø3.4mm 직경(고정)
			오소스코픽(orthoscopic)과 코노스코픽(conoscopic) 관찰 사이의 버트랜드 렌즈 전환을 사용하거나 해제	－		－	슬라이더 위치: ● 안쪽 슬라이더 위치: ○ 바깥쪽
			분석기 슬롯	－		－	슬롯이 있는 회전식 분석기(U-AN360P-2)
	조명	반사광	FL 관찰	BX3M-URAS-S 코딩된 범용 반사광, 4위치 미러 유닛 터렛, (표준: U-FWUS, U-FWBS, U-FWGS, U-FBF 등), FS, AS 포함(중앙 조절 메커니즘 포함), 셔터 메커니즘 포함		－	－
			IR 관찰	－		BX3M-RLA-S IR, BF/IR, AS용 100W 할로겐램프(중앙 조절 메커니즘 포함) U-LH100IR(12V 10W HAL-L 포함) IR용 100W 할로겐 광원 TH4-100 100W 전원 공급 장치 TH4-HS 핸드 스위치 U-RMT 연장 코드	－
		투과광	POL 관찰	－		－	BX3M-LEDT 백색 LED Abbe/긴 작동 거리 집광기
	회전 노즈피스			U-D6BDRES-S BF/DF용: 6구, 코딩		U-5RE-2 BF용: 5구	U-P4RE 4구, 중앙에 부착 가능한 구성 요소 1/4 파장 지연판(U-TAD), 틴트 플레이트(U-TP530), 다양한 보정기를 플레이트 어댑터(U-TAD)로 부착 가능
	접안렌즈(시야수 22)			WHN10X
				WHN10X-H			CROSS-WHN10X
	미러 유닛			U-FDF DF용 U-FBFL BF용, 내장된 ND 필터 U-FBF BF용, ND 필터 분리 가능 U-FWUS Ultra Violet-FL용 U-FWBS Blue-FL용 U-FWGS Green-FL용		－
	필터/편광판/분석기			U-25FR 프로스트 필터		U-BP1100IR/U-BP1200IR IR용 대역 경로 필터	43IF550-W45 그린 필터
				U-POIR IR용 반사 편광판 슬라이더		U-AN360IR IR용 회전 가능한 분석기 슬라이더	U-AN360P-2 360° 다이얼 회전 가능 회전 가능한 최소 각도 0.1°
	집광기			U-LWCD 긴 작동 거리		－	U-POC-2 아크로마트 스트레인-프리 집광기. 스윙아웃 아크로매틱 상단 렌즈가 있는 360°회전 가능한 편광판. "0°" 위치에서 클릭 스톱을 조절할 수 있습니다. 개구수 0.9(상단 렌즈 안쪽) / 개구수 0.18(상단 렌즈 바깥쪽) 홍채 조절 조리개: 직경 2mm~21mm로 조절 가능
	슬라이더/보정기			－			U-TAD 슬라이더(플레이트 어댑터)
							U-TP530 틴트 플레이트 U-TP137 1/4파장 지연판
	전원 케이블			UYCP(x1)		UYCP(x2)	UYCP(x1)
	중량			반사: 약 15.8kg(현미경 프레임 7.4kg)	반사/투과: 약 18.3kg(현미경 프레임 7.6kg)	약 18.9kg(현미경 프레임 7.4kg)	약 16.2kg(현미경 프레임 7.6kg)
반사 FL 광원	라이트 가이드			U-LGPS, U-LLGAD, U-LLG150, 라이트 가이드 세트		－	－
	수은등			U-LH100HGAPO1-7, USH-103OL(x2), U-RFL-T, U-RCV 수은등 세트		－	－
대물렌즈	MPLFLN 세트			MPLFLN5X, 10X, 20X, 50X, 100X BF/DIC/POL/FL 관찰		－	－
	MPLFLN BD 세트			MPLFLN5XBD, 10XBD, 20XBD, 50XBD, 100XBD BF/DF/DIC/POL/FL 관찰		－	－
	MPLFLN-BD, LMPLFLN-BD 세트			MPLFLN5XBD, 10XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD BF/DF/DIC/POL/FL 관찰		－	－
	MPLFLN-BD, MXPLFLN-BD, LMPLFLN-BD 세트			MPLFLN5XBD, 10XBD, MXPLFLN20XBD, 50XBD, LMPLFLN20XBD, 50XBD, 100XBD BF/DF/DIC/POL/FL 관찰		－	－
	IR 세트			－		LMPLN5XIR,10XIR,LCPLN20XIR,50XIR,100XIR IR 관찰	－
	POL 세트			－		－	UPLFLN4XP,10XP,20XP,40XP POL 관찰
스테이지(X x Y)	76mm x 52mm 세트			U-SVRM, U-MSSP 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 76(X) × 52(Y)mm, 토크 조절 포함
	100mm x 100mm 세트			U-SIC4R2, U-MSSP4 대형 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 100(X) x 100(Y)mm, Y축의 잠금 메커니즘 포함
	100mm x 100(G)mm 세트			U-SIC4R2, U-MSSPG 대형 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 150(X) x 100(Y)mm, Y축의 잠금 메커니즘 포함(유리 플레이트)
	150 mm x 100 mm 세트			U-SIC64, U-SHG, U-SP64 대형 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 150(X) x 100(Y)mm, 토크 조절 포함, Y축의 잠금 메커니즘 포함
	150 mm x 100(G)mm 세트			U-SIC64, U-SHG, U-SPG64 대형 동축 오른쪽 핸들 스테이지 / 150(X) x 100(Y)mm, 토크 조절 포함, Y축의 잠금 메커니즘 포함(유리 플레이트)
	POL 세트			－			U-SRP+U-FMP 편광 회전식 스테이지 + 기계식 스테이지
옵션	MIX 관찰 세트*			BX3M-CB, BX3M-HS, U-MIXR-2, U-MIXRCBL
	DIC*			U-DICR
	중간 경통			U-CA, U-EPA2, U-TRU
	필터			U-25ND6, U-25ND25, U-25LBD, U-25LBA, U-25Y48, U-AN360-3, U-AN360P, U-PO3, U-25IF550, U-25L42, U-25, U-25FR
	집광기용 필터			43IF550-W45, U-POT
	스테이지 플레이트			U-WHP64, BH2-WHR43, BH2-WHR65, U-WHP2
	표본 홀더			U-HRD-4, U-HLD-4, U-HRDT-4, U-HLDT-4
	핸들 고무			U-SHG, U-SHGT