개요

고품질 콤팩트 현미경 어셈블리

BXC 시리즈는 편차를 줄이고 안정적인 이미지 품질을 제공하는 고품질 현미경 구성 요소를 제공합니다. 이러한 콤팩트 현미경 어셈블리는 다양한 옵션을 사용하여 시스템에 간편하게 통합할 수 있습니다. BXC 시리즈 리소스 센터에서 기기 통합에 필요한 정보를 다운로드하세요.

고성능 대물렌즈

높은 개구수와 긴 작동 거리 겸비

대물렌즈는 현미경의 성능에서 매우 중요합니다. MXPLFLN 대물렌즈는 개구수와 작동 거리를 동시에 최대화하여 에피-조명 이미징을 위해 MPLFLN 시리즈에 깊이를 더합니다. 20배 및 50배 배율에서 해상도가 더 높을수록 일반적으로 작동 거리가 더 짧아지며 대물렌즈 교체 중에 샘플 또는 대물렌즈를 후퇴시켜야 하고 관찰 중에 샘플 처리가 느려집니다. 많은 경우에 MXPLFLN 시리즈의 3mm 작동 거리는 이 문제를 없애 대물렌즈가 샘플에 부딪힐 가능성을 줄이면서 더 빠르게 검사할 수 있습니다.

MXPLFLN 시리즈 경험
MXPLFLN에 대해 자세히 알아보기
MXPLFLN-BD에 대해 자세히 알아보기

높은 개구수와 긴 작동 거리 겸비

이미지 평탄도 향상

MPLFLN 2.5X, 5X 및 5X 명시야/암시야 대물렌즈의 이미지 평탄도가 향상되어 낮은 배율에서 더 빨리 스티칭된 이미지를 얻을 수 있습니다. Evident는 암시야 관찰에서 처리량을 높이기 위해 명시야/암시야 2.5X 대물렌즈인 MPLFLN2.5XBD를 개발했습니다.

넓은 스펙트럼 범위

가시광부터 근적외선(NIR)까지, Evident의 고급 광학 제조 및 코팅 기술은 사용자와 제조업체에게 다양한 대물렌즈와 튜브 렌즈를 제공하여 표준 제품으로 시스템 요구 사항을 단순화하도록 합니다.

세 가지 대물렌즈의 투과율 곡선

파면 수차 제어

렌즈 어셈블리의 파면 수차 제어 선별 등 첨단 제조 공정이 MXPLFLN 시리즈 대물렌즈에 사용됩니다. 이 프로세스는 기기 성능의 편차를 최소화합니다.

최적의 이미지를 만듭니다

다양한 응용 분야를 충족하는 다섯 가지 튜브 렌즈 중에서 선택하세요.

튜브 렌즈에 대해 자세히 알아보기

어떻게 구성하시겠습니까?

BX™ 현미경 시리즈에 속한 BXC 시리즈는 대물렌즈, 회전 노즈피스, 조명 등 각 부품에 다양한 옵션을 제공합니다. 이 시리즈는 사용 사례에 따라 자유롭게 옵션을 선택하도록 설계되었습니다. 이 부품은 다양한 기능을 제공하는 모듈형 제품이므로 웨이퍼 정렬, 범프 측정, 이미지 스티칭을 위해 설계된 기기 등의 검사 또는 이미징 응용 분야에 적합합니다.

BXC 시리즈 구성 예

BX53M

BXC-CBRML 시스템

BXC-CBB 시스템

일반 현미경

BX53M

입문용
단일 BF 대물렌즈로 공간 절약

입문용

다기능
기본 콤팩트 어셈블리

다기능

고급
클린룸용 완전 자동화 어셈블리

BXC-CBB 시스템

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시스템 설계 및 자동화를 위한 고급 옵션

범용 지향성 암시야

암시야는 거울 표면 또는 반도체 웨이퍼의 긁힘 또는 결함과 같은 샘플의 산란광 또는 회절광을 관찰하는 데 사용됩니다. MIX 슬라이더는 대형 전용 광학 장치 없이 암시야를 실현하고, 16개의 개별 제어 가능 LED로 기존 암시야를 개선하므로 샘플에서 나는 빛의 방향을 제어할 수 있습니다. 또한 MIX 슬라이더를 사용하는 이러한 지향성 암시야 기법은 명시야, 단순 편광 또는 형광 관찰과 함께 사용할 수 있습니다.

MIX 슬라이더(상단) U-MIXR-2

MIX 슬라이더(상단)
U-MIXR-2

MIX 슬라이더(하단) U-MIXR-2

MIX 슬라이더(하단)
U-MIXR-2

암시야

명시야 MIX

다양한 회전 노즈피스

자동화에 대한 수요가 높아지면서 전동식 회전 노즈피스에 대한 수요도 커지고 있습니다. Evident의 U-D5BDREMC 및 U-D6BDREMC 5구 및 6구 전동식 회전 노즈피스는 성능이 입증되었습니다. 이제 U-D5BDREMC-VA 클래스 1 클린룸 적합 전동식 회전 노즈피스는 진공을 사용하여 먼지와 기타 입자를 제거합니다. 수동, 코딩식 및 중심 조정 회전 노즈피스와 단일 대물렌즈용 어댑터를 BXC 어셈블리로 구성할 수 있습니다.

진공 기능이 있는 전동식 BD 회전 노즈피스 U-D5BDREMC-VA

측정 대물렌즈 어댑터 STM7-MMOBAD

자동 초점 감지 장치

BXC-FSU는 클래스 1 레이저 제품¹으로, 활성 다중 지점 감지를 지원하고 초점 위치의 방향 및 초점 상태를 모니터링합니다 이 센서는 베어 웨이퍼와 같은 저대비 샘플에 유용합니다. 고유한 알고리즘은 대물렌즈의 배율과 주변광으로 인한 노이즈에 상관없이 안정적인 초점 신호를 생성합니다. 명령 참조 매뉴얼, 지침 매뉴얼 및 샘플 소프트웨어는 Evident 웹사이트에서 확인할 수 있습니다.²

¹ 클래스 1 레이저가 포함되어 별도의 안전 조치가 필요하지 않습니다.
² 애플리케이션 매뉴얼은 요청 시 제공됩니다.

클래스 1 레이저 제품

자동 초점 감지 장치 BXC-FSU

콤팩트 컨트롤 박스

BXC-CBRML 및 BXC-CBB 컨트롤 박스는 설치 공간이 작고 팬이 없으며 다양한 장착 옵션(예: 벽 또는 천장)을 제공합니다. 컨트롤 박스에 따라 MIX 슬라이더, 조명, 전동식 회전 노즈피스, LED 광원과 같은 기능을 통합하고 소프트웨어를 사용하여 제어할 수 있습니다.

자세히 알아보기

Evident는 OEM 고객을 지원하기 위해 다양한 자료를 제공합니다. 여기를 클릭하면 OEM 자료 페이지에서 브로셔, 설명서, 소프트웨어 다운로드 및 기타 유용한 콘텐츠를 얻을 수 있습니다.

컨트롤 박스 BXC-CBRML

벽면 컨트롤 박스

사양

BXC 시리즈 사양

		BXC-CBRML 시스템		BXC-CBB 시스템
		입문용 단일 BF 대물렌즈로 공간 절약	다기능 기본 콤팩트 어셈블리	고급 클린룸용 완전 전동식 어셈블리
구성 예		BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, BXC-CBRML, STM7-MMOBAD BD-M-AD, SLMPLN20X	BXFM-F, BXFM-ILHS, U-SWATLU, U-KMAS, BX3M-LEDR, CMP-LLHECBL, U-D5BDREMC, BXC-REMECBL, U-MIXR-2, U-MIXRECBL, BXC-CBRML, MPLFLN5XBD2, LMPLFLN20XBD, LMPLFLN50XBD	BXC-FSU, BXC-RLI, U-SWATLU, BX3M-LEDR, U-D5BDREMC-VA, BXC-CBB, BXC-CBE1, BXC-LCBL1M, BXC-LCBL3M, MPLFLN2.5XBD, MPLFLN5XBD2, MPLFLN10XBD-2, MXPLFLN20XBD, MXPLFLN50XBD
대물렌즈		20X(NA: 0.25, WD: 25mm)	5X NA: 0.15, WD: 12mm 20X NA: 0.4, WD: 12mm 50X NA: 0.5, WD: 10.6mm	2.5X NA: 0.08, WD: 8.7mm 5X NA: 0.15, WD: 12mm 10X NA: 0.3, WD: 6.5mm 20X NA: 0.55, WD: 3mm 50X NA: 0.8, WD: 3mm
최소 해상도 @λ=550nm		1.34μm(20배 대물렌즈)	0.67μm(50배 대물렌즈)	0.42μm(50배 대물렌즈)
최대 피사계 심도 @λ=550nm		± 4.4μm(20배 대물렌즈)	±12.2μm(5배 대물렌즈)	± 43μm(2.5배 대물렌즈)
중량(BXFM-F, 스탠드, 컨트롤러 제외)		3.4kg(7.5lb)	4kg(8.8lb)	8.3kg(18.3lb)
관찰 모드		BF	BF, DF, MIX	BF, DF
Z 스트로크		30mm(수동)	30mm(수동)	통합업체가 제공하는 하드웨어
자동 초점 지원		—	—	사용 가능
필터 슬라이더 슬롯		3	3	1
노스피스	전동	—	사용 가능	사용 가능
노스피스	진공	—	—	사용 가능
최대 대물렌즈 개수		1	5	5
광학 시야수(mm)		26.5	26.5	26.5
구경 조리개		—	—	사용 가능
치수(BXFM-F, 스탠드, 컨트롤러 제외)(너비 × 깊이 × 높이)		108mm × 249mm × 215mm (4.3인치 × 9.8인치 × 8.5인치)	108mm × 249mm × 230mm (4.3인치 × 9.8인치 × 9인치)	132mm × 404mm × 277mm (5.2인치 × 15.9인치 × 10.9인치)